H01J 37/00 — Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки

Номер патента: 60936

Опубликовано: 01.01.1942

Автор: Кроль

МПК: H01J 37/00, H05B 7/00

Метки: вакуумная, печь

...из проволоки, один или несколько электродов о для концентрации электронного пучка, сосуд 4, соединенный с откачивагощей установкой, и нагреваемое тело 5,Предмет изобретения Руя, Я г дактор Г. В. Кобелев 1 ехред А, А. Кудрявнцкая 1(орректор С. Ю, Цверина Объем О,8 изд. л. Цена 5 кои. й и открытий70;(0сди. к ие. 301 - 62 г.чан.13,2ЦБТИ прн 1(ом Формат бумТираж 2 тете ио долм Совете Мини Центр, М. Чер изобретентров СССасский пер Москв Типография, пр. Сапунова, 2,1. Вакуумная печь для нагрева, главным образом, диэлектриков оомбардировкой электронами, о т л и с а о щ а я с я тем, что анод имеет отверстие, через которое проходят электроны, направляемые на разогреваемое тело посредством электростатических или электромагнитных устройств,2....

Номер патента: 72718

Опубликовано: 01.01.1948

Автор: Бабат

МПК: H01J 37/00, H05B 7/00

Метки: безэлектродный, прибор, разрядный

...пластинами 1 - 1, 6 - 6. Эти пластины находятся в ячейках экрана 3, охватывающего все устройство (изоляторы, крепящие проводники и пластины,на чертеже не показаны),Индуктивность проводников 1 - Я и емкость п 1 1 - бпо отношению к экрану образуют три колебательЕсли возбудить эти три контура от трехфазногтора, то внутри трубы А возникнет вращающееся мрое вызовет внутри трубки разряд в форме плос 1витка.Этот разряд создаст интенсивную нонизацню как по оси трубы,так и вблизи ее стенок,Требуемый для химескй реакции режих 1 устанавливается соотношением температуры стенок труоы, давлением и скоростью продуваемого газа, а также подводимой мощностью..% 72718Генераторные лампы могут бьть помещены внутри экрана 3, Таким образом устрантпотся все...

Номер патента: 121885

Опубликовано: 01.01.1959

Авторы: Гольцева, Юткин

МПК: H01J 37/00

Метки: электрогидравлическое

...изображено предлагаемое устройство.В сосуд 1, наполненный проводящей жидкостью 2, помещена система электродов, состоящая из положительного стержнеобразного электрода 3 и плоского отрицательного электрода 4.К электроду 3 присоединена металлическая пластинка 5, подвижная в направлении., перпендикулярном к плоскости электрода 4, и пово. ротная вокруг оси 6, параллельной этой плоскости.Такое выполнение металлической пластинки, присоединенной к положительному электроду 3, обеспечивает возможность регулирования длины искрового разряда в жидкости.Приближение пластинки 5 к отрицательному электроду 4 (из положения А в положение А) влечет за собой увеличение потерь и, как следствие, уменьшение длины искрового разряда в жидкости. Поворот...

Номер патента: 208837

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Колтыпин, Настюха

МПК: H01J 37/00

Метки: вакуумный, вентиль, электрический

...1 происходит быстрая рекомбинация ионов, так как длина свободного пробега электронов значительно больше длины этого промежутка, и разряд не полу чается. ет изобретения ре 1. Вакуумныйдержащий дваоткачиваемых ржутка, один изподжигающийцелью получениимпульса тока со электрическии вентиль, сообщающихся между собой азрядных вакуумных промекоторых основной, а второй -отличающийся тем, что, с я односторонней проводимости в основной камере и создания В вакуумн анод 2 в вид .сокое напря дится анод служ ащии дл тся чер Известны вакуумные электрические вентили, содержащие два сообщающихся между собой откачиваемых разрядных вакуумных промежутка, один из которых основной, а второй - поджигающий.Предлагаемое устройство отличается от известных...

Номер патента: 301877

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Ланкин, Мищенко, Ордена, Тихоновский

МПК: F27B 14/06, F27D 19/00, H01J 37/00, H05B 7/00 ...

...катода электроннолучевой пушки 1. С выхода блока 7 сигнал подается на автоматический регулятор 11, а с его выхода - на вход блока 9. Цепь 12 управления минимального токового реле подключена к датчику 5, а н.з. контакт коммутирующего элемента 13 реле включен в цепь между вторым выходом блока задания и блоком управления.В устройстве (см. фиг. 2) н. о. контакт коммутирующего элемента 13 включен между блоками 9 и 7, а второй вход блока 9 подсоединен непосредственно ко второму выходу блока 8,В устройстве (см. фиг. 3) н.о. контакт коммутирующего элемента 13 включен между блоками 9 и 7, а н. з. контакт - между блоками 9 и 8.Устройство работает следующим образом.Множительное устройство преобразует входные сигналы, пропорциональные току луча и...

Номер патента: 313510

Опубликовано: 01.01.1971

МПК: F27B 14/06, F27D 19/00, H01J 37/00, H05B 7/00 ...

Метки: 313510

...силами; силы пространственного заряда при этом оказываются значительно меньшими сил внешнего поля и це в состоянии существенно повлиять а фокусировку. Это обеспечивает устойчивость электронного потока. Расположение анода 3 вблизи эмиттера 2 создает мощное электрическое поле, рассасывающее пространственный заряд и обеспечивающее высокие эмиссионные токи, в то время как попадание электронного потока на анод предотвращается центробежной фокусировкой,Огибая анод 3, электроны отклоняются на 180 и переходят на внутреннюю область пушки. Здесь они вводятся по касательной к силовым линиям в ту часть магнитного потока, которая пересекает эмиттер 2. Это является условием отсутствия пульсаций при дальнейшем движении пучка в магнитном поле....

Номер патента: 341596

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Иванов, Проектно

МПК: B22D 29/00, H01J 37/00

Метки: коаксиальный, электрод

...внутр формовочной смесо вижные центральн ды, отличающийся ния ввода электро отливки, оконечно снабжена изогнуть ми усами, разведе расстояние разряд сведенными к оси э Известны коаксиальные электроды, используемые в электрогидравлических установках для очистки литья от формовочных смесей.С целью облегчения ввода электрода в отверстие очищаемой отливки оконечность наружного токоподвода предлагаемого электрода,снабже 1 на изогнутыми упрупиии металличеОкими усами, разведенными в точке перегиба на расстояние разрядного промежутка, а затем сведенными,к оси электрода,На чертеже .схематично представлен описываемый электрод.Электрод состоит из наружното трубчатого токоподвода 1, снабженного упругими металлическими усами 2, изоляции наружного...

Номер патента: 366513

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бедарев, Кекин, Сопиков

МПК: H01J 37/00

Метки: генератор, ионов, легких

...Здесь воздух ионизирует 10 15 Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для излучения ионов в целях профилактики заболеваний, а также для нейтрализации электрически заряженных аэрозольных частиц, возникающих в результате распыления, растворов красителей в лакокрасочной промышленности,Известны генераторы легких ионов, рабочая камера которых состоит из металлических передней и задней крышек, навинченных на люцитовую трубу.В раоочей камере такого генератора по центру расположе коронирующий электрод- игла, зафиксированный иглодержателем, Воздух ионизируют за счет коронирования острия с кромкой отверстия некоронирующего электрода. Сжатый воздух обтекает скобу установки коронирующего электрода и его острие и через...

Номер патента: 416904

Опубликовано: 25.02.1974

МПК: H01J 37/00, H05B 7/00

Метки: 416904

...1, в которой размещены аподный 2 и катодпый 25 3 электроды. Б катодном электроде 3 выполнено углубление а, в которое помещецо цагрсваемое изделие 4. Углубление а имеет раз,еры, большие соответствующих размеров изделил 4. При подаче напряжения на электро- ЗО ды в камере 1 происходит газовый разряд, распространяющийся в углубление а. Разряд занимает большую площадь, а эффект разряда в объеме. Ограниченном внутрешцпми стенками углубления а и поверхностьо изделия 1, зплПтельно повышает тсплОВОЙ коэффициснт по,1 езпого действия. Разр 51 д В ОснОВ 11 ом сфокусирован вокруг изделия. Разогрев изделия происходит значительно быстрее, Обеспечпва 1 1 ем саыы значительное сокращение времени пзготовлецня паяпого узла. Внешняя степка 5 катодного...

Номер патента: 426333

Опубликовано: 30.04.1974

Авторы: Будзинский, Зельв, Изобретени, Ршинов, Фарбер, Хин, Чуденков

МПК: G01J 5/00, H01J 37/00, H05B 7/00 ...

Метки: 426333

...време кого напряжения темпер 0 шается на незначителы ет изооретени Изобретение относится к электроможет быть использовано как в ительской, так и в технологическойизмерения температур при электрвом нагреве материалов,Известны способы бесконтактного измерения температуры, основанные на измерении лучистого потока от объекта.Однако при электронно-лучевом нагреве над поверхностью нагреваемого объекта в результате электронной бомбардировки паров и остаточных газов образуется плазма, которая обладает избирательным свечением и поглощением лучистого потока, Вследствие этого результаты измерения температуры объекта нагрева имеют значительную погрешность.Для устранения этой погрешности перед измерением отключают высокое напряжение от электронной...

Номер патента: 453756

Опубликовано: 15.12.1974

Автор: Головин

МПК: H01J 37/00

Метки: коэффициентазеебека

...между введенными в него участками образца 8 при хорошей теплоизоляции их от окружающего пространства. Вторые отклоняющие пластины 11 предназначены для качания электронного луча в вертикальной плоскости при точных измерениях. Через отверстие в экране 12 луч попадает в электронный умножитель 13, на выходе которого включен токовый прибор 14. Напряжение на пластины 11 подается от генератора 15 симметричного переменного напряжения. При включенном генераторе 15 напряжение на выходе умножителя 13 становится переменным, усиливается узкополосным усилителем 16 и в синхронном детекторе 17 сравнивается с опорным напряжением, поступающим от генератора 15. Регистрирующий прибор 18 включен на выходе синхронного детектора и является индикатором...

Номер патента: 485512

Опубликовано: 25.09.1975

Авторы: Брауде, Гончаров, Принцев, Щелкунов

МПК: H01J 37/00

Метки: импульсных, оптических, разделитель, сигналов

...поток электронов проходит черезсистему круговой развертки и поступаетна маску, имеющую 1 тт отверстий, ра.вномерно расположенных по окружности.За отверстиями расположены электронные умножители, каждый из которых регистрирует сигнал одного из Ш стволов.Для работы известного приемнпго устройства необходима система внешней синхронизации генератора, питающего системуразвертки, с приходящим импульсным сигналом,оженном разделителе оптичессных сигналов одно из отверсвыполнено с радиальной переделящей его на равные части,В вакуумном баллоне за фотокатодоми системой круговой развертки располо жена маска, за Щ отверстиями которой помещено по одному ЭУ. Одно отвер стие разделено радиальной перегородкой на две равные части, за...

Номер патента: 619985

Опубликовано: 15.08.1978

Авторы: Алехнович, Бондаренко, Вейник, Поболь, Прилепин

МПК: H01J 37/00

Метки: коэффициента, отражения, электронов, энергии

...б мишень 4 нагревают до температуры Т , определяя при этом энергию Е переданную мишейи нагревателем.Так как мишень 4 в обоих случаях была нагрета до одной температуры, значит, сообщаемые ей энергии равны1(Рф +ЬР) =Е 1 (1),где 1 первичный ток,На третьем этапе, отключив нагреватель 6, облучают мишень 4 потоком электронов, ускоренных напряжением р", равным сумме начального анодного напряжения р и напряжения Ь, ранее подаваемого на мишень 4;у + Др ф)Падающие на мишень 4 электроны имеют ту же энергию, что и на первом этапе, ио отраженные электроны не возвращаются на мишень 4, так как потенциал мишени равен нулю, поэтому она нагревается до менее высокой температуры Т, которую измеряют термопарой 5. Послс этого бл и ии( минн ин 4...

Номер патента: 550943

Опубликовано: 25.08.1978

Авторы: Аксенов, Белоус, Падалка, Романов

МПК: H01J 37/00

Метки: вакуумной, дуги, зажигания

...уровня, превышающего рабочий ток дуги,Инициирование катодного пятна плазменным сгустком происходит с тем большейвероятностью, чем выше напряженностьэлектрического поля в разрядном промежутке. То,. напряженности, которая существует в испарителях при больших межэлекзродных расстояниях и низких напряженияхисточника питания (десятки вольт), оказывается педостаточнодля устойчивогозажигания пятна ичазменным сгусткомобычным способом. Местное усиление поля беэ изменения условий в основномразрядном промежутке можно получить,например, с помощью специального алектрода, находящегося под потенциалом анода, но расположенного на гораздо болееблизком расстоянии, чем анод (1-2 мм).Размешать атот электрод целесообразно за пределами рабочей поверхности...

Номер патента: 776389

Опубликовано: 07.09.1981

Автор: Пучкарева

МПК: H01J 37/00

Метки: диэлектриков, ионными, исследования, пучками

...Схема измеренийвключает измеритель б тока и потенциометр 7. Экран 2 перекрывает пространство вблизи мишени, а для входапучка и выхода излучения снабженсоответствующими отверстиями. Он изолирован от другихэлементов устрой"ства и заземлен через потеициометр 7,Металлический держатель 4 образцазаземлен через измеритель 6 тока.Устройство работает следующим образом.Ускоренный до некоторой эйЕ 4 гиипучок первичных ионов из источника 1через отверстие в экране 2 йоотупа-ет на образец 5,При взаимодействии первичноГопучка ионов с поверхностью образца" последний распыляется в вйденейтральных атомов, положительных и:отрицательных ионов. Часть первич"ныхиойов, претерпевая упругое вза- "имодействие с атомами, рассеивается.Как-вторичные, так и...

Номер патента: 940256

Опубликовано: 30.06.1982

Автор: Хан

МПК: H01J 37/00

Метки: лучевой, установки, электронно, юстировки

...отклоняющей системы компановки,ч 55 в котором устройствекроссоверсистемы формирования пучка через первый конденсор проектируется в плоскость поворота двухуровневой отклоняющей системы для изменения формата и оттуда через второй конденсор и промежуточную линзу проектируется в плоскость апертурной диафрагмы объектива, а также систему центрирования луча для ориентирования его как на первую угловую диафрагму, так и на апертурную диафрагму или диафрагму гашения и ряд стигматоров, воздействующих на пучок.Первый признак изобретения отно" сится к количественному ограничению параметров юстировки при текущей эксплуатации устройства, Согласно изобретению, выбор размеров системы конденсоров осуществляется таким образом, что всегда выполняется...

Номер патента: 1187224

Опубликовано: 23.10.1985

Авторы: Носов, Смирнов

МПК: G01N 27/68, H01J 37/00

Метки: диэлектрических, качества, покрытий, проводников

...3, выполненный в виде изолированного проводника с рабочей площадкой 4 диаметром 1-3 мм,вспомогательный электрод 5, натекатель 6, систему 7 вакуумной откачки, 20измеритель 8 давления в камере,источник 9 напряжения, один полюскоторого подключен к дополнительномуэлектроду 3, а второй через переключатель 10 может быть подключен 25либо к вспомогательному электроду 5,либо к проводнику контролируемогоизделия 11. Установка содержит такжекоординатно-чувствительный фотоприемник 12 и счетчик 13 дефектов покры. З 0тия.Способ контроля диэлектрическихпокрытий осуществляется следующимобразом. Контролируемое изделие 11 устанавливают в камеру 1 и измеряют максимальное Йм и минимальное Ймин расстояния от площадки 4 дополнйтельного электрода 3 до...

Номер патента: 1205206

Опубликовано: 15.01.1986

Авторы: Голубков, Меркулова

МПК: H01J 37/00

Метки: геометрических, параметров, пучка, размерами, регулируемыми, сечения, электронного

...можно поставить в со(1 гветствие двойные индексы при обозначениях скгналон: первая цифра индекса указывает ца уровень размерл вторая - на уровень размера ), причем цифройобозначается нкж 11 й, я цифрой 2 - верхний уровень варьирования.Учитывая ( ) и ( 2), получим:(с)- с с) ВТаким образом, уголс 1(:ределяется отноп 1 ением приращений скгцалов от первого и второго измерктельцых элементов при варьировании размерас( :, Важно отметить, что длццое отношение не зависит от лбсолюгногозначения плотности тока ) , благодаря чему исключается в;1 ияке нестабильности этого параметра и ошкбок его измерения ца точность определе-. 1)з соотношенийможно устаовить что о сн)1- к (к: а, + .1-сл к Р,В7 д(,. - ,", )3 5 1 (6) (н) где верхний и 1 к 1 жций...

Номер патента: 1269215

Опубликовано: 07.11.1986

Автор: Голубков

МПК: H01J 37/00

Метки: интенсивности, исследованиях, рассеяния, электронов, электронографических

...электронограммы требуется накопить не менее .Ч= 10 электронов. Время измерения в некоторой точке .= х 1/Е, гле Г - средняя цзстота регистрации электронов в этой тоцке. Частота Е.прямо пропорциональна интенсивности рассеяния электронов, току электронного луча и плотности электронов в области рассеяния. Экспериментальные условия выгодно выбирать таким образом, чтобы работать при возможно болыпих Е с тем, цтобы уменьшить время измерений 1. Однако максимальное значен ие Е. ограничивается прелельной частотой счетчика импульсов 1 и длительностью импульсов т. Необходимым условием нормальной работы является т( Г, при этом относительная ошибка при регистрации электронов, следу кпих с средней частотой Е, составляет 6==1 /1. Максимальная...

Номер патента: 1452471

Опубликовано: 15.01.1989

Автор: Зигфрид

МПК: B41C 1/04, H01J 37/00

Метки: гравирования, лучом, печатной, поверхности, различных, размеров, растровых, формы, электронным, ячеек

...из-за этого ошибка в положении 45 фокуса на поверхности печатной формы 6 может компенсироваться путем регулировки динамической линзы 8.П р и м е р . Если линза 1 уменьшает н три раза и линза 7 не возбуж 50 дается, то вторая короткофокусная линза 2 может быть отрегулирована так, что она образует масштаб изображения, равный 1, Если линза 3 затем образует масштаб изображения, равный 4, то общее уменьшение равно 12. На фиг, 1 получающийся ход луча изображен сплошными линиями. Если возбудить теперь размещенную в линзе 1 линзу 7, то первое промежуточноеиэображение становится ближе к комбинации линз 1 и 7, Одновременно стаковится больше расстояние второйкороткофокусной линзы 2 от объекта.Зто означает, что короткофокуснаялинза 2 имеет теперь...

Номер патента: 1527548

Опубликовано: 07.12.1989

Авторы: Бирюкова, Рыбалко

МПК: G01N 23/225, H01J 37/00

Метки: изображения, микроскопе, растровом, тестового, формирования, электронном

...соответстнуетвпадинам устройства, На Фиг, 3 в увеличенном виде показана одна из впадинс силовыми линияьо 3 электрического поля, траекторией 4 первичного зонда итраекторияье 5 вторичных электронов.Кривые 6, 7, 8 и 9 на фиг, 4 полученыэкспериментально для различных соотношений соответственно Ь =0,5; 1,О; 1,5;3,0,Устройство работает следующим образом,При сканировании зубчатой структуры поверхности устройства вторичноэмиссионный сигнал не изменяется, пока зонд облучает хорошо отражающийматериал ныступа и пока расстояниеот точки облучения до границы выступа не станет меньше радиуса областивыхода регистрируемых электронов,Далее, поскольку с боковой поверхности выступа также начинают выходитьэлектроны, то амплитуда видеосигналаначинает...

Номер патента: 1594625

Опубликовано: 23.09.1990

Авторы: Зелев, Кононенко

МПК: H01J 37/00

Метки: вакуумный, шлюз

...3),при этом лампочка 26 сигнализирует о 15 степени откачки шлюзового объема. Рычаг 27 суплотнительным кольцом 28 служит для напуска воздуха в шлюзовой объем. Розетка 29 предназначена для подачи питания к электромагнитному вентилю 25. В колонне 7 электронного микроскопа вакуумный шлюз уплотняется с помощью уплотнения 30.Вакуумный шлюз работает следующим образом. 25Перед работой с дифракционными приставками вакуумный шлюз в закрытом положении устанавливаетсяв колонну 7 электронного микроскопа уплотняется уплотнением 3, штуцер 21 поц соединяется к электромагнитному вентилю 25, к которому подключается ро.зетка 29, а затем в колоннеэлектронного микроскопа создается высокий вакуум.Дифракциониая приставка 3 с исследуемым объектом 4 вводится в...

Номер патента: 1614049

Опубликовано: 15.12.1990

Автор: Титов

МПК: H01J 37/00

Метки: имплантационной, установки, электромагнит

...ампервитков, при этом уменьшается в 2,5 раза энергопотребление магнита в результате уменьшения рабочей зоны зазора и рассеянного поля. 3 ил. центральная часть которой помещена в межполюсный зазор магнита 4 (пунктиром 5 в плане показаны размеры полюсных наконечников электромагнита-прототипа), По боковым стенкам камеры 3 в зоне магнита 4 расположены вертикальные вставки б из сверхпроводящей керамики, охлаждаемой жидким азотом. Магнитные силовые линии 7 в рабочем пространстве параллельны и вертикальны. Это позволяет использовать рабочий межполюсный зазор на всю его ширину, определяемую расстоянием между вставками. Масс-сепаратор расположен в зоне магнита 4. Из источника 1 выходит ионный пучок 8.Чтобы уменьшить потери на рассеянное...

Номер патента: 1704191

Опубликовано: 07.01.1992

Авторы: Горелов, Тарабукин

МПК: H01J 37/00

Метки: микроскопа, сканирования, скоростью, туннельного

...иэ входов которого соединен с входом, а другой - с выходом ал 1 плитудного ограничителя 5, при этом выходом устройства является выходкомпаратора (фиг.2),Это устройство работает следующим образом.Во время сканирования участков профиля строки с крутизной а(т)г/х, согласно выражению (1), сигнал х(с) на выходе ограничителя 5 меньше сигнала х (т) на его входе. и компаратор 8 находится в состоя 1704191нии 9 (1) = 1. На участках профиля с крутизной а (т)г/х сигналы на входах компаратора равны, хф(1) = х(с), и он находится в состоянии 9 (1) = О, Таким образом, изменение сигнала 9 (1) происходит в моменты, когда крутизна профиля а(1)-.г/х, Можно сказать, что среднее значение частоты 1 переключений компаратора 8 определяется статистическими...

Номер патента: 1156530

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Краюшкин, Ларичев, Махалов, Подзорова

МПК: H01J 37/00

Метки: жидкости, облучения

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ ЖИДКОСТИ ускоренными электронами, содержащее облучатель с кольцевым выпускным окном и радиационно-химический аппарат с входным патрубком, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности путем увеличения эффективности облучения, радиационно-химический аппарат снабжен сопловой насадкой с кольцевой подачей жидкости, установленной соосно с кольцевым окном с возможностью перемещения относительно него.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сопловая насадка выполнена в виде двух колец, установленных на входном коллекторе и образующих кольцевой зазор, ось которого ортогональна оси впускного окна.

Номер патента: 1297707

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Махалов, Подзорова

МПК: H01J 37/00, H05H 7/00

Метки: жидкости, облучения, ускоренными, электронами

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ ЖИДКОСТИ УСКОРЕННЫМИ ЭЛЕКТРОНАМИ по авт. св. N 1156530, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, радиационно-химический аппарат снабжен одной или несколькими сопловыми насадками для кольцевой подачи газа в зону облучения, расположенными над или по обе стороны от насадки, подающей жидкость, и выполненными с возможностью обдува как фольги выпускного окна, так и струи жидкости.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что радиационно-химический аппарат снабжен отражателем струи жидкости, расположенным снаружи зоны облучения, при этом между стенкой РХА и отражателем образована кольцевая щель, сообщающая полость радиационно-химического аппарата над струей жидкости с остальным...

Номер патента: 1441991

Опубликовано: 20.01.1995

Автор: Гайсин

МПК: H01J 37/00

Метки: изделия, поверхности

СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ, заключающийся в зажигании разряда между обрабатываемым изделием и жидким электролитом, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности очистки и обеспечения очистки поверхности полупроводников, на обрабатываемое изделие подают положительный потенциал, устанавливают зазор l между электродами 1,0-1,5 мм и поддерживают разрядный ток 0,15 I A при разрядном напряжении 500 U 1070 B соответственно.