H01J — Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы

Номер патента: 1819049

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Гончаров, Эдлин

МПК: H01J 49/38

Метки: датчик, ионно-циклотронного, резонанса, спектрометра

...поля в значительной области ячейки, 2 ил.1819049 20 Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно, к масс-спектрометрии ион но-циклотрон ного резонанса.Целью настоящего изобретения является увеличение точности измерения массы иона (циклотронной частоты).Поставленная цель достигается изменением конфигурации электрического поля в ячейке. Для этого каждая из удерживающих пластин разделена на две части, круглую и кольцевую, расположенные коаксиально, Предлагаемая ячейка изображена на фиг,1, она состоит из: 4-х боковых цилиндрических электродов - 1, двух круговых удерживающих электродов - 2, двух кольцевых удерживающих электродов - 3.Радиальная составляющая электрического поля равна нулю не только на осевой...

Номер патента: 1777502

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Моос, Пожарская, Славнова, Тебелева

МПК: H01J 1/30

Метки: газоразрядных, катод, приборов, холодный

ХОЛОДНЫЙ КАТОД ДЛЯ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВ, содержащий металлическую подложку с эмиссионным покрытием, отличающийся тем, что, с целью повышения эрозионной стойкости и стабилизации эмиссии по поверхности катода, эмиссионное покрытие выполнено трехслойным, причем первый к подложке слой выполнен толщиной 0,1 - 0,3 мкм из металла, взятого из группы металлов - магний, барий, кальций, второй слой выполнен толщиной 0,5 - 0,8 мкм из эвтектической смеси одного из соединений Mg2Sn, BanSn, CanSn, где n = 1,2 с оловом, а третий слой - из олова толщиной 0,05 - 0,1 мкм.

Номер патента: 1786960

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Масленников, Матюшин, Никитский, Шлепов

МПК: H01J 9/04

Метки: катода, металлопористого

...если значения д, Т и т для любыхразмеров катодов остаются в экспериментально отработанных пределах,Если имеется катод диаметром б 4 и длиной образующей катода 11 и для него отра: ботан режим обкатки, обеспечивающейвйсокое качество, т.е, известны Ю, Ф,1,1 о 61 др 1, п 1, ь, то для любых других катодных параметров б, др и 1 легко получить гп = (бра - и)/бр об отка способа об периментально Таким образом, отркатки заключается в эопределении констант-- с 1 и Результаты обработки режимов обкаткина катоде приведены в табл, 1 - 5,Из этих результатов следует, что дляобеспечениястабильного эффекта снижения испарения за счет образования уплот ненного слоя толщиной 10 - 15 мкм иполучения высокого качества обрабатываемой йоверхности необходимо,...

Номер патента: 544303

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Иванов, Неймарк

МПК: H01J 27/02

Метки: ионного, нейтрализации, пучка

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ИОННОГО ПУЧКА, содержащее ресивер, сито из сплавленных между собой отрезков капилляров для подачи направленного потока газа в область нейтрализации и поглощающий экран, отличающееся тем, что, с целью повышения направленности потока газа, сито выполнено с поперечными по отношению к оси капилляров разрезами.

Номер патента: 1367766

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Бугров, Иванов, Кочетков, Литвинов, Яльцев

МПК: F16F 7/12, H01J 5/02

Метки: нагрузок, поглощения, прибора, ударных, электровакуумного

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОГЛОЩЕНИЯ УДАРНЫХ НАГРУЗОК ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, содержащее корпус, снабженный цилиндрической камерой с крышкой, соосно размещенные под крышкой зажимное кольцо и защитную рамку и размещенный на дне камеры опорный элемент с амортизирующей прокладкой для установки электровакуумного прибора, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности гашения ударных знакопеременных нагрузок электровакуумного прибора с двумя торцовыми рантовыми спаями, опорный элемент выполнен в виде цилиндрической втулки с кольцевым уступом на внешней части торцовой поверхности, высота которого превышает толщину амортизирующей прокладки, а защитная рамка выполнена в виде кольца, снабженного внутренним и внешним фланцами и установленного с...

Номер патента: 1489490

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Симонов, Черепенин

МПК: H01J 25/00

Метки: мощный, релятивистский, свч-прибор, электронный

МОЩНЫЙ РЕЛЯТИВИСТСКИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ СВЧ-ПРИБОР, содержащий соосно расположенные электронную пушку с кольцевым термокатодом и анодом, квазиоптическую электродинамическую структуру, магнитную фокусирующую систему, ввод и вывод СВЧ-энергии и коллектор, отличающийся тем, что, с целью повышения выходной мощности и рабочей частоты, термокатод расположен в области однородного магнитного поля, при этом перпендикуляр к его рабочей поверхности, проходящий через средний диаметр катода, параллелен оси прибора, анод выполнен в виде диска с кольцевой щелью, средний диаметр которой равен среднему диаметру катода, а ввод СВЧ-энергии расположен в центральной части диска анода.

Номер патента: 638169

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Григоришин, Дубровенская

МПК: H01J 9/02

Метки: вакуумная, интегральная, схема

1. ВАКУУМНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА по авт. св. N 529687, отличающаяся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, на подложке с катодно-подогревательными элементами, напротив консольных навесов по краям сквозных щелей, выполнены дополнительные пленочные щелевые сетки.2. Схема по п.1, отличающаяся тем, что на подложке с анодносеточными элементами под анодами выполнены дополнительные пленочные сетки.

Номер патента: 1156530

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Краюшкин, Ларичев, Махалов, Подзорова

МПК: H01J 37/00

Метки: жидкости, облучения

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ ЖИДКОСТИ ускоренными электронами, содержащее облучатель с кольцевым выпускным окном и радиационно-химический аппарат с входным патрубком, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности путем увеличения эффективности облучения, радиационно-химический аппарат снабжен сопловой насадкой с кольцевой подачей жидкости, установленной соосно с кольцевым окном с возможностью перемещения относительно него.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сопловая насадка выполнена в виде двух колец, установленных на входном коллекторе и образующих кольцевой зазор, ось которого ортогональна оси впускного окна.

Номер патента: 529687

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Григоришин, Дубровенская, Игнашев, Котова, Кравец, Сурмач

МПК: H01J 9/02

Метки: вакуумная, интегральная, схема

ВАКУУМНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА, содержащая две диэлектрические подложки, на которых выполнены анодно-сеточные и катодноподогревательные узлы активных элементов и пассивные элементы, отличающаяся тем, что, с целью расширения топологических возможностей построения вакуумных интегральных схем и повышения степени их интеграции, по крайней мере, на одной из подложек внутри углублений имеются консольные навесы, на которых, в местах расположения активных элементов, выполнены пленочные щелевые сетки, а аноды активных элементов и пассивные элементы размещены в одной плоскости на дне углублений.

Номер патента: 1522991

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Поликарпова, Шабанов

МПК: H01J 23/087

Метки: магнитной, периодической, системы, фокусирующей

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОЙ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ ФОКУСИРУЮЩЕЙ СИСТЕМЫ по авт. св. N 1333130, отличающийся тем, что, с целью повышения термостабильности магнитной периодической фокусирующей системы и выхода годных, повторяющиеся циклы коррекции чередуют с термоостариванием, причем в качестве значения амплитуд магнитного поля Hai и Haj для расчета коэффициентов di и dj используют значения амплитуд магнитного поля в ячейках после предыдущего термоостаривания.

Номер патента: 602040

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Бузников, Головин, Григоришин, Сурмач

МПК: H01J 21/10

Метки: вакуумная, интегральная, схема

ВАКУУМНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА по авт. св. N 529687, отличающаяся тем, что, с целью улучщения параметров активных элементов, навесы в местах расположения активных элементов соединены перемычками с нанесенным на них проводящим покрытием.

Номер патента: 1297707

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Махалов, Подзорова

МПК: H01J 37/00, H05H 7/00

Метки: жидкости, облучения, ускоренными, электронами

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ ЖИДКОСТИ УСКОРЕННЫМИ ЭЛЕКТРОНАМИ по авт. св. N 1156530, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, радиационно-химический аппарат снабжен одной или несколькими сопловыми насадками для кольцевой подачи газа в зону облучения, расположенными над или по обе стороны от насадки, подающей жидкость, и выполненными с возможностью обдува как фольги выпускного окна, так и струи жидкости.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что радиационно-химический аппарат снабжен отражателем струи жидкости, расположенным снаружи зоны облучения, при этом между стенкой РХА и отражателем образована кольцевая щель, сообщающая полость радиационно-химического аппарата над струей жидкости с остальным...

Номер патента: 1131379

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Воробьев, Григоришин, Котова, Шкунов

МПК: H01J 9/02

Метки: подложки, структур, управляющих, электродных

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ УПРАВЛЯЮЩИХ ЭЛЕКТРОДНЫХ СТРУКТУР, включающий получение углублений и отверстий в них путем анодирования алюминиевой пластины на заданную толщину, фотолитографии и травления через маски металла и оксида и удаление непрореагированного алюминия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества подложки, в анодированном алюминии вначале формируют углубления, затем анодируют алюминий со стороны углубления и в нем формируют отверстие со стороны непрореагировавшего алюминия.

Номер патента: 1757383

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Петров, Царев

МПК: H01J 25/00

Метки: свч-прибор

1. СВЧ-ПРИБОР, содержащий кольцевые катодный узел, входной и выходной волноводные резонаторы с отверстиями для электронов и узкими стенками, параллельными оси прибора, и коллектор, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента усиления и расширения рабочей полосы частот, выходной волноводный резонатор выполнен четырехзазорным и содержит П-образный кольцевой элемент с выступами с отверстиями для пролета электронов, основание которого соединено с кольцевым ребром, закрепленным на внешней узкой стенке резонатора, во внутреннюю полость П-образного элемента введен кольцевой выступ с отверстиями для пролета электронов, соединенный с внутренней узкой стенкой резонатора, причем выступы и кольцевое ребро параллельны широкой стенке...

Номер патента: 1760907

Опубликовано: 30.08.1994

Автор: Мельников

МПК: H01J 17/06

Метки: высокого, газоразрядной, давления, лампы, электрод

ЭЛЕКТРОД ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ЛАМПЫ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ, содержащий металлический стержень и закрепленные на нем, покрытые различными эмиттерами две спирали в виде близко расположенных витков проволоки, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости изготовления электрода, повышения срока службы за счет исключения возможности перемешивания эмиттеров на спиралях, обе спирали выполнены из одного отрезка проволоки и разделены между собой участком шириной, равной или превышающей 0,5 диаметра проволоки, причем отношение диаметров витков в спиралях составляет величину K, выбранную из условия 0,99 > K > 0,2.

Номер патента: 1200762

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Арчаков, Горбачев, Григоряшин, Котова, Сенько, Черняев

МПК: H01J 45/00, H01J 9/14

Метки: пленочного, преобразователя, термоэлектрического

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ, включающий операции формирования мелкопористой поверхности диэлектрика анодированием алюминия и элементов подогревателя путем нанесения сплошных тонкопленочных покрытий, фотолитографическое формирование масок, травление оксида алюминия, травление неокисленного алюминия и удаление маски, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, до травления неокисленного алюминия производят формирование подогревателя на микропористой поверхности диэлектрика с помощью металлофоторезистивной маски, после чего выполняют в диэлектрическом слое отверстия, щели и контуры для разделения подогревателя на элементы.

Номер патента: 1321310

Опубликовано: 30.08.1994

Автор: Саксаганский

МПК: H01J 41/12

Метки: магнитный, насос, электроразрядный

1. МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий систему для создания магнитного поля, корпус и размещенные в нем электродные блоки, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстродействия, улучшения массогабаритных характеристик и повышения ресурса по инертным газам при откачке многокомпонентной газовой смеси, во входном отверстии корпуса по оси насоса установлен вкладыш, выполненный в виде ячеистого набора сорбционно-активных элементов толщиной t (м), обращенных торцами к электродным блокам, причем характерный поперечный размер насоса (м) , его высота h (м) и осевая протяженность вкладыша l (м) связаны выражениямиr

Номер патента: 470226

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Григоришин, Игнашев, Котова, Кравец, Шохина

МПК: H01J 9/02

Метки: вакуумных, микроприборов, структуры, электродной

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ МИКРОПРИБОРОВ, включающий операции электрохимического анодирования, защиты отдельных участков подложки, ее травления и формирования на ней электродов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности геометрии структур, алюминиевую подложку подвергают "мягкому" первичному анодированию, линии контуров и места углублений многоэлектродной структуры защищают фоторезистом, проводят дальнейшее анодирование алюминия на требуемую глубину, затем снимают фоторезист, стравливают первичный слой "мягкого" анодирования, вытравливают на необходимую глубину алюминий в местах будущих углублений и контуров и проводят окончательное анодирование.

Номер патента: 1156516

Опубликовано: 30.08.1994

Автор: Овчинников

МПК: H01J 1/20

Метки: катодно-подогревательный, узел

1. КАТОДНО-ПОДОГРЕВАТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ, содержащий цилиндрический керн, в торце которого укреплена таблетка из эмиттирующего вещества, и подогреватель из углеродистого материала, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы, между керном и таблеткой расположен кольцевой графитовый держатель, подогреватель выполнен из анизотропного пиролитического графита в виде тела вращения, причем ось C графита совпадает с осью вращения тела подогревателя, а токоввод к подогревателю подпружинен в сторону буртика керна относительно его основания.2. Катодно-подогревательный узел по п.1, отличающийся тем, что кольцевой держатель выполнен из анизотропного пиролитического графита, причем ось C графита совпадает с осью кольца.

Номер патента: 529772

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Больбасов, Григоришин, Кухновец, Морозов

МПК: H01J 9/02

Метки: прибора, системы, электровакуумного, электродов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА, включающий операции нанесения защитной пленки, анодирования, травления алюминия, нанесения проводящих покрытий, отличающийся тем, что, с целью получения системы гальванически развязанных электродов с отверстиями и варьирования междуэлектродными расстояниями, защитную пленку наносят одновременно с обеих сторон пластины, анодируют обе стороны пластины на глубину, обеспечивающую электродные расстояния и толщину электрода, и вытравливают оставшийся алюминий в местах отверстий.

Номер патента: 430763

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Больбасов, Григоришин, Игнашев, Котова, Кравец, Шохина

МПК: H01J 9/14, H05K 3/00

Метки: диэлектрических, отверстиями

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ С ОТВЕРСТИЯМИ, преимущественно для электронных приборов, включающий электрохимическое анодирование полированной стороны заготовки, выполненной в виде пластины, например алюминиевой, с предварительной защитой противоположной стороны пластины изоляционным материалом, формирование отверстий и контуров деталей, снятие защитного изоляционного материала, травление слоя алюминия и разделение заготовки на отдельные детали механическим путем, например ультразвуком, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества деталей, анодирование производят на глубину порядка 1 мкм, после чего на места будущих отверстий и контуров анодированной поверхности алюминиевой пластины наносят...

Номер патента: 434861

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Александров, Больбасов, Григоришин, Игнашев, Калугин, Кузьмичев

МПК: H01J 1/88, H01J 21/10

Метки: прибор, электровакуумный

ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ ПРИБОР, содержащий две соединенные между собой диэлектрические подложки, на которые нанесены пленочные электроды, образующие на одной из подложек анодно-сеточные, а на другой катодно-подогревательные блоки, отличающийся тем, что, с целью улучшения условий коммутации электровакуумного прибора, выводы катодов расположены на подложке с анодно-сеточными блоками, а подложка катодно-подогревательного блока короче подложки с анодно-сеточными блоками и выполнена из прозрачной пленки, например, окиси алюминия, толщина которой не превышает ширины пленочного подогревателя.

Номер патента: 1609381

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Дектярев, Компаниец, Пузыревич, Рябчиков, Шипилов

МПК: H01J 37/317

Метки: имплантации, ионов

1. Способ имплантации ионов, включающий вакуумирование объема до давления 10-2 - 10-5 Па, формирование пучка ускоренных ионов, облучение образца и измерение дозы, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения точности измерения дозы внедряемой примеси, одновременно с облучением основного образца производят облучение дополнительного образца последовательностью импульсов тока пучка ускоренных ионов, причем дополнительный образец изготавливают из материала, характеристическое рентгеновское излучение которого отлично от характеристического рентгеновского излучения внедряемой примеси, а измерение дозы осуществляют по характеристическому рентгеновскому излучению примеси в промежутке между...

Номер патента: 688022

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Григоришин, Сурмач, Шохина

МПК: H01J 9/14

Метки: анодной, диэлектрических, металла, окиси, отверстиями

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ С ОТВЕРСТИЯМИ ИЗ АНОДНОЙ ОКИСИ МЕТАЛЛА преимущественно для электродных приборов, включающий операции толстослойного анодирования одной из поверхностей металлической пластины, избирательное вытравливание неокисленного металла, фотолитографическое нанесение рисунка и травление анодной окиси металла, отличающийся тем, что, с целью повышения точности отверстий и устранения разнотолщинности перемычек, после вытравливания неокисленного металла на поверхность пластины, контактирующей в процессе анодирования с электролитом, наносят защитный слой металла, а фотолитографическое нанесение рисунка осуществляют на другой поверхности пластины.

Номер патента: 1565288

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Арбузов, Дектярев, Исаев, Рябчиков

МПК: H01J 37/317

Метки: имплантации, ионной

СПОСОБ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ путем периодического импульсного формирования плазмы с помощью вакуумно-дугового разряда на катоде, экстракции, ускорения ионов из плазмы дугового разряда, облучения мишени, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет формирования совпадающих по глубине профилей распределения примесей, первоначально измеряют зависимость среднего заряда ионов пучка от тока дугового разряда, затем ток дугового разряда на катоде устанавливают в зависимости от соотношения массовых и порядковых номеров ионов пучка и атомов мишени так, что средние проективные пробеги ионов в мишени равны.

Номер патента: 1678169

Опубликовано: 15.09.1994

Автор: Головкин

МПК: H01J 23/48

Метки: коаксиальный, переход, свч-приборов, электронных

КОАКСИАЛЬНЫЙ ПЕРЕХОД ДЛЯ ЭЛЕКТРОННЫХ СВЧ-ПРИБОРОВ, содержащий металлический стержень, соединяющий спиральную линию замедления с коаксиальным вводом и выводом СВЧ энергии, отличающийся тем, что, с целью уменьшения коэффициента стоячей волны, вдоль оси металлического стержня закреплен емкостный элемент, выполненный в виде металлической пластины.

Номер патента: 580767

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Григоришин, Котова, Кухновец

МПК: H01J 9/02

Метки: диэлектрических, отверстиями, углублениях

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ С ОТВЕРСТИЯМИ В УГЛУБЛЕНИЯХ, содержащий операции предварительного покрытия алюминиевой пластины мягким слоем анодной окиси алюминия, нанесения в местах будущих углублений слоя фоторезиста, анодирования в слаборастворяющем анодную окись алюминия электролите, удаления фоторезиста, повторного анодирования и вытравливания оставшегося алюминия, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности изготовления отверстий и их расположения, после операции покрытия пластины мягким слоем анодной окиси алюминия всю пластину, за исключением мест будущих отверстий, покрывают фоторезистом, в незащищенных местах получают твердый слой окиси алюминия анодированием в электролите, не растворяющем анодную окись...

Номер патента: 646778

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Григоришин, Кухновец

МПК: H01J 1/30

Метки: катод, пленочный, холодный

ПЛЕНОЧНЫЙ ХОЛОДНЫЙ КАТОД, включающий рабочую область, состоящую из последовательно размещенных слоев металла, диэлектрика и верхнего прозрачного для электронов тонкого металлического слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и надежности катода, в диэлектрическом слое рабочей части катода выполнено множество углублений, а верхний металлический слой имеет утолщение в местах между углублениями, причем толщина диэлектрического слоя в углублениях выбрана меньшей толщины диэлектрического слоя между ними по крайней мере в три раза.

Номер патента: 716427

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Григоришин, Котова, Матусевич, Сурмач, Шохина

МПК: H01J 9/14

Метки: интегральных, микросхем

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ, включающий операции получения диэлектрической пластины-заготовки путем толстослойного анодирования, нанесения на обе стороны пластины сплошных тонкопленочных покрытий, формирования элементов схем травлением диэлектрической пластины и покрытий, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления, в местах будущих элементов микросхем на обе стороны диэлектрической пластины наносят первый защитный слой фоторезиста, затем обе стороны пластины за исключением мест будущих отверстий в подложках и контуров отдельных схем на одной из сторон пластины покрывают вторым защитным слоем фоторезиста, причем указанные фоторезисты выбирают из условия их избирательного травления в разных электролитах,...

Номер патента: 1531745

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Арзубов, Насыров, Пузыревич, Рябчиков

МПК: H01J 27/22, H01J 3/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий коаксиально расположенные анод и катод, составленный из различных рабочих материалов, поджигающий электрод, изолятор, установленный между катодом и поджигающим электродом, и ускоряющий электрод, при этом катод и анод подключены к источнику электропитания основного разряда, а катод и поджигающий электрод - к источнику вспомогательного разряда, отличающийся тем, что, с целью упрощения устройства, поджигающий электрод установлен в центре катода, выполненного из плотно прилегающих концентрических колец из рабочих материалов, причем внешнее кольцо катода подключено к источнику питания основного разряда, выполненному с регулируемой длительностью импульса.