G01L — Измерение сил, механического напряжения, крутящего момента, работы, механической энергии, механического коэффициента полезного действия (КПД) или давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов

Номер патента: 1598631

Опубликовано: 30.01.1994

Авторы: Казарян, Чикин

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий верхнюю и нижнюю диэлектрические пленки, на одной поверхности которых сформированы металлизированные обкладки конденсаторов прямоугольной формы, их выводы и с зазором обкладок и выводов - экраны, а также промежуточную диэлектрическую пленку, расположенную между металлизированной поверхностью верхней пленки и нижней пленкой, причем модуль упругости материала промежуточной диэлектрической пленки меньше, а диэлектрическая проницаемость больше, чем у материала верхней и нижней пленок, при этом толщина нижней пленки больше толщины верхней в 2 - 3 раза, а все пленки склеены между собой, отличающийся тем, что, с целью расширения нижнего предела измеряемого давления, в него введена дополнительная...

Номер патента: 1545877

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Афанасьев, Бритвин, Ваганов, Червяков

МПК: G01L 9/04, H01L 29/84

Метки: интегральный, тензопреобразователь

...контактах 4-7 устанавливается напряжение, приблизительно равное половине напряжения питания. При отсутствии механических напряжений в области контактов возникающее при подведении питания электрическое поле обладает зеркальной симметрией относительной осей, проходящих от центрального контакта 3 к контактам 8-11. и при этом контакты 4-7 оказываются лежащими на одной эквипотенциальной линии. Следовательно, выходной сигнал преобразователяравен нулю. При приложении к упругомуэлементу 1 измеряемого воздействия в области контактов возникают механические5 напряжения, приводящие к возникновениюанизотропии проводимости кремния, Первоначальная симметрия электрического поля нарушается. В зависимости отнаправления приложения измеряемого воз 10...

Номер патента: 1591776

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Ваганов

МПК: G01L 1/22, H01L 29/84

Метки: датчик, микроэлектронный

МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК, содержащий корпус, мембранный чувствительный элемент, выполненный в виде монокристаллической кремниевой пластины с контактными площадками, расположенными на планарной поверхности пластины вне площади мембраны, тензорезисторов и металлической разводки, крышку-кондуктор, соединенную с планарной поверхностью чувствительного элемента со сквозными отверстиями, расположенными в соответствии с расположением контактных площадок, и жесткие внешние проволочные выводы, отличающийся тем, что, с целью снижения стоимости за счет возможности использования групповых методов изготовления при одновременном уменьшении габаритов и температурной погрешности, повышении надежности, в датчик дополнительно введена втулка со сквозными...

Номер патента: 1648157

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 7/08, G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный, матричный

ЕМКОСТНЫЙ МАТРИЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ по авт. св. No 1577483, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет одновременного измерения давления, температуры и теплового потока, в него дополнительно введены первая и вторая диэлектрические пленки, выполненные из полиамидокислотного лака, причем на одной из поверхностей каждой из них сформированы первые электроды, выполненные из меди, с соответствующими выводами, на каждый первый электрод нанесен второй электрод, выполненный из никеля, при этом вторые электроды соединены электрически друг с другом и общим выводом, а с зазором от всех электродов и выводов нанесен металлизированный экран, причем площадь первого электрода равна площади обкладки конденсатора...

Номер патента: 788926

Опубликовано: 15.02.1994

Авторы: Ваганов, Носкин

МПК: G01L 9/06

Метки: давления, полупроводниковый

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий мембранный чувствительный элемент в виде профилированной монокристаллической кремневой пластины, на планарной стороне которой в площади мембраны выполнены тензорезисторы, соединенные токопроводящими областями с контактными площадками, размещенными за пределами мембраны, внешние выводы и держатель в виде пластины из того же материала, соединенный с профилированной стороной чувствительного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет исключения контакта внешних выводов с измеряемой средой, на профилированной стороне чувствительного элемента выполнены лунки, на дне которых размещены контактные площадки, электрически соединенные с внешними выводами, жестко...

Номер патента: 1544120

Опубликовано: 15.02.1994

Автор: Ваганов

МПК: G01L 1/22, H01L 29/24

Метки: датчик, микроэлектронный

1. МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК, содержащий выполненный из монокристаллического кремния кристалл чувствительного элемента с интегральной схемой, соединенный по периметру в периферийной области с первой поверхностью промежуточного элемента, выполненного из того же материала, с центральным отверстием и корпус, соединенный с второй поверхностью промежуточного элемента, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности и уменьшения температурной погрешности, датчик дополнительно снабжен по крайней мере еще одним промежуточным элементом, при этом каждый из промежуточных элементов выполнен в виде двух кремниевых кристаллов, соединенных между собой поверхностями в центральной области, а корпус соединен с второй поверхностью последнего...

Номер патента: 1482480

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Бритвин, Ваганов

МПК: G01L 1/22, H01L 29/84

Метки: интегральный, тензопреобразователь

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, содержащий однородную полупроводниковую пленку, нанесенную на всю поверхность упругого элемента тензопреобразователя, и электрические контакты к пленке, расположенные рядами вдоль направления максимальной тензочувствительности пленки в узлах гипотетической ортогональной сетки с квадратными ячейками, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности и уменьшения величины и температурного дрейфа разбаланса, тензопреобразователь содержит не менее трех рядов контактов и трех контактов в ряду.

Номер патента: 1385951

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Ваганов, Случак

МПК: G01L 1/24, H01L 29/84

Метки: датчик, механоэлектрический, микроэлектронный

МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК, содержащий выполненный из монокристаллической пластины кремния ориентации { 100 } , жесткое основание, мембрану с двумя жесткими областями в виде островков, отделенных друг от друга и от жесткого основания, ориентированными вдоль направления < 110 > канавками, образующими тонкие гибкие участки, на которых с планарной стороны кристалла расположены тензорезисторы, ориентированные вдоль направления < 110 >, отличающийся тем, что, с целью уменьшения размеров, повышения линейности и чувствительности преобразования, мембрана выполнена прямоугольной с двумя узкими щелевыми отверстиями, параллельными друг другу и перпендикулярными направлению канавок, причем щели с двух сторон отделяют...

Номер патента: 1389412

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Беклемишев, Бритвин, Ваганов

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчик, интегральный

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий кремниевую мембрану, на периферии которой установлены два p-h-p-тензотранзистора, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента преобразования, тензотранзисторы размещены так, что ось симметрии, проходящая от эмиттера к коллектору, у одного тензотранзистора параллельна, а у другого - перпендикулярна кристаллографическому направлению < III >, при этом плоскость мембраны совпадает с кристаллографической плоскостью (110).

Номер патента: 1473637

Опубликовано: 28.02.1994

Авторы: Бритвин, Ваганов

МПК: G01L 1/22, H01L 29/84

Метки: интегральный, тензопреобразователь

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, содержащий упругий элемент с тензорезистивной структурой в виде квадратной ячейки с электрическими контактами, тензорезисторы которой расположены симметрично относительно центра упругого элемента и ориентированы вдоль взаимно перпендикулярных направлений максимальной тензочувствительности, отличающийся тем, что, с целью уменьшения величины и температурного дрейфа разбаланса, тензорезистивная структура выполнена в виде регулярной ортогональной сетки с квадратными ячейками, содержащей по каждой из координат не менее двух ячеек, причем тензорезисторы, расположенные по внешнему периментру сетки, выполнены в два раза уже остальных, а электрические контакты сформированы к каждому узлу сетки.

Номер патента: 392752

Опубликовано: 15.03.1994

Авторы: Заяц, Кравченко, Маркман, Солдаткин, Ференец

МПК: G01D 5/16, G01L 9/02

Метки: аэродинамических, датчик, пневмоэлектрический, углов

ПНЕВМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК АЭРОДИНАМИЧЕСКИХ УГЛОВ выполненный в виде симметричного приемника с отверстиями для приема давления, внутри которого установлены терморезисторы, включенные в электроизмерительную схему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и надежности измерения, он снабжен источником пневмопитания, выполненным в виде заборника полного давления с системой очистки и термостабилизации воздуха, и пневматической дифференциальной измерительной схемой, соединяющей источник пневмопитания с отверстиями для приема давлений и содержащей входные дроссели и две трубы Вентуры, соединенные между собой через канал струйного термоанемометра, средняя часть которого присоединена к источнику пневмопитания через дроссель...

Номер патента: 1438404

Опубликовано: 15.03.1994

Авторы: Бабичев, Брегман, Бритвин, Ваганов, Жадько, Ошкадерова, Романов, Сердега, Случак

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, интегральный

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий выполненную за одно целое с основанием кремниевую мембрану, ориентированную в плоскости (100), зеркально-симметричную относительно каждой из двух плоскостей семейства (110), проходящих через центр мембраны и перпендикулярно ее плоскости, тензоэлемент, расположенный на мембране и выполненный в виде интегрального тензорезистора с двумя вводами для тока и двумя выводами для снятия напряжения, причем вводы для тока ориентированы в направлении < 100 >, а выводы перпендикулярны вводам, и токоведущие дорожки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности преобразования деформации в электрический сигнал, тензоэлемент расположен в центре мембраны, причем токоведущие дорожки к токовым...

Номер патента: 1454054

Опубликовано: 15.03.1994

Авторы: Бодров, Заславский, Подборонов, Соколов, Соловьев

МПК: G01L 1/22, G06F 15/74

Метки: главных, деформаций, значений, направлений

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЗНАЧЕНИЙ И НАПРАВЛЕНИЙ ГЛАВНЫХ ДЕФОРМАЦИЙ, содержащее блок коммутации, аналого-цифровой преобразователь, нормирующий преобразователь, блок управления и обработки, первая и вторая группы управляющих выходов которого соединены с соответствующими группами управляющих входов блока коммутации и нормирующего преобразователя, информационные входы которого соединены с выходами блока коммутации, информационные входы которого являются входами подключения многокомпонентных тензометрических розеток устройства, группа информационных выходов аналого-цифрового преобразователя соединена соответственно с группой информационных входов блока управления и обработки, отличающееся тем, что, с целью уменьшения погрешности измерений...

Номер патента: 1729199

Опубликовано: 30.04.1994

Автор: Зотов

МПК: G01L 11/00

Метки: виброчастотный, давления, датчик

ВИБРОЧАСТОТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий цилиндрический резонатор с тонкостенным рабочим участком, фланцем и дном, заключенный в цилиндрический корпус, герметично соединенный с фланцем резонатора, электромагнитные катушки возбуждения и измерительные катушки, закрепленные в корпусе с зазором относительно резонатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в нем на цилиндрической поверхности корпуса в его средней части по периметру выполнена впадина прямоугольного сечения, образующая в сторону резонатора углубление с тонкостенным дном, а электромагнитные катушки возбуждения и измерительные катушки расположены на дне углубления и заключены во введенный в датчик сепаратор, расположенный снаружи корпуса и снабженный стопорным...

Номер патента: 1306293

Опубликовано: 30.05.1994

Авторы: Баранов, Любарец

МПК: G01L 1/22

Метки: датчик, силы, тензорезисторный

ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК СИЛЫ, содержащий установленный в корпусе упругий трубчатый элемент, внутри которого, в его средней части, закреплен первый силовводящий элемент в виде стержня, а на наружной поверхности трубчатого элемента, между средней частью и каждым торцом, установлены тензорезисторы, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет обеспечения измерения знакопеременных нагрузок и повышения точности, упругий трубчатый элемент снабжен не менее чем двумя П-образными ребрами, которые обращены концами друг к другу, установлены в одной плоскости, проходящей через линию действия измеряемого усилия, и жестко соединены с торцами упругого трубчатого элемента, причем ребра снабжены вторым силовводящим...

Номер патента: 1783901

Опубликовано: 15.06.1994

Автор: Третьяк

МПК: G01L 9/10

Метки: давления, датчик

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ по авт. св. СССР N 1566885, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной надежности и достоверности результатов измерений при колебаниях давления, он дополнительно снабжен мультиплексором, информационные входы которого соединены с выходами блока компараторов, выход подключен к четвертому входу постоянного запоминающего устройства, а вход управления соединен с выходом блока управления.

Номер патента: 1799124

Опубликовано: 15.09.1994

Автор: Казарян

МПК: G01L 9/12

Метки: давления, датчик, емкостный

...пленку, на которой сформирован первый металлизированный экран, закрепленнуго на первой пленке вторую твердую полиимидную пленку, на которой сформи рованы первая группа обкладок измерительного конденсатора с выводами и вокруг них с зазором второй металлизированный экран, закрепленную иа второй пленке третью эластичную пер форирдванную полиимидную пленку, на которой закреплена четвертая полиимидная пленка, при этом на одной и другой ее поверхностях сформированы соответственно вторая и третья группы обкладок из мерительного конденсатора с выводами и зазором вокруг них соответственно третий и четвертый металлизированные экраны, причем третья пленка перфорирована от-. ности диэлектрической пленки 1 произвольно, в любом свободном участке,...

Номер патента: 1746788

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Куликов, Куршин

МПК: G01L 13/02

Метки: давления, перепада

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕПАДА ДАВЛЕНИЯ, содержащий индуктивный дифференциальный датчик давления, имеющий цилиндрический корпус с двумя подводящими штуцерами, и токовыводы, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения малых перепадов давления при высоких уровнях рабочего давления, в него введена камера с внутренней перегородкой, электрическим гермовыводом и двумя штуцерами, расположенными с двух сторон перегородки, при этом перегородка выполнена из немагнитного материала и с отверстием, а дифференциальный датчик давления установлен в отверстии перегородки жестко, герметично закреплен с ней по внешней цилиндрической поверхности своего корпуса и подсоединен своими токовыводами к электрическому гермовыводу.

Номер патента: 1732767

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Ветер, Галецкий, Козьмин, Молдаванов, Очагов, Рябченко

МПК: G01L 1/04

Метки: пружин, сжатия, сортировки, цилиндрических

1. УСТАНОВКА ДЛЯ СОРТИРОВКИ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ ПРУЖИН СЖАТИЯ, содержащая загрузочное и сортировочное устройства, измерительный блок с поворотным столом и приводным устройством и опорную плиту, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности, измерительный блок выполнен в виде опорного кольца со стойкой и шпильками, двуплечего рычага с нажимной пятой, расположенной на конце меньшего плеча рычага, мембранного сдвоенного привода, закрепленного шарнирно на корпусе рычага, блока управления, расположенного на конце большого плеча рычага и состоящего из регулируемых лепестков, установленных на рычаге вертикально с возможностью перемещения в прорезях бесконтактных пневматических датчиков и расположенных уступами относительно горизонтальных струйных...

Номер патента: 1699244

Опубликовано: 27.02.1995

Автор: Богомолов

МПК: G01L 9/10

Метки: давления, датчик

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий полый цилиндрический корпус и измерительный узел с катушкой индуктивности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений за счет уменьшения влияния вибраций и тепловых воздействий, в нем корпус выполнен из тензорезистивного материала и включен в качестве короткозамкнутого витка катушки индуктивности в измерительный узел.

Номер патента: 1410643

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Воронин, Гольштейн, Деречук, Добролюбов, Лившиц, Моносзон

МПК: G01L 3/24

Метки: внутреннего, двигателя, мощности, сгорания, эффективной

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОЙ МОЩНОСТИ ДВИГАТЕЛЯ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ, заключающийся в том, что находят мощность Np c, развиваемую двигателем при его свободном разгоне, по величине которой судят об эффективной мощности Nэф двигателя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения эффективной мощности двигателя с газотурбинным наддувом, измеряют частоту к вращения турбокомпрессора при полной загрузке двигателя, а эффективную мощность Nэф двигателя находят из аналитического выраженияNэф= a

Номер патента: 1628826

Опубликовано: 30.04.1995

Автор: Егиазарян

МПК: G01L 1/10, H03H 9/15

Метки: изгибных, интегральный, колебаний, резонатор

...электрод 11.Резонатор работает следующим образом,При протекании тока через пленочный металлический электрод 11 возникает сила электродинамического воздействия, пропорциональная квадрату тока и длине взаимодействующих противоположных сторон пленочного металлического электрода 11 и обратно пропорциональная расстоянию между этими сторонами, Под действием этой силы происходит отклонение балки 2 от основания 1, При подаче на контактные площадки 8 и 9 импульсного сигнала с частотой следования импульсов, равной собственной Формула изобретения ИНТЕГРАЛЬНЫЙ РЕЗОНАТОР ИЗГИБНЫХ КОЛЕБАНИЙ, содержащий основание с консольно закрепленной в нем балкой из монокристаллического полупроводникового материала, на одной из главных граней которой в...

Номер патента: 1432934

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Траскин, Ярмаков

МПК: B64C 13/04, G01L 1/04

Метки: аппарата, замера, летательного, усилий, штурвале

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАМЕРА УСИЛИЙ НА ШТУРВАЛЕ УПРАВЛЕНИЯ ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА, содержащее два коаксиальных цилиндра: внешний, предназначенный для крепления штурвала, и внутренний для установки устройства на штурвальной колонке, установленные с возможностью взаимного поворота вокруг общей оси и продольного перемещения вдоль нее, датчики перемещений цилиндров один относительно другого и упругие пластины, одними своими концами жестко соединенные с внутренним цилиндром, а другими концами установленные между шариковыми опорами, закрепленными на внешнем цилиндре, при этом корпусы датчиков закреплены на одном из цилиндров, а их штоки снабжены фланцами и прижимными пружинами подпружинены к опорам штоков, закрепленных на другом цилиндре, отличающееся...

Номер патента: 1835913

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Евдокимов, Папков, Смыслов, Суровиков

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, интегральный, полупроводниковый

...Разделение облегчается, еслина месте границ между будущими преобразователями в первой и второй пластинахбыли сделаны незамкнутые прорези иликанавки (в т,ч. замкнутые). В этом случаеразделение может быть выполнено оазмыванием, ибо деформацией при размэлывании не передэдутся нэ прогибные части и невыведут их из строя, так как они защищеныжесткими рамками 2,Этим способом можно изготавливатьпрофилированные мембраны других форм, 35например, с жестким центром, с жесткими"островками" и т,д,Изготовление упрощается, если заготовки 1-й и 2-й пластины вырезают в изотропкой плоскости (в плоскости (0001) для 40сапфира); в этом случае отпадают все последующие операции кристаллографическойориентации, даже для тензорезисторов 4,ибо эпитаксиальный...

Номер патента: 1471821

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Берлин, Волкова, Гонжалов, Колюшев, Потапов, Рыжов, Хураськин

МПК: G01L 11/00

Метки: манотрон

МАНОТРОН, содержащий вакуумированный баллон, внутри которого расположены катодный узел и подвижный анод, соединенный с упругим чувствительным элементом, являющимся частью баллона, и присоединительный патрубок, отличающийся тем, что с целью повышения точности измерений за счет возможности корректировки чувствительности, он снабжен вакуумным вентилем, установленным на присоединительном патрубке, и компрессионным устройством с постоянным коэффициентом компрессии, которое подсоединено к присоединительному патрубку между вентилем и упругим чувствительным элементом.

Номер патента: 1454059

Опубликовано: 10.11.1995

Авторы: Павленко, Хасхиев

МПК: G01L 5/24, G01M 13/00

Метки: исследования, резьбовых, соединений

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ РЕЗЬБОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ, содержащее опорную плиту, исследуемые болт с гайкой и стягиваемый элемент, установленный между головкой болта и опорной плитой, манометр и связанную с ним гидравлическую камеру, включающую в себя цилиндр и поршень, размещенные между опорной плитой и гайкой, которая установлена на болте в фиксированном угловом положении относительно опорной плиты, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, в него введены основание с установленными на нем двумя индикаторами часового типа, связанное с опорной плитой, и плунжерный нагнетатель, связанный с гидравлической камерой, которая выполнена кольцевой и размещена концентрично оси болта, к противоположным торцам которого поджаты...

Номер патента: 1433170

Опубликовано: 10.12.1995

Авторы: Белозубов, Красильникова, Марин

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, тензометрический

ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ по авт. св. N 1075096, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем резистивные полоски расположены внутри области, ограниченной кривой, удовлетворяющей соотношениюгде расстояние i-й точки кривой до оси [110]a размер мембраны, параллельной оси L110i расстояние i-й точки кривой до оси

Номер патента: 1450553

Опубликовано: 10.12.1995

Авторы: Зеленцов, Мокров, Песков

МПК: G01L 1/22

Метки: тензодатчика

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОДАТЧИКА, включающий нанесение на металлический упругий элемент изолирующего слоя, формирование мостовой схемы на тензорезисторных элементах с контактными площадками и коммутацией, измерение электрических параметров мостовой схемы и разработку, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, после операции разбраковки осуществляют удаление мостовой схемы с контактными площадками и коммутацией до изолирующего слоя, после чего проводят нанесение дополнительного изолирующего слоя из того же материала толщиной 0,05 0,1 толщины ранее нанесенного изолирующего слоя с его последующим окислением в низкотемпературной кислородной плазме в течение 30 60 мин, после чего проводят повторное формирование мостовой схемы с...

Номер патента: 1771272

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Андреев, Белозубов, Козин, Михайлов

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, датчик

1. Датчик давления, содержащий опорное основание с мембраной, выполненные за одно целое из полупроводникового материала, причем на мембране размещены тензорезисторы, подключенные с помощью коммутационных участков к периферийным контактным площадкам, размещенным на опорном основании, соединенное с кольцом-держателем, и компенсационные резисторы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и повышения технологичности, он снабжен дополнительными контактными площадками, размещенными по периферии кольца-держателя в области коммутационных участков, а компенсационные резисторы выполнены в виде резистивных пленок с пленочными токоведущими проводниками, нанесенными на внешнюю поверхность кольца-держателя, причем проводники соединены...

Номер патента: 1433172

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Белозубов, Козин, Ульянов, Шпилев

МПК: G01L 9/04

Метки: давления, интегральный

1. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий квадратную мембрану из монокристаллического кремния n-типа проводимости, выполненную за одно целое с опорным основанием, плоскость которой совпадает с основной кристаллографической плоскостью (001), а стороны ориентированы вдоль взаимно перпендикулярных направлений <110> и расположенные по периферии по осям ее симметрии тензорезисторы в виде резистивных полосок, соединенных в измерительный мост, причем полоски двух тензорезисторов параллельны двумя противоположным сторонам мембраны, а полоски двух других тензорезисторов перпендикулярны двум другим сторонам мембраны, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения при воздействий нестационарной температуры измеряемой...