Многоходовой интерферометр для контроля плоской поверхности объекта

) 4 С 01 В 9/02 У ОБИДЕ ем жатель 6, взаимного к измерить исполь огабаритныхраллельных венно, в п лителя 4,ских астрЦелью изо шение точн жателя зеркал путем повыш интерфероме размещенньсветодели едлаг аемый лом, трет зеркальны нтметрти; длины опт ка, разме ду светод узлом по аз рас- ллимащий одо- оде- отраоложенныиор 2, све по ходу из оделитель порный кан учения кообразую алы, много торой све объекта и 8 о и абочий ой узе азмещеазам,ретьег ключающии ержатель ител ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) МНОГОХОДОВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯКОНТРОЛЯ ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОБЬЕКТА(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле крупногабаритных Изобретение относитс ельной технике и может овано при контроле кру зеркал.ретения является повыи и производительности ия виброустойчивости На фиг.1 изображен многоходовой интерфер роля плоской поверхно сечение А-А на фиг,1Устройство содержиплоских астрозеркал. Целью изобретения является повышение точности ипроизводительности путем повышениявиброустойчивости интерферометра,Слабо расходящийся пучок излучениялазера преобразуют коллиматором впараллельный и направляют светоделител в рабочий и опорный. каналы идалее - в многоходовой узел, гдеопорный и предметный пучки совершаютмногократные прохождения между отражателем и вторым светоделителем, совершая при каждом прохождении отражения от контролируемой поверхностиобъекта. При обратном ходе оба пучкасоединяются на выходе светоделителяи интерферируют в регистрирующей счстеме, 2 ил. выполненные с возможностью поворота относительно паосей, лежащих, соответстлоскостях второго светодедержателя 5 объекта и отрарегистрирующую систему 7, ри второй коллиматор 9, е в рабочем канале между елем 3 и многоходовым узй коллиматор 10 и четырехузел 11 для регулирования ческого пути опорного пученные в опорном канале меж 3 елителем 3 и многоходовым оротный рычаг 12, зеркало о в рабочем канале таким то оптические оси второгоколлиматоров 9 и 10 па 1469343раллельны между собой, многоходовойузел размещен на пути рабочего иопорного пучков, третий коллиматор10 выполнен с возможностью фокусировки пучка на поверхность второго светоделителя 4, отражатель 6 размещенна поворотном рычаге 12, установленномна оси поворота держателя 5 объекта,проходящей через плоскость держателя5 объекта и жестко связанной с вторыми третьим коллиматорами 9 и 10, свозможностью вращения вокруг нее. Устройство работает следующим образом.Слабо расходящийся пучок излучения лазера 1 преобразуют коллиматором 2 в параллельный и направляют светоделителем 3 в рабочий и опорный каналы. Часть излучения, направленная светоделителем 3 в опорный канал, преобразуется третьим коллиматором 10 в узкий слабо сходящийся опорный пучок диаметром Й и через четырехзер кальный узел 11 направляется в многоходовой узел, в котором совершает многократные прохождения между отражателем 6 и вторым светоделителем 4, совершая при каждом прохождении отЗО ражения от контролируемой поверхности детали. Диаметр опорного пучка мал, поэтому его отражения от поверхностей элементов многоходового узла происходят на малых участках.Благодаря этому снижается влияние 35 ошибок указанных поверхностей на точность контроля. Деформация волнового фронта за счет неплоскостности участка поверхности контролируемого объекта пренебрежимо мала. Часть излучения, направленная светоделителем 3 в рабочий канал, направляется зеркалом 8 во второй коллиматор 9, ось которого параллельна оси третьего коллиматора 1 О. Коллиматор 9 формирует широкий рабочий пучок диаметром П, В много- ходовомузле рабочий пучок соверШает практически тот же путь, что и опорный, При обратном ходе оба пучка соединяются на выходе светоделителя 3 и интерферируют в регистрирующей системе 7. Качество участка поверхности объекта, от которого отражается опорный пучок, может быть проверено пробным стеклом или с помощью накладного интерферометра Физо, Все неподвижные элементы многоходового интерферометра закреплены яа основании 13.Ось поворота второго светоделителя 4 О,-О, и совмещенная ось поворота держателя 5 объекта и поворотного рычага 12 с отражателем 6 О-О жестко связаны с основанием 13, Ось поворота отражателя 6 0-О жестко связана с поворотным рычагом 12. Четырехзеркальный узел 11 предназначен для компенсации разности хода рабочего и опорного пучков.Формула изобретенияМногоходовой интерферометр для контроля плоской поверхности объекта, содержащий лазер и расположенные по ходу излучения коллиматор.; светоделитель, образующий рабочий и опорный каналы, многоходовой узел, включающий второй светоделитель, держатель объекта и отражатель, выполненные с возможностью взаимного поворота относительно паралйельных осей, лежащих соответственно в плоскостях второго светоделителя, держателя объекта и отражателя, и регистрирующую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, он снабжен зеркалом и вторым коллиматором, размещен" ным в рабочем канале между светоделителем и многоходовым узлом, третьим коллиматором и четырехзеркальным узлом для регулирования длины оптического пути опорного пучка, размещенными в опорном канале между свето- делителем и многоходовым узлом, и фповоротным рычагом, зеркало размещено в рабочем канале таким образом, что оптические оси второго и третьего коллиматоров параллельны между собой, .многоходовой; узел размещен на пути опорного и рабочего пучков, третий коллиматор выполнен с воэможностью фокусировки пучка на поверхность второго светоделителя, отражатель размещен на поворотном рычаге, установленном на оси поворота держателя объекта, проходящей через плоскость держателя объекта и жестко связанной с вторым и третьим коллиматорами, с возможностью вращения вокруг нее.1469343 Составитель В.Костюченкедактор Т.Парфенова Техред И.Дидык рректор М,Максимиши акаэ 1348/46 Тираж 683НИИПИ Государственного комитета по иэобретени113035, Москва, Ж Раушская ни открытиям при ГКН д. 4/5 ат "Пат Гагарина, 10 Ужгород изводственно-издательский