Адаптивный интерферометр

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСГУБЛИН В С 1 И 5 И 4001 в 9/ нрв8)тво СССР1974 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) АДАПИВНЫЙ ИПЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измер тельной технике и может быть испол зовано для измерения линейных и уг ловых перемацений. Цель изобретения - повыпение помехоустойчивости достигается за счет измерения профиля оптической поверхности. С помонью акустооптических модуляторов 2 и 4 осуцествляется управление оптическими длинами интерферометра, образованного источником 1 монохроматического света, светоделителем 3, светосоединителями 9 и 11 и светоделительным кубиком 6. Отрицательная обратная связь, которая осуществляется за счет подстройки второго генератора 15, связанного с вторым акустооптическим модулятором 4, позволяет стабилизировать оптическую длину эталонного плеча интерферометра в условиях воздействия вибрации. 13Изобретение относится к измерительной технике и может быть ис"польэовано для измерений угловых илинейных перемещений, а также дляконтроля качества поверхностей различных оптических элементов в условиях воздействия производственных помех и вибраций,Цель изобретения - повышение помехоустойчивостн эа счет уменьшениявоздействия вибрации путем использования отрицательной обратной связи,стабилизирующей оптическую разностьхода плеч интерферометра. 15На чертеже представлена структурная схема предлагаемого интерферомет"ра.Адаптивный интерферометр содержитисточник 1 монохроматического света, 20акустооптический модулятор 2, генератор 3, второй акустооптический модулятор 4, диафрагму 5, светоделительный кубик б, объектив 7, зеркало 8,первый светосоединитель 9, первый 25Фотоприемник 10, второй светосоединитель 11, второй фотоприемник 12,светоделитель 13, дифференциальныйусилитель 14, управляеьий генератор15. ЗОАдаптивный инт ерферометр р аб от аетследующим образом.Световой поток от источника 1 монохроматического света поступает на первый акустооптический модулятор 2, к которому подключен генератор 3 генерирующий сигнап с частотой Йген, на выходе первого акустооптического модулятора образуются два световых потока, продифрагированный с часто- щ той Е, + Гген и непродифрагированный с частотой ГПоследний, пройдя через второй акустооптический модулятор 4, также образует два световых потока с частотами йо и Г, + Г . Световой поток с частотой Го отсекается диафрагмой 5, пропускающей световой поток, имеющий частоту опт + чн который далее няпрявля ется ня сВето делительный кубик 6. Светоделительный кубик 6 разделяет пришедший световой поток на два, Первый проходит объектив 7, Выполняющий функции преОбразОВЯтеля Волнового фронт Я и по падает на зеркало 8, поверхность которого необходимо измерить, установленное в фокальной плоскости объектива 7, отразившись от зеркала 8 в обратном направлении, отражается отсветоделительного кубика 6 и черезсветосоединитель 9 попадает на первый фотоприемник 10, образуя измерительное плечо интерферометра. Второйсветовой по ок, отраженный от кубика 6, а затем через светосоединитель11 попадает на второй фотоприемник12, образуя эталонное плечо интерферометр а. Световой поток, продифр агированннй в первом акустооптическом модуляторе 2 и имеющий частоту Гг ++ й попадает на светоделитель 13,разделяется на два, один из них,пройдя через светосоединитель 9,интерферирует с измерительным световым потоком в измерительном плече иобразует интерференционную картинуна первом Фотоприемнике 10, котораяотражает рельеф контролируемой поверхности зеркала 8, второй световой поток, образованнйй светоделителем 13,проходит через светосоединитель 11,интерферирует с опорным световым потоком в опорном плече и образует интерференционяую картину на второмФотоприемнике 12, которая являетсяэталонной, При наличии внешних воздействий возникнет разность частотинтерферирующих световых потоков навеличину доплеровского сдвига, приэтом сигналы П и П с выхода фотоприемников 10 и 12 начинают изменяться, а на выходе дифференциальногоусилителя 14 появляется сигнал, поддействием которого изменяетсячастота управляемого генератора 15,подключенного к второму акустооптическому модулятору 4, причем знаки амплитуда этого сигнала таковы,что происходит выравнивание частотинтерферирующих световых потоков,т. е, изменение частоты одного светоного потока компенсируется изменением частоты управляемого генератора15. В результате этого, интерференционная картина остается неподвижной. Формула из обр ет енияАдаптивный интерферометр, содержащий оптически связанные источник монохроматического света, первый и Второй акустооптические модуляторы, соответственно с первым и вторым генераторами, подключенными к ним, светоделитель, первый н второй Фотоприемники и зеркало, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышеРедактор Г,Волкова Корректор Г.Реиетник Заказ 7494/38 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-.полиграФическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4.Г 3 145677ния помехоустойчивости, он снабженпервым и вторым светоделителями,светоделительным кубиком, диафрагмой, объективом и дифференциальнымусилителем, источник монохроматического излучения, первый и второй акустооптические модуляторы, диафрагма,светоделительный кубик, объектив изеркапо установлены поспедовательно 10по ходу светового луча, светоделитель установлен по ходу продифрагированного луча первого акустооптического модулятора н предназначен дляразделения светового пучка на первой 1 Би второй световые лучи, первый све 24тосоединнтель и первый фотоприемник установлены последовательно по ходу первого светового луча, второй светосоединитель и второй фотоприемник установлены последовательно по ходу второго светового луча, первый и второй выходы светоделительного кубика оптически связаны с входами соответственного первого и второго светосоединителей, выходы первого и второго фотоприемников соединены соответственно с первым и вторым входами дифференциального усилителя, выход которого соединен с входом второго генер атора,