G01B 9/02 — интерферометры
Измеритель амплитуды и фазы световой волны
Номер патента: 1030645
Опубликовано: 23.07.1983
Авторы: Витриченко, Пушной, Тартаковский
МПК: G01B 9/02
Метки: амплитуды, волны, измеритель, световой, фазы
...цругому вкоцу преобразователя 14поцапючен выхоц блока 12 умножения.Другой выхоц сканирующего фотоприем 3 10 ника 6 подключен к входу бпока 8 де.- ления.Кроме того, выход преобразоватепя 13 Гильберта соединен с входом сумматора 15, другой вход которого соепинен с источником 16 единичного сигнала. Выход сумматора 15 через квадратор 17 соединен с одним из входов контроп ного сумматора 18. Два других входа контрольного сумматора 18 соответственно соединены с выходом бпока 8 деления через инвертор 19 и с выходом блока 12 умножения через квапратор 20. Сканирующий фотоприемник 6 и блок 7 запаздывания соединены с блоком 21 синхронизации который соединен с фотозатвором 3. Совокупность блоков 7-21 представляет собой анализатор...
Поляризационно-оптическое устройство для реверсивного счета полос интерференции
Номер патента: 1032329
Опубликовано: 30.07.1983
МПК: G01B 9/02
Метки: интерференции, полос, поляризационно-оптическое, реверсивного, счета
...к выходам измерительныхканалов, дополнителЬно введены установленный по ходу луча третий измерительный канал, блок измерения дроб"ной части порядка интерференции, блоки памяти, формирования управляющихимпульсов и реверсивный счетчик., приэтом блок измерения дробной частиподключен к выходу предварительногоусилителя третьего канала, выходыизмерительных каналов через блок сравнения, логический блок, блок памятии блок формирования импульсов подключены к реверсивному счетчику, аполяризаторы и анализаторы первыхдвухизмерительных каналов установлены таким образом, что обеспечиваютпостоянный фазовый сдвиг лучей нафотоприемниках относительно лучатретьего канала, равный + Л/2 и -У/2,На чертеже приведена блок-схемаустройства,Устройство...
Сканирующая система интерферометра
Номер патента: 1044965
Опубликовано: 30.09.1983
Автор: Архипов
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометра, сканирующая
...вход штуцера подключен кисточнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя выходами,вход которой подключен к выходу Штуцера, и рычагом, связанным однимконцом и поплавком, другим - со35штуцером, гаэостатическая опора выполнена н виде двух радиальных газостатических подшипников, каждыйиэ которых содержит дне камеры подвода смазки, одна, иэ которых .подключена выходом к соплам подшипника,расположенным с одной стороны осевойплоскости, общей для двух подшипников, другая - к соплам подшипника,расположенным с другой стороны плоскости, а каждый из выходов распределительной камеры соединен с накрест лежащими камерами разных подшипников,связанный одним концом с поплавком3, другим - со штуцером б,неподвижное зеркало 9 интерферометра,...
Способ измерения профиля оптических поверхностей
Номер патента: 1044969
Опубликовано: 30.09.1983
Автор: Пуряев
МПК: G01B 11/24, G01B 9/02
Метки: оптических, поверхностей, профиля
...пучок параллельных лучей света. перпендикулярно плоскости, проходящей через измеряемый профиль по верхности, так, чтобы одна часть пучка лучей света отражалась от поверхности, а другая часть пучка лучей света проходила мимо нее, наблюдают интерференционную картину, б 5 возникающую в результате взаимодействия лучей света, отраженных от .поверхности и прошедших мимо нее, и по параметрам этой картины судят о профиле поверхности.На фиг.1 изображена принципиальная схема устройства, реализующего предлагаемый способ измерения профиля оптических поверхностей; на Фиг 2 - устройство, вид сверху на Фиг.З - схема преобразования ийтерференционной картины в случае измерения профиля сферической поверхности с радиусом В и центром С кривизны," на...
Интерферометр для измерения неплоскостности и непрямолинейности поверхностей
Номер патента: 1046606
Опубликовано: 07.10.1983
Авторы: Касаткин, Лысенко, Скворцов, Сойту
МПК: G01B 11/24, G01B 9/02
Метки: интерферометр, неплоскостности, непрямолинейности, поверхностей
...с воэможностью наклона к оптической оси.Кроме того, оптический блок отклонения светового пучка выполнен в виде плоского зеркала, жестко связанного с Формирователем и установленного под углом 45 ф к оптической оси.Кроме того, оптический блок отклонения светового пучка вйполнен в виде двух вращающихся друг относительно друга оптических клиньев.На Фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра для измере" ния неплоскостности и непрямолинейности поверхностей; на Фиг, 2 - принципиальная схема интерферометра в случае выполнения оптического блока отклонения светового пучка в виде плоского зеркала, жестко связанного с Формирователем, вид сверху.Интерферометр (Фиг. 1) содержит монохроматический источник света, напрмер лазер 1,...
Интерферометр бокового сдвига для контроля качества оптических поверхностей
Номер патента: 1048306
Опубликовано: 15.10.1983
Автор: Кладов
МПК: G01B 9/02
Метки: бокового, интерферометр, качества, оптических, поверхностей, сдвига
...оптический ромб 10 наклоняют.Чтобы определить положение оптического ромба 10, обеспечивающее заданныйбоковой сдвиг, рассмотрим работу интерм.ферометра 6 бокового сдвига,Обозначим матрицу отражения от зеркала 8 интерферометра Т матрицуотражения от зеркала 9 интерферометра ействи с=о,о, - вектор сдв ба 1 - заданный га фронтоко а гд ового сдви 1 104Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интерференционных устройствах для контроля качества поверхностей оптических деталей,Известен .интерферометр бокового сдвига, предназначенный для контроля качества оптических поверхностей, содеркащий два светоделителя, два зеркала, плоскопараллельную пластину и клиновой компенсатор. Боковой сдвиг получают поворотом одного из...
Сканирующее интерференционное устройство с компенсацией фона
Номер патента: 1048307
Опубликовано: 15.10.1983
Авторы: Бернухов, Журавлев, Панкин, Федоринин
МПК: G01B 9/02
Метки: интерференционное, компенсацией, сканирующее, фона
...на два канала и установленные в каждом канате концевой отражатель, включающий в себя сферическоезеркало, а в одном из каналов - блокформирования двух взаимно дополняющихинтерференционных картин 2 1,Компенсация фона в известном устройстве основана, на взаимодействиидвух взаимно дополняющих интерференционных картин; получаемых с помощьюрасгров, входящих в блок формированияэтих картин и установленных в каждомканале устройства. При этом растрывыполнены в виде прозрачных и непрозрачных полос, ширина полос больше размера иэображения, а положение полос относительно оптической оси одного растраобратно положению полос второго растраНедостатками известного устройстмтвпяются низкая точность и помехоуотойчивость измерений, обусловленныепотерей...
Интерференционный фазометр
Номер патента: 1052850
Опубликовано: 07.11.1983
Авторы: Витриченко, Пушной, Тартаковский
МПК: G01B 9/02
Метки: интерференционный, фазометр
...содержит приемную оптическую систему, имеющую оптические каналы 1 и 2, причем оптическийканал 1 через фотозатвор 3, поворотное зеркало 4 и оптический смеситель5 совмещен с оптическим каналом 2,на оси которого после оптическогосмесителя 5 расположен сканирующийФотоприемник б, ныход которого подключен к блоку 7 запаздывания.Далее последовательно подключеныблок 8 деления, блок 9 извлеченияквадратного корня, блок 10 логарифмирования, преобразователь Гильберта11, который через косинусоидальныйФункциональный преобразователь 12 иблок 13 умножения подключен к одномуиз входов сумматора 14, с вторымвходом которого соединен источник15 отрицательного единичного сигнала,а его выход соединен с одним из входов преобразователя 1 б...
Измеритель длин волн
Номер патента: 1052851
Опубликовано: 07.11.1983
МПК: G01B 9/02
Метки: волн, длин, измеритель
...от генератора 6(подается на пьезопривод 10) .Для Формирования линейно изменяющегося напряжения тактовые импульсынапряжения от задающего генератора 556 импульсов подаются на реверсивныйсчетчик 7 и преобразователь 8 коднапряжение, где происходит Формирование кода напряжения. на выходе счет-:чика код напряжения считывается 60преобразователем, который Формируетступенчатое пилообразное напряжениетреугольной формы таким образом,что каждому приращению напряженияна его выходе соответствует один/ импульс от генератора 6. Количествоступенек по обоим Фронтам пилы одни"наково и равно количеству импульсов,поступакщих на вход счетчика 7 эаодин полупериод сканирования разности хода. Мерой сдвига двух интерференционных картин яаляется количество...
Двухлучевой интерферометр для измерения перемещений объектов в трубах малого диаметра
Номер патента: 1052852
Опубликовано: 07.11.1983
Авторы: Милосердин, Ремизов, Сизов
МПК: G01B 9/02
Метки: двухлучевой, диаметра, интерферометр, малого, объектов, перемещений, трубах
...- повышение точности измерения.Поставленная цель достигаетсятем, что в двухлучевом интерферометре для измерения перемещений объектов в трубах малого диаметра, содержащий монохроматический источниксвета узел разделения и рекомбинации основного и опорного пучков лучей, дна фотоприемника для реверсивного счета интерференционных полос,узел отражателей опорного и основно-,го пучков лучей, включающий дваглавных вогнутых и центральное неркала, главные вогнутые зеркала выполнены кольцеобраэной и круглой формыс общим Фокусом, расположены в одном поперечном сечении трубы, центральное зеркало установлено в указанном общем фокусе, одно иэ главных вогнутых зеркал жестко связанос центральным зеркалом, а другоесвязано с центральным зеркалом...
Интерферометрическая установка
Номер патента: 1057776
Опубликовано: 30.11.1983
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометрическая
...привода, в систему наведения введены преобразователь непрерывного вращения оси привода, два диска, напраищющие зеркал и 55 выключатель, при этом оба диска установлены на оси привода, зеркала установлены в направляющие по ободу первого диска 776с возможностью поворота в двух взаимно- перпендикулярных плоскостях, а второй диск снабжен фиксатором углового положения и соединен с регистрирующим устройством через выключатель.На чертеже изображена функциональная схема интерферометрической установки.Установка содержит стабилизированный интерферометр фабри-Перо 1, регистрирующее устройство 2 и систему 3 наведения состоящую из зеркал 4.1, 4.2 и 4,3, электромеханического привода 5, преобразователя 6 непрерывного вращательного движения...
Интерферометр для контроля формы выпуклых поверхностей линз большого диаметра
Номер патента: 1059418
Опубликовано: 07.12.1983
Авторы: Горшков, Лихачев, Лозбенев, Мамонов, Пуряев, Фомин
МПК: G01B 9/02
Метки: большого, выпуклых, диаметра, интерферометр, линз, поверхностей, формы
...линзу, предназначенную для заполнения пространства между момпенсатором и неконтролируемой поверхностью линзы, и регистратор интерференционной картины, оптически.сопряженный с осветителем, снабжен оптичес.ким элементом, выполненным в виде двояковогнутой линзы с эталонными поверхностями,радиусы кривизны которых не равны друг дру.гу, компенсатор выполнен в виде двояковогнутой линзы, на одну иэ поверхностей которойнанесено отражающее покрытие, осветитель устанавливается со стороны контролируемой поверхности линзы, оптический элемент размещается между осветителем и контролируемой поверхностью линзы саосно линзе.с возможностью переворота на 180 в плоскости, проходящей через оптическую ось линзы, и ориентируется так, что обращенные друг к...
Устройство для измерения угла поворота объекта
Номер патента: 1060938
Опубликовано: 15.12.1983
МПК: G01B 9/02
Метки: объекта, поворота, угла
...двух информациойных лучейв первом и втором интерферометрах,оптический клин 5, являющийся оптическим преобразователем угла поворота и устанавливаемым на одном валу 6 с контролируемым объектом 7,прямоугольные призмы 8 - 14 и приз-мы-триэдры 15 - 18, кольцевые стра".жатели 19 - 22 для возвращения со- ,.ответствующего луча в обратном нап"равлении, выполненные в виде заркал с отверстием для пропусканиясоответствующего информационноголуча в оптический клин 5, и регистрирующий блок в виде фотоприемников23 и 24, первого и второго соответственно интерферометра, и вычислительное устроцство (не показано ).Устройство работает следующимобразом.Пучок света от источника 1 пада ет на светоделитель 2, ПрошЕдшийсветоделитель 2 луч света...
Многолучевой интерферометр
Номер патента: 1060939
Опубликовано: 15.12.1983
Автор: Рокос
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, многолучевой
...а также оптические оси анизотропных элементов, нумерация которыхсвидетельствует нумерации, приведенной на фиг. 1; на фиг. Э - зависимость выходного сигнала узкополосно 20 го усилителя О от Фазового смещения Ф; на фиг. 4 - функции Эйридля лучей, поляризованных соответственно в плоскостях о = (110) ир = (110 1, а также аппаратная функ 25 ция устройства 0 = Е (сР)Устройство состоит из источникамонохроматического излучения 1, поляризатора 2, зеркал интерферометрафабри-Перо 3 и 4, Фазовой пластинки 30 5, гониометра б, на столике которого установлена исследуемая пластина 7, поляризационнйй комйенсатор,например компенсатор Бабине 8,элект.рооптического модулятора 9, анализа тора 10 диаФрагмы 11, фотоэлектронного умножителя 12,...
Сканирующий интерферометр фабри-перо
Номер патента: 1060940
Опубликовано: 15.12.1983
Автор: Архипов
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, сканирующий, фабри-перо
...регистратор с фотоприемником на выходе интерферометра, до" полнительно введены второй регистратор с отклоняющим зеркалом и зеркальный модулятор с уголковым 55 отражателем, при этом отклоняющее ; : зеркало установлено по ходу луча на входе интерферометра, модулятор установлен под углом 45 ф к оптичес-. кой оси интерферометра перед первым регистратором, а выходы регистраторов подключены к ЭВМ.На чертеже показана функциональная схема сканирующего интерферометра Фабри Дефо. Интерферометр содержит входнойобъектив 1, клиновидные пластины сзеркально отражающими поверхностями2 и 3, подключенную к ним системусканирования 4, выходной объектив5, установленный под углом 45" коптической оси, зеркальный модуляторб с уголковым отражателем 7,...
Интерферометр для измерения децентрировки оптических систем
Номер патента: 1062513
Опубликовано: 23.12.1983
Авторы: Иванова, Кирилловский, Маларев
МПК: G01B 9/02
Метки: децентрировки, интерферометр, оптических, систем
...- в виде осветителя и щелевой диафрагмы, ориентированной параллельно.штрихам решетки.На чертеже показана принципиальная схема интерферометра для измерения децентрировки оптических систем,Интерферометр содержит источник 1 излучения, держатель 2, расщепитель 3 излучения, регистратор 4 интерференционной картины и привод 5. Измеряемая оптическая система б закрепляется в держателе 2, Источник 1 излучения может быть выполнен, например, в виде осветителей и целевой диафрагмы, а расцепитель 3 излучения - в виде дифракционнорешетки. Привод 5 механически связан с держателем 2 и предназначен дляпроворота держателя 2 вокруг оптической оси интерферометра.Устройство работает следующим образом.Излучение от источника 1 проходит измеряемую оптическую...
Оптический микроволноводный интерферометр
Номер патента: 1065682
Опубликовано: 07.01.1984
Авторы: Остроуменко, Шмалько
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, микроволноводный, оптический
...и полосками, образующими плечи интерферометра,нанесена на планарный микроволноводпленка металла.На фиг.1 изображена схема оптического микроволноводного интерферометра; на фиг.2 - поперечное сечение интерферометра.50Оптический микроволноводный имтерферометр, содержащий входной ивыходной микроволноводы, выполненныев виде единого канального микроволновода (не показан 7 с наложенной на планарный микронолновод 1 полоской 2, подложку 3, образующиеплечи интерферометра два идентичныхмикроволновода, выполненные в видеканальных микроволноводов (не показаны) с наложенными на планарный 60микроволновод 1 полосками 4 и 5 симметрично единому микроволноводы ипараллельно ему, элемент связи,выполненный в виде направленных ответнителей 6 и 7, второй...
Интерферометр для контроля формы сферических поверхностей линз
Номер патента: 1068699
Опубликовано: 23.01.1984
МПК: G01B 11/24, G01B 9/02
Метки: интерферометр, линз, поверхностей, сферических, формы
...диапазона параметров конт-, ролируемых поверхностей и повышение точности контроля.Поставленная цель достигается тем что интерферометр для контроля Формы сферических поверхностей линз,содержащий последовательно расположенные источник монохроматическогосвета, фаэовую четвертьволновую пластинку, телескопическую систему и Фокусирующий объектив, образующие осветительную ветвь, компенсатор иэталонное сферическое зеркало, образующие рабочую ветвь, и наблюдательную систему, снабжен расположенной между фокусирующим объективоми компенсатором линзой, поверхностькоторой, обращенная к компенсатору,выполнена плоской, а другая поверхность - выпуклой апланатической,линза установлена так, что нормальк плоской поверхности линзы составляет с...
Устройство для измерения толщины эпитаксиальных слоев
Номер патента: 1073564
Опубликовано: 15.02.1984
Авторы: Журба, Косыгин, Силантьев
МПК: G01B 9/02
Метки: слоев, толщины, эпитаксиальных
...двумя сферическими зеркалами, установленными в ходе лучей, отраженных от первого зеркального блока, и зеркальным умножителем, выполненным в виде двухплоских зеркал, одно из которых установлено неподвижно, а другое - на общем основании с подвижным зеркалом второго зеркального блока под тупым углом к нему.На чертеже представлена схема устройства.Устройство содержит два параллельноустановленных источника 1 и 2 монохроматического и немонохроматического излучения и последовательно расположенный по ходу излучения от источников светоделитель 3, выполненный в виде плоского зеркала, расположенного под углом 45 к оптической оси устройства, зеркальный блок, выполненный в виде двух плоских зеркал 4 и 5, установленных на общем основании таким...
Устройство для контроля направляющих
Номер патента: 1073565
Опубликовано: 15.02.1984
Автор: Архипов
МПК: G01B 9/02
Метки: направляющих
...отсчета смещения интерференционных полос 12.Недостатком известного устройства является ограничение точности контроля из-за отсутствия общего начала координат оптических осей интерферометров и пучка сравнения. Цель изобретения - повышение точности контроля.Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее источник света, два интерферометра Фабри - Перо, состоя.- щих из пластин, обращенных одна к другой отража 1 ошими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой...
Интерферометр для контроля вогнутых эллипсоидов вращения
Номер патента: 1084597
Опубликовано: 07.04.1984
Авторы: Бубис, Кузнецов, Плошкин, Хорошкеев
МПК: G01B 11/24, G01B 9/02
Метки: вогнутых, вращения, интерферометр, эллипсоидов
...что интерферометр для контроля вогнутых эллипсоидов вращения, содержащий монохроматический источник света, оптическую систему, формирующую точечное изображение источника света, и светоделитель, делящий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, снабжен последовательно расположенными за оптической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображения источника света,и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием, сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма находятся с одной стороны. относительно выпуклой поверхности этого зеркала.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля вогнутых...
Устройство для контроля автомобильных и авиационных шин без разрушения образца
Номер патента: 1088674
Опубликовано: 23.04.1984
Автор: Ханс
МПК: G01B 9/02, G01M 17/02
Метки: авиационных, автомобильных, образца, разрушения, шин
...У ванн 23 (фиг. 2) зеркало 3 находится после закрытия колпака 6 внутри контролируемой шины 15. Это положение конусообразного зеркала делает возможным наблюдение внутренней эоны шин. У ванн 22 (фиг. 1) контролируемая шина лежит ниже зеркала 13. Это положение делает возможным наблюдать бортовые эоны шины.Внизу плиты 4 подвешен на амортизаторах 24 н качестве когерентного источника света лазер 25. Исходящий ив него световой луч проходит через отверстие в плите 4 и в кожухе 5 но-внутрь его и разделяется там на опорный 26 и предметный 27 лучи. Это происходит с помощью разделительного куба 28. Опорный луч после прохода через фотозатвор 29 расширяется с помощью расширяющего оптического устройства 30 и затем направляется посредством...
Интерференционный способ определения положения границы объекта
Номер патента: 1089404
Опубликовано: 30.04.1984
МПК: G01B 9/02
Метки: границы, интерференционный, объекта, положения
...точках сечения реЕзультирующего светового потока,где интерферируют два световых пучка, принадлежащих одной и той жепаре,имеет видА +А ае л (1 + -1 И)= О,Е 1 1 Хтак как е 112 л+11 лСледовательно, чнтенсивность 3тех точек сечения результирующегосветового потока, где интерферируютдва светбвых пучка из одной пары,определяемая из соотношения 311=.ААф также равна нулю. Поэтому2, гвелйчина результирующего световогопотока остается постоянной до момента встречи двух иэображенийобъекта, принадлежащих разным парам(фиг, 1 б ).При пересечении участков неперекрывающихся изображений обеих парначинают иитерферировать между собойсветовые пучки из разных пар. ВследОствие заранее выбранной разностихода между ними, равной нечетномучислу полуволн...
Поляризационный интерферометр сдвига
Номер патента: 1095033
Опубликовано: 30.05.1984
Авторы: Осипов, Умбетов, Фирсов
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, поляризационный, сдвига
...колебаний лазерного излучения, столик 6, на котооом чкоеплен контролируемый объект 7 (например, объектив), формирующий сходящийся лазерный пучок, бифокальную линзу (БЛ) 8 в качестве сдвигающего элемента, укрепленную на прецизионном столи ке 9, обеспечивающем управление перемещением БЛ в продольном (вдоль оси Е ) и в поперечном (вдоль осей Х и) направлениях, анализатор 10, установленный под углом 45 опо отношению к оптическим осям БЛ, и экран 11 для визуализации формируемой интерференционной картины.БЛ 8 состоит.из двух склеенных сфе. рическими поверхностями линз из двупреломляющего кристалла (например, СаСО или % 0):плоско-вогнутой линзы 12 и плоско-выпуклой линзы 13, имеющих ортогональную ориентациюоптических осей (О, и О ).Угол между...
Устройство для контроля неплоскостности поверхностей
Номер патента: 1096491
Опубликовано: 07.06.1984
Авторы: Попов, Седов, Урывский
МПК: G01B 11/24, G01B 9/02, G02B 26/08 ...
Метки: неплоскостности, поверхностей
...измерения параметров движения зеркала н блоке 2 сканирования, снетоделитель 11 ксллимирующую линзу 12 Зеркала 13 и 14 установлены на выходе источника 1 излучения для излома оптической оси, Сканирующее зеркало 15 блока 2 сканирования (фиг,1) установлено в Фокусе линзы 16, Зеркало 17 для формирования рабочего гучка устанавливается н параллельном пучке нг выходе линзы 16. Снетоделитель 11 установлен в Фокусе линз 18 - 20 и 12, Блок определения конца сканирования состоит из свето- делителя 21 и фотоприемника 22. Линзы 23 и 24, в фокусе которьх установлен светоделитель 25, а также зеркала 26 и 27, Фильтры 28 и 29, и Фотоприемники 30 и 31 образуют в совокупности регистров 4 (Фиг. 1).нокупности регистратор 4 (фиг. 1). Один из двух олокон...
Сканирующий интерферометр
Номер патента: 1099097
Опубликовано: 23.06.1984
Автор: Матвеев
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, сканирующий
...по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, Формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму, между парами полупрозрачных черкал установлена система отклонения световых пучков, расположенная такг что входящий в нее и выходящий иэ нее световые пучки перпендикулярны рабочим плоскостям зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины,При этом система отклонения световых пучков может быть выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призм или призмы и зеркала.На фиг. приведена схема интерферометра с отклоняющей системой, выполненной в виде двух...
Интерферометр для измерения линейных и угловых перемещений объекта
Номер патента: 1100495
Опубликовано: 30.06.1984
Авторы: Воробьев, Кудинов, Поздняков, Сергеев
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений, угловых
...и транспоранта, расположенного в общей фокальной плоскости 55 объективов, а транспорант выполнен в виде пластины произвольной формы с заданным законом пропускания. На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерений линейных и угловых перемещений объекта.Интерферометр содержит лазер 1, телескопическую систему 2, светоделительный элемент 3, опорный 4 измерительный 5 отражатели, оптический фильтр 6 пространственных частот, состоящий из двух объективов 7 и 8 помещенного между ними транспоранта 9,фотопреобразователи 10 и электронную схему 11 счета полос.Интерферометр работает следующим образом.Луч света Зо, излучаемый лазером 1, расширяется телескопической системой 2 и разделяется .светоделительным элементом 3 на...
Многолучевой интерферометр
Номер патента: 1103070
Опубликовано: 15.07.1984
Автор: Архипов
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, многолучевой
...интерферомет" ра.Интерферометр содержит входной коллиматорс источником света, выходной коллиматор 2, пластинку 3 с .Отражающим покрытием, дифракционнуюрешетку 4 с симметричным профилем штрихов и систему сканирования 5.Устройство работает следующим об разом.Исследуемый световой поток, выходящий из входного когцтиматора 1 падает под углом 1 на пластинку 3. После прохождения отражательного слоя пластинки 3 световые лучи падают по нормали на левые грани штрихов дифракционной решетки 4, от которых они отражаются обратно в сторону пластинки 3. После отражения от слоя пластинки 3 световой поток падает по нормали на правую грань штриха, отражаясь от которого частично выходит через отражающий слой пластинки 3 в сторону выходного...
Устройство для измерения малых перемещений
Номер патента: 1104361
Опубликовано: 23.07.1984
МПК: G01B 9/02
Метки: малых, перемещений
...оптическисвязанных с оптическим элементом, иблок регистрации с фазометром, под 40ключенный к выходам фотоприемников, .снабжено вторым светоделителем,установленным между первым светоделителем и оптическим элементом параллельно первому светоделителю, уз-45лом сдвига частоты излучения, оптически связываемым через светоделители с зеркалом и контролируемым объектом, и двумя полосовыми фильтрами,входы которых подключены к выходам50фотоприемников, а выходы - к фазометру. 361 2щепитель 2, светоделители 3 и 4, узел 5 сдвига частоты, объект 6 измерения, зеркало 7, установленное на общем основании с объектом 6, оптический элемент 8, два фотоприемника 9 и 10, два полосовых фильтра 11 и 12, фазометр 13.Светоделители 3 и 4, узел 5 сдвига частоты,...
Интерферометр
Номер патента: 1106984
Опубликовано: 07.08.1984
Авторы: Михайловский, Нагибина, Рачков
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр
...Светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на однуиз меньших граней которого нанесено полупрозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную куголковым отражателям, - зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучениЬ, отраженное от другого уголкового от ражателя, падает на меньшую зеркальную грань 11 .Недостатком известного интерферометра является недостаточно высокая точность из-за существенного влияния низкого уровня контрастности интерференционной картины, обусловленного расходимостью интерферирующих пучков..Цель изобретения - повышение точ" ности за счет увеличения контрастности интерференционной...