Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических деталей

;(51)4 С 01 В Э 02 дРственкый комитет БРетекиям и отнРытгкнт сссР ГОсуд ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ,"(21) ,(22) (46) (71) (72) (53) объектив и второе зеркало, входная и выходная поверхности линзовой,системы выполнены в виде сферических эталонных поверхностей, а линзовая система размещена таким образом, что центр кривизны выходной сферической эталонной поверхности ее совмещен с фокусом первого объектива, а центр кривизны со входной сферической эталонной поверхности в ,с задним фокусом четвертого объектива.2, Интерферометр по п. 1, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и двух расположенных между ними плосковыпуклых линз, а выпуклые поверхности мениековых линз обращены к плоским поверхностям плосковыпуклых линз. 2634947/2 29.06.78. ,30. 01. 89. МВТУ им. Д.Т. Пуря 531715,1 Авторское 8347, кл,кБаумана ев(088.8)свидетельство СССРС 01 В 9/02, 1972. Интерферометр ю щ и й с я 1, о- тч лин виде двух линз и рас- ковыпуко п тем а зб ема выпол ных менис н и положительположенной между нимилой линзы.4,.Интерферометрл и ч а ю щ и й с я.вая система выполнеположительных менисна выпуклая поверхнсферической. во о п. тем, в в что линзиде двух инз, а о полнена овых сть в роля высок ностей лин итоей Известе интерферометр дл ерхности выпукль онтро фери-. т ля формы к ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54)(57) 1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, содержащий источник монохроматического излучения, установленные последовательно по ходу излучения зеркало, расположенное с возможностью углового перемещения, первый объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены второй объектив и фотопластинка, а на другом - компенсатор и линзовая система, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения производительности и точностиконтроля, он снабжен последовательно размещенными за линзовой системой вторым компенсатором, вторым свето- делителем, на одном выходе излучения ,из которого последовательно установлены третий объектив и вторая фотопластинка, а на другом - четвертый Изобретение относится к обла оптического приборостроения, за го изготовлением оптических дет :большого диаметра, а точнее, к ферометрам, предназначенным для очных сферических поверх и зеркал большого диаметческих деталей, содержащий источникмонохроматического излучения, установленные последовательно по ходуизлучения зеркало, расположеное свозможностью углового перемещения,первый объектив и светоделитель, наодном выходе излучения из которогопоследовательно установлены второйобъектив и фотопластинка, а на другом - компенсатор и линзовая система. 10 Указанная цель достигается тем, что интерферометр снабжен последовательно размещенными за линзовой сис темой вторым компенсатором, вторым светоделителем, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены третий объектив и вторая фотопластинка, а на другом - четвертый объектив и второе зеркало, входная и выходная поверхности линзовой системы выполнены в виде сферических эталонных поверхностей, а линзовая система размещена таким образом, 40 что центр кривизны выходной сферической эталонной поверхности ее совмещен с фокусом первого объектива, а центр кривизны ее входной сферической эталонной поверхности - с задним фокусом четвертого объектива.Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и двух расположенных между ними плосковыпуклых линз, а 60 выпуклые поверхности менисковых линзобращены к плоским поверхностям плосковыпуклых линз.Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и расположенной между ними двояковыпуклой линзы, Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых Недостатком известного интерферометра является ограниченность диапа" зона его применения, так как он пригоден только для .контроля поверхностей в проходящем светеКроме того, для каждой поверхности необходим компенсатор индивидуального назначения, который необходимо уста 20 навливать в правильное положение в каждой контрольной операции.Целью изобретения является расширение диапазона контролируемых по. верхностей, повышение производительности и точности контроля. линз, а одна выпуклая поверхность выполнена асферической.На фиг. 1 представлена схема интерферометра для контроля выпуклых,поверхностей одного диапазона радиусов кривизны; на фиг. 2 - то же,для второго диапазона радиусов кривизны; на фиг. 3 и 4 - варианты выполнены линзовой системы,Интерферометр содержит источник1 монохроматического излучения, зеркало 2, установленное с возможностьюуглового перемещения, первый объектив 3, светоделитель 4, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены второй объектив5 и фотопластинка б, а на другом -компенсатор 7 и линзовая система,состоящая из линз 8, 9, 10, 11, деталь 12 с контролируемой выпуклойповерхностью, второй компенсатор 13,второй светоделитель 14, на одном выходе излучения из которого последовательно установлены третий объектив 15, вторая фотопластинка 16,а на другом - четвертый объектив 17и второе зеркало 18.Интерферометр работает следующимобразом.Лучи света, выходящие из источника 1 (фиг. 1), поступают на зеркало2, затем - на объектив 3, которыйфокусирует пучок лучей в его заднемфокусе. Изображение заднего фокусаобъектива 3, построенное светоделителем 4, компенсатором 7 и линзовойсистемой, строится в центре кривизны выходной поверхности линзовойсистемы, с которым совмещен центркривизны контролируемой поверхностидетали 12Поэтому лучи света падают нормально на контролируемую поверхность детали 12, отражаются отнее, повторяют свой путь в обратномнаправлении и интерферируют с лучами, отраженными от выходной по ходулучей сферической эталонной поверх ности линзовой системы, По интерференционной картине, регистрируемойна фотопластинке 6, определяют погрешности контролируемой поверхности известными способами, При контроле выпуклых поверхностей второгодиапазона зеркало 2 выключаетсяиз хода лучей (фиг, 2), а контролируемая деталь 12 устанавливается перед линзовой системой так,цтобы центры кривизны контролируемой5 106790 поверхности детали 12 и входной поверхности линзовой системы были совмещены.,В остальном ход лучей не отличается от хода лучей при контроле поверхностей первого диапазона. Важным достоинством предлагаемого интерферометра является возможность автоматизации измерений, так как он не имеет перемещающихся деталей и узлов: все элементы интерферометра при смене контролируемых поверхностей занимают постоянные положения, правильность которых надежно прове 9 6ряется на любом этапе контроля по автоколлимационному отражению лучей от наружных поверхностей линзовой системы. Поэтому в предлагаемом интерферометре необходима только одна юстировочная операция: установка контролируемой детали в правильное положение.Повышение производительности и точности контроля впредлагаемом интерферометре достигнуто благодаря исключению трудоемких юстировочных операций.1067909 хред Л.СердюковаКорректор С.Черни актор Н.Сильнягина роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Уагород, ул. Гагарина,аказ 758НИИПИ Гос Ти твенного комит 113035, Москваж 683 а по и Ж,Подписноебретениям и открытиям при ГКНТ ССаушская наб., д. 4/5