Способ интерференционного контроля формы оптических изделий

СС 1 СЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9 02 М 11100, сз НИЯ Мо 201 ки атмосферы СО А к А. Иссле фазы из егральных фровые и ки изобр мск, 985 ванне нтер- преоб- птикожений: . 90 -(57) Изоброптике и мо В ИНТЕРсФОРМЫ ЕРЕ 1 ЦИОННОГПИЧЕСКИХ ИЗ тение относится жет быть исполь прикладнои но преимуприобретает омерное расллиматоре и Затем свет тному канатив 6 и отГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ Кнт СССР(56) Тартаковский В.точности восстановленияферограмм методами интразований. - В кн.: Цици 1 рровые методы ОбработМежвузсвский сборник, То97 Изобретение относится к прикладной оптике и может быть использовано преимущественно при контроле качества поверхности оптических элементов и систем.Цель изобретения - повышение точнос- ТИ КОНТРОЛЯ.На чертеже показано устройство для реализации предлагаемого способа.Устройство состоит из источника 1 света, коллиматора, образованного двумя объективами 2 и 3 и диафрагмой 4, светоделителя 5, объектива 6, объекта 7 контроля, привода 8 эталонного зепкала 9, сканирующего фотодетектора 10 и анализа.ора 11,Устройство работает следующим обра- ЗОМ. Волна света из источника 1 плоский волновой фронт и равн пределение интенсивности в ко поступает на светоделитель 5. идет по двум каналам. По объе лу свет проходит через объек щественно при кон 1,Оде".Нес ", л ,Оверх.:Ости оптических элеме:;з-. и с, - , 1 и С:с 1 сос Основан на регистрации .:;те с, рограмм помсисцью объектного и Опорного 1) иков света при фиксированнои носк Р Н 1, кИ 1- тролируемого изделия. ПО с 1. 1 ф;(иг;а: - мам определяют волновой фронт. О к, гои- му судят о качестве конт)и 1 лир),мо 1 О здслия. С целью псвы.Ня точност НсИт 1 оля путеу пОвыцРния с:Опс ния сигнал,с" измРняют угол .1 Ржд, 01;тичсск 11 ми ьхи ОгОрного и объектО ООбраз,стоя серя НИ Р., сии.1 с., и, 11 сличакщихся одна от др,;,. о 1:. О; . Ри тацией интерференци и ьх пси;зс сс НОВЛЕННЫЕ ИЗ ИНса,. РОГРа".М ОЛНОВЫс фронты усредняют и О 1,р:дс-:т ср. 1 золновой фронт, по ксторох 1 с 1 дитче:тв контроли руемогэ Оптческо; О изде,1 и.1 ил. ражается От контО, ипуе 10 1 ОО ьелтс 1 затем, вновь пройдя светсде.1 ите,ь 5, попадает в плоскость регистрации, где усНновлен сканирующий фотодетектор 1 О ПО оО 11 ночу каналу свет проходит, Отражая,. От эталонного зеркала 9, виоьь прохо 1 Я с;.Ртс дсли тель 5, совмещается со светом из обьектного канала в плоскости регистрации, где сбразуется выборочная интерферогра."а. Интерферограмма регистрипуется сканирук, - щим фотодетектором 10, из которого сИс в виде электрического сигнала поступает в анализатор 11, где реализуется один из из. вестных алгоритмов анализа интерферограмм. После анализа каждои из ингерферограмм серии анализатор 11 вырабатывает сигнал, поступающий на привод 8 эталонного зеркала, который изменяет угол наклона эталонного зеркала 9 относительно оптической оси. При этом образуется новая интерферограмма, которая вновь детектируется блоком 10 и обрабатывается бло 13ком 11. Из каждой К-й интерферограммы серии в блоке 11 восстанавливается волновой фронт гр (Х,У). Затем волновые фронты суммируются и находится взвешенное среднеею(р(Х,У)=з,. Х а, р(Х,у),где а - весовые коэффициенты (в простейшем случае а=1).Величина ср(Х, т) полностью характеризует качество поверхности объекта 7 контроля. В качестве показателей качества используют предусмотренные ОСТ 3-5467-83 величины о-=игр(Х;У)дх ду, макс 1 гр(Х,У),где 1 -- область, занимаемая интерферограммой.Предлагаемый способ обеспечивает генерацию выборочного ансамбля интерферограмм, который после восстановления преобразуется в выборочный ансамбль волно 483311вых фронтов (ср(Х,У, имеющих статистически независимые искажения в силу некоррелированности шума на различных пространственных частотах.Формула изобретенияСпособ интерференцион ного контроляформы оптических изделий, состоящий в ре 10 гистрации серии интерферограмм с помощьюобъектного и опорного пучков света при фиксированном положении контролируемого изделия, определе 11 ии волнового фронта по каждой интерферограмме, определении среднего волнового фронта путем усреднения волновых фронтов по реализациям и контроле по нему качества формы оптических изделий. отличоюи(ийея тем, что, с цел 1 ю повышения точности контроля, серию ичтерферограмм регистрируют с различным чис лом интерференционных полос и различнойих ориентацией путем изменения угла мех, - ду оптическими осями опорного и объектного пучков света.А. Лсжнинач 139 с,дарственного комитета по из113035, Москва, Ж - 35, твенно-издатстьский комбинат роизво Редакто Заказ 28 ВНИИПИ Г Составехрел И 1 ираж. ВересяообретенРа", шсПатент ВозьповКоррект Подписи се и ням и открытиям при ГКНТ СССРкая иаб д