Способ определения глубины дефектов на поверхности объекта

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ ЕСПУБЛИ 1 4 б 01 В 9/02, 11/3 ЙРГ ЧР ;.8 1.1 11 пзй1 .1 фР САНИЕ ИЗОБРЕТЕ В. Д. Тупикин,. В. Скрипаль ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕПЬСТ(71) Научно-исследовательский институт механики и физики Саратовского государственного университета(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЛУБИНЫ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИОБЪЕКТА(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, вчастности, для определения глубины раковин, трещин и других микродефектов на поверхности катодов. Цель изобретения - расширение диапазона измерения. Пучок лучей от источника 1 некогерентного света наЯО 1442817 А 1 правляют на наклонную плоскопараллельную пластину 2, покрытую светоделительным слоем, и разделяют на два пучка, один из которых отражается от светоделительного слоя и образует первую ветвь интерферометра, вторая половина пучка, пройдя сквозь пластину 2, образует вторую ветвь. После прохождения первого пучка лучей объектива 3 и отражения от поверхности объекта 7, а второго - от эталонного зеркала 5 оба пучка соединяют на поверхности разделительной пластины 2. В результате сложения двух пучков в фокальной плоскости окуляра 6 наблюдают систему интерференционных полос на изображении объекта 7. Далее передвигают объект 7, изменяя расстояние между объектом 7 и разделительной пластиной 2, до возникновения второй системы интерференционных полос в области дефек- рр та. Измеряют расстояние между соответ- Ы Ф ствующими интерференционными полосами каждой из двух систем и рассчитывают глубину дефекта по формуле. 2 ил.1Изобретение относится к измерительнойтехнике и может быть использовано для определения глубины раковин, трещин и других микродефектов на поверхности катодов.Цель изобретения - расширение диапазона измерения (до 3 мкм),На фиг. 1 изображена оптическая схемаустройства для реализации предлагаемогоспособа определения дефектов на поверхности объекта; на фиг. 2 - схема определения глубины дефекта.Устройство содержит источник 1 немонохроматического света, разделительную пластину 2, объективы 3 и 4, эталонное зеркало5 и окуляр 6.Способ осуществляют следующим образом,Пучок лучей от источника 1 немонохроматического света направляют на наклонную плоскопараллельную пластину 2, покрытую светоделительным слоем и разделяютна два пучка, один из которых отражаетсяот светоделительного слоя и образует первую ветвь интерферометра, вторая половинапучка, пройдя сквозь пластину 2, образуетвторую ветвь. После прохождения первогопучка лучей через объектив 3 и отраженияего от поверхности контролируемого объекта 7 и после прохождения второго пучка лучей через объектив 4 и отражения его отэталонного зеркала 5, наклоненного подугломер, оба пучка соединяются на поверхности разделительной пластины 2 и наблюдаются в окуляре 6. В результате сложениядвух пучков в поле 8 зрения окуляра 6 вобласти дефекта 9 наблюдают систему 10интерференционных полос. Измеряют расстояние 1 а между. соседними интерференционными полосами, Перемещают объект 7 вдольоси освещающего его пучка, изменяя расстояние между объектом 7 и разделительнойпластиной 2, до момента наблюдения второйсистемы 11 интерференционных полос в области, не пересекающей дефект 9, и фиксируют положение этой системы в поле 8 зрения окуляра 6.Расстояние 3, измеряют между соответствующими интерференционными полосами 2каждой из систем полос: между первой полосой из одной системы и первой полосой из другой системы или между второй полосой из одной системы и второй полосой из другой и т. д, Выбранной паре интерференционных полос соответствует определенная длина волны Я из диапазона длин волн Я - Я.+дЯ, которая и подставляется в расчетную формулу. Если расстояние измеряется между центральными полосами, то в 10 расчетную формулу подставляется длинаволны, соответствующая средней длине волны видимого света. По полученным данным определяют глубину Ь дефекта по расчетной формуле15где Я - длина волны света;К расстояние между соответствующими интерференцион ными поло сами первой и второй систем;1 - расстояние между соседними полосами,Данная формула применима для измерения глубины дефектов на плоских поверхностях. Однако, способ можно применять и для криволинейных поверхностей, вводя в расчетную формулу коэффициент К нелинейности.формула изобретения30Способ определения глубины дефектовна поверхности объекта, заключающийся в том, что освещают объект немонохроматическим пучком света, наблюдают систему интерференционных полос .в области дефекта, измеряют расстояние между соседними полосами и определяют глубину дефекта, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, перемещают объект вдоль оси освещающего пучка све та до момента наблюдения второй системыинтерференционных полос в области, не пересекающей дефект, фиксируют положение этой системы, а глубину дефекта определяют по расстоянию между соответствующими полосами двух интерференционных систем.Составитель Л. ЛобзоваРедактор И. Дербак Техред И. Верес Корректор Л. ПатайЗаказ 6373/37 Тираж 680 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4