Дифференциальный интерферометр для изменения угловых перемещений

1462098 ра 1 проходят светоделитель 3 и разделяются светоделителем 2 на два пучка лучей, один из которых проходитчерез призменный отражатель 13, отражается от зеркала 5 и возвращаетсяна светоделитель 2. Второй пучок лучей отражается от зеркала 4, проходит через призменный отражатель 14,отражается от зеркала 6 и возвращается на светоделитель 2. Возникающаяинтерференционная картина регистрируется фотоприемниками 7 и 8, сигналыс которых поступают на входы реверсивного счетчика 10, по показаниям1:которого судят о величине угловыхперемещений. При прохождении контролируемого объекта 16 через нулевое Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля угловых перемещений объектов.Цель изобретения - повышение точности контроля за счет автоматической поднастройки дифференциального интер Ферометра в процессе измерения.На чертеже представлена функциональная схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр содержит основание (на чертеже не показано), жестко скрепленные с основанием лазер 1, два 15 светоделителя 2 и 3, три зеркала 4,5 и 6 два Фотоприемника 7 и 8, позиционно-чувствительный Фотоприемник 9, реверсивный счетчик 10, входы которого подключены к Фотоприемникам 7 и 8, 20 формирователь 11 импульсов, вход ко" торого подключен к выходу позиционно- чувствительного фотоприемника 9; анализатор 12 первый вход которого подключен к первому выходу формировате ля 11 импульсов, а второй вход - к выходу реверсивного счетчика 10, второй выход формирователя 11 импульсов подключен к входу "Сброс" реверсивного счетчика 10; два призменных от ражателя 13 и 14 и зеркало 15, предназначенные для скрепления с контролируемым объектом 16; и зеркало 17, жестко скрепленное с основанием. положение формирователь 11 импульсовпо сигналам с выхода поэиционно-чувствительного фотоприемника 9 Формирует два сигнала. Сигнал Запись", поступающий на вход анализатора 12,обеспечивает переписывание в памятьанализатора 12 показаний реверсивного счетчика 10. Сигнал "Сброс", поступающий с некоторой временной задержкой по отношению к сигналу "Запись", сбрасывает реверсивный счетчик 10 в нулевое положение, Такимобразом, автоматическая поднастройкадифференциального интерферометра впроцессе измерений позволяет повыситьточность и достоверность. контроляугловых перемещений объектов, 1 ил. Входная грань призменного отражателя 13 оптически связана с лазером 1 и Фотоприемниками 7 и 8 через свето" делители 2 и 3.Входная грань призменного отражателя 14 оптически связана через зеркало 4 и светоделители 2 и 3 с лазером 1, через зеркало - с фотоприемниками 7 и 8.Входные грани призменных отражателей 13 и 14 оптически связаны с зеркалами 5 и 6 соответственно. Зеркало 17 установлено между светоделителем 3 и зеркалом 15. Позиционно- чувствительный фотоприемник 9 опти,чески связан через зеркала 15 и 17 и светоделитель 3 с лазером 1 и при начальном (нулевом) положении объекта 16 пучок лучей лазера 1 расположен симметрично на площадке позиционно- чувствительного Фотоприемника 9.Дифференциальный интерферометр работает следующим образом.Пучки лучей лазера 1 проходят светоделитель 3 и разделяются светоделителем 2 на два пучка лучей, один из которых проходит через призменный отражатель 13, отражается от зеркала 5 и возвращается на светоделитель 2. Второй пучок лучей отражается от зеркала 4, проходит через приэменный отражатель 14, отражается. от зеркала 6 и возвращается на светоделитель 2,5 фовмула изобретения Составитель А,ЗаболотскийТехред А.Кравчук Корректор В.Гирняк Редактор М.Андрушенко Заказ 661/37 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ЮеПроизводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 31462Возникающая интерференционная картина регистрируется фотоприемником 7 и через светоделитель 3 - фотоприемником 8. Электрические импульсы с фотоприемников 7 и 8 поступают на вход реверсивного счетчика 10, по показаниям которого судят о величине угловых перемещенийПри прохождении контролируемым объектом 16 нулевого положения пучок лучей лазера 1, отразившись от светоделителя 3, зеркал 17 и 15, пересекает границу раздела (ось симметрии) чувствительных площадок позиционно-чувствительного фотоприемника 9. Формирователь 11 импульсов по сигналам с позиционно- чувствительного фотоприемника 9 фор-. мирует два сигнала "Сброс" и "Запись", при этом сигнал "Сброс" формируется с некоторой задержкой относительно сигнала "Запись"Сигнал "Запись" с первого выхода формирователя 11 импульсов поступает на первый вход анализатора 12, в соответствии с которым число, записанное в реверсивном счетчике 10, переписывается в память анализатора 12, Сигнал "Сброс" с второго выхода формирователя 11 импульсов поступает на вход "Сброс" реверсивного счетчика 1 О и перебрасывает его в нулевое положение. Обну.ление реверсивного счетчика 10 в процессе измерения позволяет устранить .накопленную погрешность измерения угла поворота объекта вследствие ложных срабатываний реверсивного счетчика 10 и тем самым повысить точность контроля. По.показаниям анализатора 12 можно судить о достоверности измерений. Если показания анализатора 12 превышают некоторое пороговое значение, результаты предыдущих измерений будут недостоверными.Таким образом, автоматическая поднастройка дифференциального интерфе 0984рометра в процессе измерений позволяет повысить точность и достоверностьконтроля угловых перемещений объектов.,Дифференциальный интерферометр дляизмерения угловых перемещений, содер жащий основание и жестко скрепленныес ним лазер, два светоделителя, тризеркала, два фотоприемника, реверсивный счетчик, входы которого подключены к соответствующим фотоприемникам, 15 два призменных отражателя, предназначеннь 1 е для скрепления с контролируемым объектом так, чтобы входная граньодного из отражателей была оптическисвязана через светоделители с лаэе ром и двумя. фотоприемниками, .входнаягрань другого оптически связана через первое зеркало и светоделитель слазером и фотоприемниками, а два других зеркала оптически связаны с вход ными гранями соответствующих призменных отражателей, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен четвертымзеркалом, предназначенным для скрепЗ 0 ления с контролируемым объектом, пятым зеркалом, установленным междупервым по ходу излучения светоделителем и четвертым зеркалом, позиционно-чувствительным фотоприемником,оптически связанным через четвертое 35и пятое зеркала и первый светоделитель с лазером, формирователем импульсов, вход которого подключен квыходу позиционно-чувствительного фо топриемника, и анализатором, первыивход которого подключен к первомувыходу формирователя импульсов, второй выход формирователя импульсовподключен к входу "Сброс" реверсивного счетчика, выход которого подключен к второму входу анализатора.