Способ изготовления диэлектрических деталей с отверстиями
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ С ОТВЕРСТИЯМИ, преимущественно для электронных приборов, включающий электрохимическое анодирование полированной стороны заготовки, выполненной в виде пластины, например алюминиевой, с предварительной защитой противоположной стороны пластины изоляционным материалом, формирование отверстий и контуров деталей, снятие защитного изоляционного материала, травление слоя алюминия и разделение заготовки на отдельные детали механическим путем, например ультразвуком, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества деталей, анодирование производят на глубину порядка 1 мкм, после чего на места будущих отверстий и контуров анодированной поверхности алюминиевой пластины наносят фоторезист, производят вторичное анодирование незащищенных фоторезистом участков пластины на глубину, равную толщине изготавливаемых диэлектрических деталей, а вскрытие отверстий осуществляют в процессе разделения заготовки на отдельные детали.
Описание
Известен способ изготовления диэлектрических деталей с отверстиями, преимущественно для электронных приборов, включающий электрохимическое анодирование полированной стороны заготовки, выполненной в виде пластины, например алюминиевой, с предварительной защитой противоположной стороны пластины изоляционным материалом, формирование отверстий и контуров деталей, снятие защитного изоляционного материала, травление слоя алюминия и разделение заготовки на отдельные детали механическим путем, например, ультразвуком.
Однако изготовление диэлектрических деталей по известному способу сопряжено с большими технологическими трудностями, особенно при получении отверстий со сложными контурами.
Целью изобретения является упрощение технологии и повышение качества деталей.
Это достигается тем, что по предлагаемому способу анодирование производят на глубину порядка 1 мкм, после чего на места будущих отверстий и контуров анодированной поверхности алюминиевой пластины наносят фоторезист, производят вторичное анодирование незащищенных фоторезистом участков пластины на глубину, равную толщине изготавливаемых диэлектрических деталей, а вскрытие отверстий осуществляют в процессе разделения заготовки на отдельные детали.
На фиг. 1-7 схематически показана последовательность изготовления диэлектрической детали с двумя прямоугольными и одним круглым отверстиями и граничным контуром в виде прямоугольника для сеточной микроструктуры прибора с дисковым электронным пучком.
Заготовку из алюминиевого листа 1, например в виде прямоугольника (фиг. 1), по- лируют в смеси ортофосфоpной, серной и азотной кислот с примесью азотнокислой меди, экранируют с одной стороны лаком АК-20 (слой 2 на фиг. 2) и подвергают кратковременному анодированию в 5%-ном растворе щавелевой кислоты при температуре 15оС и плотности тока 1-1,5 а/дм2 для получения тонкой пленки 3 (0,1-1 мкм) окиси алюминия (фиг. 3).
На анодированной поверхности алюминия методом фотолитографии получают рисунки деталей или серий деталей, причем места контуров 4 и отверстий 5 и 6 будущих деталей защищены фоторезистом (фиг. 4 ). Подслой из тонкой окисной пленки обеспечивает прочную адгезию с фоторезистом, что позволяет сохранить четкие границы рисунков при дальнейшем анодировании. Дальнейшее анодирование незащищенных фоторезистом мест проводят в щавелевокислом электролите при тех же условиях в течение времени, необходимого для получения толщины диэлектрического слоя (фиг. 5), равной толщине будущей детали. Затем удаляют защитный слой 2, отделяют непроанодированный алюминий 7 путем травления последнего в растворе, инертном по отношению к анодной окиси алюминия, например в растворе соляной кислоты с примесью хлористой меди. В результате получают диэлектрическую пластину 8 (фиг. 6).
Вскрытие отверстий, затянутых тонкой, чрезвычайно непрочной в связи с малой толщиной окисной пленкой, и одновременное разделение диэлектрической пластины из свободной анодной окиси алюминия на детали (фиг. 7) проводят с помощью ультразвуковых колебаний или другим легким механическим воздействием.
Детали получают толщиной 10-200 мкм с круглыми отверстиями диаметром 50-350 мкм и прямоугольными щелями длиной до 10 мм и шириной 10-1000 мкм. Точность получения отверстий определяется возможностями процесса фотолитографии и составляет величину порядка 1-3 мкм.
Рисунки
Заявка
1832750/09, 02.10.1972
Лаборатория электроники АН БССР
Кравец Г. М, Котова И. Ф, Шохина Г. Н, Григоришин И. Л, Больбасов В. С, Игнашев Е. П
МПК / Метки
Метки: диэлектрических, отверстиями
Опубликовано: 30.08.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-430763-sposob-izgotovleniya-diehlektricheskikh-detalejj-s-otverstiyami.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления диэлектрических деталей с отверстиями</a>
Способ заварки отверстий в детали
Номер патента: 1021542
Опубликовано: 07.06.1983
МПК: B23K 20/12
Метки: детали, заварки, отверстий
...которойосуществлено заваривание частично повсему периметру до внутреннего диаметра Зз .бОДля осуществления способа заваривания отверстия В в детали 1 с помощью прокладки 2 и последуюцей заваркой трением по авт.св. У 745620 производится, например, рассверливание б 5 завариваемого отверстия а до диаметра д на глубину Н, в которую свободно устанавливается прокладка 2, толциной 5 и диаметром сУ, затемосуцествляется заваривание с помощьюинструмента диаметром д на глубинуизвестньм способом до образованйя сплошной перемычки толщинойили частичной толщиной 5.Заваривание по схеме(фиг.1)осуцествляется для получения абсолютнойгерметичности при более высоких давлениях, например, более 20 МПа, азаваривание по схеме(фиг.2)можетбыть использовано при...
Способ получения отверстия в детали агрегата соосно базовому
Номер патента: 967019
Опубликовано: 20.04.2005
Автор: Кузьмин
МПК: B64F 5/00
Метки: агрегата, базовому, детали, отверстия, соосно
Способ получения отверстия в детали агрегата соосно базовому, заключающийся в образовании отверстия с припуском в детали агрегата, фиксации этой детали по базовому отверстию при сборке агрегата и последующей расточки отверстия в окончательный размер по базовому отверстию, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса, после сборки узла агрегата в отверстие детали устанавливают в фиксированном положении относительно оси базового отверстия технологическую втулку с зазором, заполняют зазор затвердевающим составом, после затвердевания состава деталь демонтируют, затем выставляют ось полученного отверстия по оси шпинделя расточного станка, снимают технологическую втулку и...
Способ заварки отверстия в детали
Номер патента: 1729718
Опубликовано: 30.04.1992
Авторы: Егоров, Кусидис, Поправченко
МПК: B23K 20/12
Метки: детали, заварки, отверстия
...деформации металла основной детали, которая для алюминия и его сплавов составляет 380 - 460 С, Нагрев рабочих поверхностей инструмента до темпе1729718 40 50 Составитель С. ПоправченкоТехред М.Моргентал Корректор М, Максимишинец Редактор Н. Шитев Заказ 1467 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ратуры ниже 50 С не исключает заклинивания металла основной детали в полости инструмента. Повышение температуры может привести к "схватыванию" инструмента с материалом завариваемой детали. Рекомендуемая оптимальная температура рабочих поверхностей при обработке деталей из алюминия и...
Способ заварки отверстия в детали
Номер патента: 745620
Опубликовано: 05.07.1980
Авторы: Дервоед, Кивильша, Ляховицкая, Смолина
МПК: B23K 19/02
Метки: детали, заварки, отверстия
...параметры материала детали, а максимальный диаметр углубления (конического или сферического) был большим, чем диаметр эавариваемого отверстия.Например, для заварки отверстий в алюминиевом сплаве инструмент-стержень изготавливают иэ стали твердостью НВС 55-60, а для заварки отверстий в стальной детали стержень изготавливают иэ .твердого сплава, в частности из группы ВК.Соотношение между диаметрами стержня и завариваемого отверстия лежит ориентировочно в пределах 1,6-3, а между диаметром стержня и максималь.ным диаметром углубления в его торце-1, 3.На фиг. 1 показаны стержень со сферическим углублением в торце и завариваемое отверстие в детали перед началом процесса заварки; на фиг. 2 - то же в процессе заварки; на фиг. 3 - то...
Способ определения несоосности ряда отверстий в детали
Номер патента: 855374
Опубликовано: 15.08.1981
Автор: Лифшиц
МПК: G01B 5/25
Метки: детали, несоосности, отверстий, ряда
...базовыми опорами и измерителями свечением постоянства направления измерения каждого измерителя 121. Из соосно измере и осей поворо и расп равки с обе линиич чторяда взаимстий в вокруг ожен- азовыением рения оворот м вра- ротномдержателе совместно с оправкой вокруг оси, параллельной оси ряда отверстий.На фиг, 1 изображено устройство для реализации способа, общий вид; на фиг, 2 то же, вид сбоку,Устройство содержит грузонесущий по. воротный держатель 1, оправку 2 с базовыми опорами 3 и измерителями 4.Способ осуществляется следующим образом.Контролируемую деталь 5 устанавливаю 1 в поворотный держатель 1, Затем в контролируемые отверстия вводят оправку 2 и устанавливают ее базовыми опорами 3 на поверхность крайних отверстий. Измерители 4...
Предыдущий патент: Вертикальный центробежный насос для перекачивания высокотемпературных жидкостей
Следующий патент: Адгезионная композиция для галогенсеребряных фотографических материалов
Случайный патент: Устройство для запуска в трубопровод и приема разделителей, скребков и других поточных приборов