Вакуумная интегральная схема
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 529687
Авторы: Григоришин, Дубровенская, Игнашев, Котова, Кравец, Сурмач
Формула
ВАКУУМНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА, содержащая две диэлектрические подложки, на которых выполнены анодно-сеточные и катодноподогревательные узлы активных элементов и пассивные элементы, отличающаяся тем, что, с целью расширения топологических возможностей построения вакуумных интегральных схем и повышения степени их интеграции, по крайней мере, на одной из подложек внутри углублений имеются консольные навесы, на которых, в местах расположения активных элементов, выполнены пленочные щелевые сетки, а аноды активных элементов и пассивные элементы размещены в одной плоскости на дне углублений.
Описание
Известны вакуумные интегральные схемы, выполненные на одной или нескольких диэлектрических подложках, где активными элементами являются электровакуумные приборы, а в качестве пассивных элементов используются тонкопленочные проводящие покрытия или активные элементы, например двунаправленный вакуумный диод в качестве резистора.
Известна также вакуумная интегральная схема, содержащая две диэлектрические подложки, на которых размещены анодносеточные и катодноподогревательные узлы активных элементов и пассивные элементы.
Так как пассивные элементы схемы размещаются на поверхности подложки, то эта часть подложки должна быть открытой или на накладываемой на эту часть поверхности подложке с катодно-подогревательными узлами не должно быть токопроводящих покрытий из-за возможных замыканий между токопроводящими покрытиями, размещенными на обращенных одна к другой поверхностях подложек. Это ограничивает топологические возможности построения вакуумных интегральных схем и снижает степень их интеграции.
Целью изобретения является расширение топологических возможностей построения вакуумных интегральных схем и повышение степени их интеграции.
Для этого в предлагаемой схеме, по крайней мере, на одной из подложек внутри углублений имеются консольные навесы, на которых, в местах расположения активных элементов, выполнены пленочные щелевые сетки, а аноды активных элементов и пассивные элементы размещены в одной плоскости на дне углублений.
На фиг. 1 изображена вакуумная интегральная схема (вариант использования - двухкаскадный усилитель) с частичным вырезом в подложке, соединяющей катодно-подогревательные узлы; на фиг, 2 - сечение А-А на фиг. 1 (увеличено).
Вакуумная интегральная схема содержит две диэлектрические подложки 1 и 2. На подложке 1 размещены термокатоды 3 с пленочным керном и активным покрытием, пленочные подогреватели 4, резистор 5 и проводящие пленочные дорожки 6. На подложке 2 выполнены консольные навесы 7, на которых размещены сетки 8, в углублениях размещены аноды 9, резисторы 10, конденсатор 11, и контактные площадки 12. Подложки 1 и 2 соединяют шпильками 13 через сквозные отверстия в подложках, например методом пайки. В подложке 1 выполнены сквозные щели 14 для уменьшения теплоотвода от термокатода.
Коммутация сеток с пассивными элементами осуществляется либо через контактные площадки внешними соединениями, либо через пленочные проводящие покрытия, нанесенные на боковые стенки углублений без консольных навесов.
При наложении подложек друг на друга катодно-подогревательные и анодно-сеточные узлы образуют объемные триодные ячейки (схема на фиг. 1, 2 содержит два микротриода). Пассивные элементы находятся в углублениях в одной плоскости с анодом. Вся схема вакуумируется в общем корпусе.
Такие вакуумные интегральные схемы позволяют повысить степень интеграции в несколько раз и расширить топологические возможности построения схем благодаря размещению элементов схемы в углублениях, по крайней мере, одной из подложек; повысить эффективность их производства за счет исключения применения прецизионных масок и их точного совмещения, так как функцию защитных масок при формировании элементов схемы выполняют консольные навесы; увеличить надежность работы схемы благодаря повышенной резистивной развязки путем удлинения пути токов утечек между элементами схемы; улучшить частотные характеристики активных элементов уменьшением проходной емкости активных элементов, упростить коммутацию элементов схемы благодаря размещению анодов и пассивных элементов в одной плоскости на дне углублений.
Рисунки
Заявка
2070694/25, 29.10.1974
Институт электроники АН БССР
Григоришин И. Л, Игнашев Е. П, Дубровенская И. Е, Котова И. Ф, Кравец Г. М, Сурмач О. М
МПК / Метки
МПК: H01J 9/02
Метки: вакуумная, интегральная, схема
Опубликовано: 15.08.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-529687-vakuumnaya-integralnaya-skhema.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная интегральная схема</a>
Входной элемент планарно-эпитаксиальной интегральной схемы
Номер патента: 1759197
Опубликовано: 10.09.1995
Авторы: Желтышев, Коннов, Кутырева, Лупал
МПК: H01L 29/73
Метки: входной, интегральной, планарно-эпитаксиальной, схемы, элемент
ВХОДНОЙ ЭЛЕМЕНТ ПЛАНАРНО-ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ СХЕМЫ, содержащий изолированную область с активным элементом, две изолирующие области первого типа проводимости, между которыми расположена третья изолирующая область второго типа проводимости, внутрисхемные соединения и общая шина, отличающийся тем, что, с целью снижения токов утечки, в третьей изолирующей области сформирована дополнительная область второго типа проводимости с концентрацией, превышающей концентрацию третьей изолирующей области, при этом первая и вторая изолирующие области соединены с дополнительной областью и общей шиной.
Устройство для монтажа схем из пневматических элементов
Номер патента: 608015
Опубликовано: 25.05.1978
Авторы: Бальберт, Чепелянский
МПК: F15C 5/00
Метки: монтажа, пневматических, схем, элементов
...5-10.с торцев платы 2 установлены крышки 24сс стяаными винтами 25. На монтажной плате закреплены пневматические элементы 26,из которых собираются схемы.. Предположим, что необходимо, чтобыканалы 3 не сообщались ни между собой,ни с атмосферой, Йля этэго в канал 5платы 2 помещают пробку 11, на участках 1016 которой в местах пересечения каналэв4 с каналом 5 выполнены проточки 20.Если необходимо соединить между собэйканалы 3, то в канал 6 платы 2 устанавливают пробку 12 с проточкой 21 на учвстке 17.Если требуется верхний канал 3 сделатьпроводящим сигнал, а нижний канал 3 заглушить, то в канал 7 плвты 2 уствнавдваютпробку 13, на участке 18 которой против 2 Оверхнего канала 4 выполнена проточка 22,Для того, чтобы нижний канал 3 сообщить с...
Устройство для решения задачи оптимального размещения элементов схемы на плоскости
Номер патента: 1360430
Опубликовано: 27.06.1996
Автор: Глушан
МПК: G06F 17/17
Метки: задачи, оптимального, плоскости, размещения, решения, схемы, элементов
Устройство для решения задачи оптимального размещения элементов схемы на плоскости, содержащее генератор тактовых импульсов, блок памяти топологии графа, блок памяти, элемент И, группу элементов И, группу элементов ИЛИ, группу регистров, элементы задержки, буферный регистр, накапливающий сумматор, два распределителя импульсов, блок формирования перестановок, триггер, вычитатель, схему сравнения, элемент запрета и коммутатор, причем информационный вход устройства соединен с информационным входом блока памяти топологии графа, выход генератора тактовых импульсов соединен с информационным входом первого распределителя импульсов и первым входом элемента запрета, выход которого соединен с синхронизирующим входом блока формирования перестановок,...
Устройство для решения задачи размещения элементов схемы на плоскости
Номер патента: 1487703
Опубликовано: 20.05.1996
Авторы: Глушан, Калмычек, Курейчик, Рябец
МПК: G06F 17/00
Метки: задачи, плоскости, размещения, решения, схемы, элементов
Устройство для решения задачи размещения элементов схемы на плоскости, содержащее генератор тактовых импульсов, блок памяти топологии графа, блок памяти, элементы И, группу элементов И, группу элементов ИЛИ, блок регистров, элементы задержки, первый буферный регистр, сумматор, два распределителя импульсов, блок формирования перестановок, первый триггер, вычитатель, схему сравнения, элемент ЗАПРЕТ, первый коммутатор, шифратор, дешифратор и блок умножения, входы множимого которого соединены с выходами вычитателя, а вход множителя с выходом дешифратора, вход которого соединен с выходом шифратора, информационный вход устройства соединен с информационным входом блока памяти топологии графа, выход генератора тактовых импульсов соединен с...
Устройство для монтажа схем из пневматических элементов
Номер патента: 173044
Опубликовано: 01.01.1965
МПК: F15C 5/00, G06D 1/00, G06G 5/00
Метки: монтажа, пневматических, схем, элементов
...осуществлении некоторых функций,монтажа схем из содержащие осмонтажные ианенены в виде пла зготовляемые дл а вьшоально Такие устроиств л т с каналами, специ Я каждой схемы,Предлагаемое устройство для монтажа схем из,пневматических элементов отличается от известных тем, что в основной монтажной панели в различных плоскостях расположены перекрещивающиеся каналы с перегородками. Это позволяет осуществлять оперативный набор схем в лабораторных условиях и уменьшает количество соединительных шлангов без изготовления специальных монтажных плат.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез,Описываемое устройство вьполнено в виде основной монтакной панели 1, уплотняющей панели 2,...
Предыдущий патент: Способ определения кручения объекта
Следующий патент: Формирователь импульсов
Случайный патент: Способ диагностики скрытых вестибулярных растройств