Григоряшин
Способ изготовления пленочного термоэлектрического преобразователя
Номер патента: 1200762
Опубликовано: 30.08.1994
Авторы: Арчаков, Горбачев, Григоряшин, Котова, Сенько, Черняев
МПК: H01J 45/00, H01J 9/14
Метки: пленочного, преобразователя, термоэлектрического
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ, включающий операции формирования мелкопористой поверхности диэлектрика анодированием алюминия и элементов подогревателя путем нанесения сплошных тонкопленочных покрытий, фотолитографическое формирование масок, травление оксида алюминия, травление неокисленного алюминия и удаление маски, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных, до травления неокисленного алюминия производят формирование подогревателя на микропористой поверхности диэлектрика с помощью металлофоторезистивной маски, после чего выполняют в диэлектрическом слое отверстия, щели и контуры для разделения подогревателя на элементы.