H01J 41/12 — разрядные трубки для откачки с помощью диффузии ионов, например ионные насосы, ионно-сорбционные насосы

Номер патента: 305523

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Маханоа, Скакун

МПК: F04B 37/00, H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...магнитсразрядны насос, корпус которого выполнен в виде полого цилиндра и является анодом насоса, а катод представляет собсн стержень с закреплены- и на нем нерпендлО лярнс сгс Оси дис амн, расположенный соосно с корпусом-анодом.Учитывая, что коллектор ряда ЭВП СВЧ представляет собой, как правило, полый цилиндр, он может быть (будучи удлиненным в осевом направлении) использован в ка естве корпуса-анода магниторазрядного насоса, полость которого должна быть отделена от области собственно коллектора диафрагмой с отверстиями определенной проводимости для исключения попадания электронного потока на насос,На чертеже изображена предлагаемая конструкция магнптсразрядногс насоса,Корпус насоса 1 представляет собой гладкий цилиндр и...

Номер патента: 310319

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Маханов, Плт

МПК: F04B 37/00, H01J 41/12

Метки: магнитный, насос, электроразрядный

...П-образных скоб 4. Каждая ячейка анода выполнена в виде двух цилиндров 5 (см, фиг. 2) круглого или прямоугол.- ного сечения из немагнитного материала, расположенных на некотором расстоянии друг от друга в осевом направлении, Снаружи каждая ячейка анода окружена электродом-коллектором 6 с некоторым зазором, Коллектор гыполнен в виде цилиндра круглого или прямоугольного сечения из немагнитного мате 1 риала, Насос помещается в магнитное поле, силовые линии его направлены вдоль оси анодной ячейки. На анодный блок относительно,катодов и коллекторов, находящихся под одним потенциалом, подается положительный потенциал.Повышение скорости откачки инертных газов и устранение аргонной нестабильности при работе насоса обеспечиваются тем, что за...

Номер патента: 337849

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Скакун

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...весь тепловой поток от них воспринять корпусом насоса, который может быть легко охлажден.Холодные катоды 2 представляют собой диски из пористого титана (открытая пористость 60 - 63). Катоды расположены с обеих торцовых сторон анода соосно с:ним, причем оба катода приварены к траверсе б (см, фиг. 2), закрепленной на одном из вводов насосной ножки.Горячий катод 3 представляет собой расположенную соосно с холодными катодами и анодами нить из вольфрамовой проволоки марки ВА, концы которой через пружинные хомутики из тантала закреплены на двух вводах насосной ножки.Иопользование для ионизации газа электронново тока, эмиттированного горячим катодом насоса, дает возможность резко повысить (по сравнению с приблизительно равной по размерам...

Номер патента: 354175

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Анохин, Ивановский, Ушаков

МПК: F04B 37/00, H01J 41/12

Метки: ионно-сорбционный, насос, орбитронного, типа

...ельнымиприпоями или несколькими ви тонкой проволоки из легкоплавтоихсплавов, которые имеют разну15 плавления, Ограничительные пщаются последовательно, по возператур плавления.Стержень анода закрепл с двух стороннасоса на изоляторах.2 О Имеется устройство, позволяющее подавать на анод последовательно различные величины мощности накала соответствующие температуре плавления каждого ограничительного припоя.После испарения втулки, расположенной врабочей части насоса, через анод пропускается прямой ток, припой расплавляется и втулка проваливается сквозь отверстие в торцевом отражателе, занимая место на рабочец ЗО части анОда.354175 Предмет изобретения Составитель Г, Жукова Редактор Л. Мазуронок Техред 3, Тараненко Корректор Л,...

Номер патента: 354680

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ностранец, Пноетраина, Польска

МПК: F04B 37/02, H01J 41/12

Метки: 354680

...вызывая иоцизацпю газа и одновременны 1 разогрев сорбпрующего матс.риала в результате электронно бомбардп ровки. Многокамерный иоцно-сорбционный насос держащий корпус с подсоединительныв Изобретение относится к устройствам для создания вакуума путем сорбции ионов откачиваемого таза в электрическом поле, изменяющемся по логарифмическому закону,Известен многокамерный ионна-сорбционпый насос, содержащий корпус с фланцем для подсоединения к откачиваемому объекту, источник сорбиру 1 ощего материала, размещенный в центре корпуса, и множество ионпзациоццык камер, состоягцик из стержневого анода, элемента, формирующего электрическое поле, и источника электронов, расположенного внутри камеры. В известном устройстгс применено несколько...

Номер патента: 387465

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Желтое, Песко, Щепкин

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, комбинированный, магниторазрядный, насос

...блокадам б, сорбционной поверхности 8, имеющей ввод 9 и вывод 10 для хладагента, накального испарительного устройства геттера, состоящего из аиода 11, испарителя 12 и электровводов 18 для электропитания элементов накальнопо испарительного устройства, смонтированных на съемном 5 фланце 14, магнитной системы, смонтированной с наружной стороны карманов 4, с системой 15 охлаждения. Магнитная система (см.фиг. 2) состоит из магнитов 1 б и мапнитопроводов 17.10 Магниторазрядный геттерно-ионный насосработает следующим образом.Через патрубок 2 создается начальное разрежение в насосе (например, цеолитовым насосом), необходимое для его запуска, Затем 15 запускают магниторазрядные блоки 5, в результате работы которых во внутреннем объеме...

Номер патента: 411547

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: H01J 41/12

Метки: 411547

...клапанами 4,осуществляющими направленное вдоль раз 5 рядных ячеек движение откачиваемого газа.Система 5 электродов каждой ячейки 2 содержит три электрода, один из которых 6 соединен с корпусом 1 насоса, второй 7 соединенс источником 8 постоянного тока через кон 10 денсатор 9 и укреплен в корпусе через изолятор 10, а третий электрод 11 соединен с высоковольтным высокочастотным источникомпитания 12 через коммутатор 13 и укреплен вкорпусе через изолятор 14. Насос соединен с15 откачиваемым объемом 15 и осуществляет выхлоп газов в атмосферу 16.При заряженном конденсаторе 9 через коммутатор 13 на электрод 11 поступает поджигающий высокочастотный высоковольтный им 20 пульс, вызывающий разряд между электродами 6 и 7. В момент разряда газ,...

Номер патента: 414652

Опубликовано: 05.02.1974

МПК: H01J 41/12

Метки: 414652

...сорбироваццые молекулы переносятся в объем, в котором размещен магциторазрядцый насос 6, Ионы из насоса 6 бомбардируют цоверхиость вращающегося цилицдра-мишеци 4 ц освооождают ее от сорбцроваццых молекул газа,Таким образом, вращающийся цилиндр является общей мишецью для двух магццторазразрядцых насосов 5 и 6. Для того чтобы иоццые потоки в Высоком вакууме охватывали всю часть поверхцостц цилиндра-мишеци 4, повернутую в сторону насоса б, отношение лины анода к его радиусу для насоса 5 больше единицы, цо меньше двух, а для насоса б - оольше двух. С этой целью ацодцые ячейки пасоса 6, в случае мцогоячеистого насоса, расположены в шахматном порядке.Освобождецньй газ удаляется цз насоса б мощным мап 1 цторазрядцым насосом 7, работающим в...

Номер патента: 416789

Опубликовано: 25.02.1974

МПК: H01J 41/12

Метки: 416789

...2, охватываемого поизатором 3, состоящим из двухсеггатых полуторов 4 с размещенными по их оси анодами 5, выполненными в виде двух петель. Элсктродуговой сублиматор состоит пз распыляемого катода 6, выполцетного пз геттерцого к;атериала, цапримср титана, водо ох,",аждаемого анода 7 и поджигающего электрода 8. Аод 5 укреплен та изоляторах 9.После прелварптельцой откачки до давления це выше 10 -торр с помощью поджигающего электрола 8 обеспечивается Возбужлепие О низковольтного дугового разряда в парах пснаряемого материала като;та разрядного устройства 2. Геттерпыг материал, коплепсируясь па холодны.; степках анода 7 и корпуса пасоса 1, поглощает молекулы активцых гд Зов, и даВЛЕцгС В ПдсОСЕ 51 ЕЬгцдется.Прп давлении В насосе нс выше 1 О...

Номер патента: 433568

Опубликовано: 25.06.1974

Авторы: Гумеров, Путиловский, Титов, Шнейдер

МПК: H01J 41/12

Метки: eiiiei, магнитный, насосsli, электроразрядный

...Пенинга, по крайней мере, один из электродов выполнен в виде электростатической фокусирующей системы, причем пластины катодного электрода могут быть выполнены, например, в виде электродов пушки Пирса, а анод в в виде цилиндрического конденсатора, внутренняя обкладка которого находится под наведенным отрицательным потенциалом.На чертеже приведена схема одного из вариантов предлагаемого устройства,Насос состоит из корпуса, снабженного катодным электродом 1, состоящим из двух пластин, выполненных в виде электродов пушки Пирса, и цилиндрического анодного электро да 2, посредством которых электронный пучокразряда в области 3 уплотняется. Дополнительное усиление уплотняющего действия электронного пучка производится посредством металлического...

Номер патента: 453757

Опубликовано: 15.12.1974

Авторы: Агафонов, Глушаченков

МПК: F04B 37/02, H01J 41/12

Метки: анод, магниторазрядного, насоса

...большая мощность, а охлаждение анода недостаточное ввиду малой поверхности контакта хладагента с анодом, Для повышения эффективности откачки в области высоких давлений в предлагаемом устройстве ячейки выполнены в виде цилиндрических втулок, установленных торцами в отверстиях двух пластин, соединенных по периметру рамкой и образующих герметичный кожух, охватывающий втулки по боковой поверхности и снабженный штуцерами для подвода и отвода хладагента.На фиг. 1 показан предлагаемый анод, вид спереди; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез Анод 1 содержит набор втулок 2, располо 1 тенных параллельно и электрически соеди ненных между собой пластинами 3 и 4, в отверстиях которых закреплены торцы втулок 2. Пластины 3 и 4 соединены по периметру...

Номер патента: 499611

Опубликовано: 15.01.1976

Авторы: Антюхов, Баловнев, Кеменов

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...отверстия 5 в корпусе одна из сторон каждой катодной пластины 3 сообщается с атмосферой, Вся электродная система помещена в поле постоянного магнита 6. Насос работает следующим образом.На анод 2 подается высокое напряжение, ив ячейках насоса возникает разряд Пеннинга.Ионизируемые в разряде молекулы водорода 5 под действием электрического поля внедряются в катоды 3, диссоциируют на атомы и диффундируют внутрь металла. Диффундирующие атомы достигают поверхности катода, сооб.щающейся с атмосферой, где, взаимодействуя с 10 кислородом воздуха, образуют пары воды, которые десорбируются в атмосферу, Таким образом, водород перекачивгется из вакуума на атмосферу, не накапливаясь в катодах. Высокая каталитическая активность палладия пре...

Номер патента: 502423

Опубликовано: 05.02.1976

Авторы: Анохин, Бибер, Касихин, Назаров, Толмачев

МПК: H01J 41/12

Метки: геттерно-ионный, насос

...термоэлектронной эмиссии 4 и блок электропитания 5, состоящий из источников питания 6, 7, 8 датчика термоэлектронной эмиссии, испарителя и разрядной ячейки соответственно, В блок 25 электропитания 5 введено устройство сравнения 9, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии 4 и разрядной ячейкой 2, а выход - с источником питания испарителя 7. 3 В работающем насосе величина разрядноготока 1 разрядной ячейки 2 характеризует величину газовой нагрузки, а сигнал 1, датчикатермоэлектронной эмиссии 4 - скорость испарения геттерного материала. Оба сигналапоступают на устройство сравнения 9, поддерживающее оптимальное соотношение скоростииспарения и величины газовой нагрузки, Вэтом случае сигнал ошибки ЬУ равен...

Номер патента: 577587

Опубликовано: 25.10.1977

Авторы: Королинский, Озеров, Слуцкий, Шутов

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...малого промежуткамежду катодами и анодом производительность ячеек падает. 25 го Знамени, специальное конструкторскоеиборостроения АН СССР Целью изобретения является выравнивание быстроты откачки по отдельным аноьным ячейкам магниторазрядного насоса.Это достигается тем, что насос снабжен рамкой с гаэораспределительными каналами, расположенной вокруг анода, при этом число отверстий в каналах нарастает по мере удаления от входа.На фиг. 1 изображен насос; на фиг, 2- схема распределения потока газа.В вакуумном корпусе с входным отверстием во фланца расположен ячеистый анод 1 и катоды 2 иэ активного металла. Откачиваемый газ через впускные окна 3 поступает в ячейки только через рамки с отверстиями 4, равномерно распределякними поток...

Номер патента: 593267

Опубликовано: 15.02.1978

Автор: Пакулин

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...У магнитами.На чертеже показана конструкция предло женного магниторазрядного насоса.Тонкий стержневой анод 1, выполненный изнемагнитного материала, проходит по оси насоса, Кольцевые магниты 2 и 3, закреплены соосно и раздвинуты на высоту цилиндра 4, 10 который изолирован от магнитов и электрически соединен с анодом 1 (на чертеже не показано), Магниты 2 и 3 надеты на полые цилиндры 5 и 6 соответственно, выполненные, например из титана, таким образом, что они 15 полностью закрывают внутренние торцовые ибоковые поверхности магнитов, Через отверстие 7 в торце цилиндра 5 насос сообщается с откачиваемым объемом, а в отверстии в торце цилиндра 6 укреплен изолятор анода 1.20 В опытном образце насоса кольцевые магниты из сплава самарий -...

Номер патента: 594548

Опубликовано: 25.02.1978

Авторы: Афонников, Кантор, Мошкина, Новик

МПК: H01J 41/12

Метки: насос, электроразрядный

...газов в отивянных приборах. е диапазоначке газов 15разряда. ри от ющег а изобрете Зто дости тн катодов, и ложены ребра На чертеже с Злектрозкатоды н ан тем, что, с рабочих дв в режиме нм на поверхнос зряд Он имеет д аспоноженными 2 разме пульсного тлеющего рлдряпл,.ти катодов, перпендикулярно Известен также элект содержащий катоды и ано Однако при работе в тлеющего разряда он не диапазоне высоких давле Бель изобретения - р рабочих давлений насоса в режиме импульсного тлгается тем, что на поверхнооерпенднкулярной к ней, рвспообрвзуюшие полый катод, хемвтнчески изображен элейнасос.ва катода 1 с перпендикулярно ми нв их поверхности ребреы которых, и расстояние межразряд с полым катодом, обеспеаибольшую быстроту откачки.дами расположен...

Номер патента: 595808

Опубликовано: 28.02.1978

Авторы: Агафонов, Персов, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: анод, магниторазрядного, насоса

...тем, чтоячейки анода выполнены гофрированными,например в виде сцльфонов. Прц этом увеличивается как поверхность ячсцкп, обращенная5 и разряду, так и поверхность, омываемаяхладагснтом,На фцг. 1 показан анод, вцд спереди; цафш. 2 - то жс, поперечный разрез.Анод содержит набор гофрированных ячеек10 1, расположенных параллельно и электрически соединенных между собой пластинами 2и 3, в отверстиях которых закреплены торцывтулок 4. Пластины 2 ц 3 соединены по периметру рамкой 5, образующей герметичный ко 15 иух, охватывающий втулки 4 по ооковой поверхности ц снабженный штуцсрамц 6 ц 7 дляподвода и отвода хладагснта,Прц работе насоса поверхности гофрированных ячеек анода, обращенные к разряду,20 приводят к увелцчсншо быстроты...

Номер патента: 601774

Опубликовано: 05.04.1978

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...кл. 313-7 Опублпк. в 1968. присоедпнсием заявки М Изобретение относится к области вакуумной технки, в частности к магниторазрядным насоса,м.Известны магниторазрядныс насосы с анодом сотовой конструкции 11. Такой насос обладает малой действующей плошадью аИода и относительно низкой быстротой откачки, так как межд цилиндрическими ячейками образуются неработающие ячейки, которые малы по сравнению с цилиндрическими, и при данном значении напряженности магнитного поля разряд в них не возбуждается.Известен также мапнпторазрядный насос, анод которого содержит цилиндрические ячейки, разного диаметра 121, 15Целью изобретения является увеличвиие действуюшей плопади анода и оыстроты откачки насоса.Указанная цель достигается тем, что цнлиндричсские...

Номер патента: 615555

Опубликовано: 15.07.1978

Авторы: Агафонов, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...изменения расстояния 5 между витками спирали.Устройство для плавного изменения расстояния между витками спирали выполнено в виде подвижной оси, иа одном конце которой установлено ограничительное кольцо, а другой ее конец выведен в атмосферу через вакуумный ввод вращения.Иа фнг. 1 показан описываемый ма; инто.разрядный насос, общий Вид с частичным вырезом стенки для лучшего показа кон.струкции; на фиг. 2 - разрез по А. - Л 25 на фнг. 1.Применение предлагаемого насоса позволяет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений, что приведет к значительной экономии при эк- аа сплуатации насоса,.остввитель А. СенчихинТехред О. Луговая Корректор В. Паин Тираж 9 бО Подписное Редактор Л. БЗаказ 3918/42 амова НИИПИ...

Номер патента: 618007

Опубликовано: 15.01.1979

Авторы: Дороднов, Минайчев, Мирошкин, Мубояджян, Помелов

МПК: H01J 41/12

Метки: газов, откачки

...потенциала на поверхностьконденсации и наложения поперечного магнитного поля, величина напряженности которого такова, что параметр Холла электронов болыпе единицы, а параметр Холлаионов меньше единицы,Предлагаемый способ откачки газовпоясняется чертежом, где изображены алек.троды 1 и 2, соответственно катод и анод,между которыми возбуждается вакуумная 10цуга; источник 3 питания дуги вспомогательный электрод 4; вспомогательныйисточник 5, создакипий электрическое поле; магнитная катушка 6; корпус 7 откачного устройства, 15При таком способе откачки переводгеттерного материала в состояние плазмы осуществляется в стационарной илиимпульсной вакуумной дуге, возбуждаемой между катодом 1 и анодом 2, выпол ненным из геттерного материала,...

Номер патента: 642797

Опубликовано: 15.01.1979

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...зазорами ячейи по длине анода сообщаются между собой.На фиг. 1 показан карман насоса, поперечный разрез; на фиг, 2 - анод насоса в плане.Магнитораэрядный насос содержит два нлоских катода 1 из геттерного материала, анод 2 с размещенными в ряды ячейками 3. Магнитная система 4 создает поле, силовые линии которого направлены вдоль оси анодной ячей кн перпендикулярно катодным пластинам. Каждая ячейка 3 составлена нз двух частей 5, В каждом вертикальном ряду642797 Формула изобретения СостаТехред ктор 3 7772/51 Тираж ИЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская Подписи Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.Проектная/ячейки 3 по длине анода сообщаютсямежду собой посредством целевых зазоров...

Номер патента: 672673

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...Заказ 39015ж 922 Подписное Филиал ППП "Патент",, Ужгород, ул. Проектная 3стержнями 4. Стержни проходят перпендикулярно пластинам через середины их продольных торцовых граней и крепятся к боковым стенкамрамки 5, огибающей по периметру анод. Рамкаобеспечивает электрический 1 потенциал и жесткость конструкции анода,К катодам 1 и аноду 2 прикладывается высокое электрическое напряжение. Магнитное поле направлено параллельно анодным пластинам 3,Пространства, ограниченные боковыми сторонами и продольными торцовыми гранями пластинсовместносо стержнями составляют ячейки, в ко,торых возбуждается магнитоизолированный газо-.вый разряд. Откачка осуществляется путемионизации атомов и молекул газа электронами. 1Пластины 3 поддерживают в пределах...

Номер патента: 687493

Опубликовано: 25.09.1979

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: вакуумный, магниторазрядный, насос

...ячейка предлагаемого. насосе;нафиг. 2 показан анод а поперечном сечении.Насос содержит титановые квтодныепластины 1 и анод 2 прямоугольного иликруглого сечения. На внутренней поверхности 3 анода размещена сетка 4, выполненная из материала катода. Сетка и аноднаходятся .вод одинаковым электрическимпотенциалом,В насосе тлеющий разряд возбуждаетсяв электродном промежутке, ограниченномкатодами 1 и анодом 2 при подаче нванод высокого положительного напряжения и приложении в направлении оси анода магнитного поля. В разряде образуюся положительные ноны, которые бомбардируют катоды 1 и внедряются а них иэлектроны, уходящие после ионизирующихстолкновений с частицами газа на анод2, При повышенных давлениях в интерва-Ь -Иле 10 -10 мм рт,...

Номер патента: 712869

Опубликовано: 30.01.1980

Авторы: Нойсс, Островка

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...повысить быстроту откачки за счет сочетания ячеек большего и меньшего диаметров, но не обеспечивает развитой 5 поверхности сорбции анода вследствие сохранения в нем неактивных зон.Целью изобретения является увеличениеэффективной поверхности сорбции анода.Данная цель достигается тем, что ячейки О расположены попарно соприкасающимисяв параллельных рядах, при этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются и смещены одна относительно другой таким образом, что расстояние между их продоль ными осями равно радиусу ячейки.На чертеже показан анод предлагаемогонасоса.Анод составлен нз цилиндрических ячеек 1, расположеннь 1 х попарно соприкасаю- О щимися в параллельных рядах. Пары прилегающих рядов взаимно смещены, а ячейки пар этих...

Номер патента: 712870

Опубликовано: 30.01.1980

Авторы: Агафонов, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: анод, магниторазрядного, насоса

...разрядные ячейки 4.Нижний коллектор 2 снабжен штуцером 5 с перегородкой 6, разделяющей коллектор на две полости и обеспечивающей подвод и отвод хладоагента.В каждом ряду установлено не менее двух трубок, причем трубки 3 в каждом ряду установлены друг относительно друга с зазором 7. Величина этого зазора определяется технологически, однако предпочтительна величина 1,5 - 2 мм, что позволяет разместить в одном ряду большее количество трубок.Принципиально работа магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом ничем неТираж 857ССР по делам изобретениауьиская иаб., д. 4,5 Подписноеоткрытий го комитета сква %-35 Типограф р, С а и 1 нова,отличается от известных, Однако при работе магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом достигается...

Номер патента: 736214

Опубликовано: 25.05.1980

Авторы: Агафонов, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...2. Недостатком данного насоса является сложность конструкции и трудность обеспечивания при эксплуатации синхронности работы самого высокого вак Известны рых с целью способности зования элекгниторазрядные насосы, остижения высокой отк тем более интенсивного в коточной испольолей,ми анода и котолненный ми, обра пир али имеет 1)М. Кд.Н 01 1 41/12 Уд К 621.528: 533,59 (088.8),Пя Об 1)ЯЗОВ;Иия ячеис Гой срукд)ы с 1 ирального анода 3 к виткам спирали приварены с определенным шагом перфорированные упругие перегородки 8.Насос работает следующим обр;зом.При достижении предварительного разряжения, необходимого лля запуска насоса, подается питание на электроды, анод 3 и като 4 насоса, В результате возникаюпего между ними тлеющего разряда,...

Номер патента: 741352

Опубликовано: 15.06.1980

Авторы: Медошин, Решетняк

МПК: H01J 41/12

Метки: комбинированный, магниторазрядный, насос

...аноды 3, постоянныемагниты 4, размещенные в полостигерметичных охлаждаемых катодов. Ис- ЭО41352 Повышается надежность насоса, таккак йсключаются накаляющиеся довысоких температур проволочные элементы, критичные.к давлению в насосе и не допускающие прорыва атмос феры. В результате разогрева испарителя только в зоне горения дуги ивзаимодействия дугового разряда сэлектронным полем магниторазряднойчасти насоса снижается потребляемая 10насосом мощность,1. Комбинированный магнитораз 15 рядный насос, содержащий герметичный охлаждаемый корпус, испарительгеттера и магниторазрядную ступеньоткачки, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения эффект тивности откачки насоса, его надежности и ресурса работы, испарительгеттера выполнен в...

Номер патента: 750612

Опубликовано: 23.07.1980

Автор: Джевала

МПК: H01J 41/12

Метки: магнитный, насос, электроразрядный

...из электродов приводят к образованию одного-двух ионов остаточного газа, которые, бомбардируя катодные пластины, вызывают эмиссию вторичных электронов, ускоряющихся в поле электродов и в свою очередь образующих новые ионы, благодаря чему разряд нарастает до определенной величины. Передавая импульс энергии атомам металла, ионы производят, также распыление материала катодных пластин 1 и 2. Распыленный металл осаждается на противоположной катодной пластине, аноде, стенках насоса, поглощая при этом газ, Насос с дифференциальными пластинами (Та и Т) обладает большей скоростью откачки по инертным газам за счет повышенной скорости распыления тантала - менее химически активного материала, но обладающего большим коэффициентом распыления, за счет...

Номер патента: 764010

Опубликовано: 15.09.1980

Авторы: Владимиров, Кайгородов, Клоцман, Трахтенберг

МПК: H01J 41/12

Метки: магнитных, насосов, регенерации, электроразрядных

...2 - 5 мин, и затем аргон откачивают до давления 104 - 10 з мм рт. ст.,764010 После откачки воздуха из МЭН цеолитовыми насосами в работающий МЭН запускается аргон до перехода работы насоса в режим короткого замыкания. Давление аргона в насосе при этом составляет не выше 10мм рт. ст. В этих условиях насос работает 2 - 5 мин, Далее МЭН выключается и аргон откачивается цеолитовыми насосами до давления не выше 10 з мм рт, ст., после чего откачка МЭН цеолитовыми насосами прекращается и МЭН включают снова. Проработав 1 О - 30 мин (в зависимости от давления напуска аргона) в режиме 15 короткого замыкания, МЭН запускается. Характерной особенностью запуска МЭН после аргонной бомбардировки является резкий переход от режима короткого замыкания к...

Номер патента: 775791

Опубликовано: 30.10.1980

Автор: Пакулин

МПК: H01J 41/12

Метки: магниторазрядный, насос

...к другу и разделенные шайбами, расположенными в плоскости дисков, причем диски и шайбы изготовлены из магнитомягкого материала, С целью замены магнитов без нарушения вакуума, например, при прогреве системы, открытый торец полос- ти обращен к атмосфере.Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором изображена кон струкция предлагаемого насоса.Анод 1 выполнен в виде цилиндра, например, из нержавеющей стали. Катод 2 выполнен в виде титанового цилиндра с полостью. На катоде с опре деленным шагом закреплены перпенцикулярные оси кольца 3, выполненные из магнитомягкого материала, например, из Армко или Ст, Катод насоса закреплен на металлокерамическом вводе 2 О 4, изолирующем его от заземленного анода 1. В полости катода 2 установлены...