Интегральный резонатор изгибных колебаний

(и) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЗВТОРСКОМ СВИДСХСЛЬСТ закрепленной на нем балкой 2, первый и второй ре - зисторы 3 и 4 полумостовой тензосхемы, с контактных площадок 5, 6 и 7 которой снимается переменный электрический сигнал. В прорези 10 нанесен металлический электрод 11, соединенный с контактными площадками 8 и 9 системы возбуждения. При протекании тока через электрод 11 между па - раплельными его участками возникает сила электродинамического воздействия, что обеспечивает колебание балки 2. Малое сопротивление пленочного металлического электрода 11 обеспечивает снижение потребляемой мощности, а отсутствие его нагрева при возбуждении обуславливает расширение температурного диапазона. 1 ил. 2 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 11 ЕСПУВЛИКГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР)(56) Авторское свидетельство СССР Ч 576518, кл.6 01 1/1 О, 1977.Петерсен КЭ. Кремний как механический ма - териал. - ТИИЭР, 1982, т.70, И 20, с 31,(54) ИНТЕГРАЛЬНЫЙ РЕЗОНАТОР ИЗГИБНЪХ КОЛЕБАНИЙ(57) Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в устройствах частотной се - лекции сигналов. Цепь - снижение потребляемой мощности и расширение температурного диапазона. Резонатор содержит основание 1 с консольно1628826 35 40 45 50 Составитель Г,МуртазинаРедактор Н.Федорова Техред М.Моргентал Корректор Н. Король Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Заказ 224 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при разработке устройств частотной селекции сигналов, а также частотозадающих элементов стабильных автогенераторов.Цель изобретения - снижение потребляемой мощности и расширение температурного диапазона,На чертеже представлена конструкция интегрального резонатора изгибных колебаний.Резонатор содержит основания 1 с консольно закрепленной на нем балкой 2, первый и второй резисторы 3 и 4, первую 5, вторую 6 и третью 7 контактные площадки съема колебаний соответственно, первую 8 и вторую 9 контактные площадки системы возбуждения, прорезь 10 и пленочный металлический электрод 11.Резонатор работает следующим образом,При протекании тока через пленочный металлический электрод 11 возникает сила электродинамического воздействия, пропорциональная квадрату тока и длине взаимодействующих противоположных сторон пленочного металлического электрода 11 и обратно пропорциональная расстоянию между этими сторонами, Под действием этой силы происходит отклонение балки 2 от основания 1, При подаче на контактные площадки 8 и 9 импульсного сигнала с частотой следования импульсов, равной собственной Формула изобретения ИНТЕГРАЛЬНЫЙ РЕЗОНАТОР ИЗГИБНЫХ КОЛЕБАНИЙ, содержащий основание с консольно закрепленной в нем балкой из монокристаллического полупроводникового материала, на одной из главных граней которой в области ее крепления размещены первый и второй резисторы, первые выводы которых соединены с первой контактной площадкой системы съема колебаний, а их вторые выводы соединены соответственно с второй и третьей контактными площадками системы съема колебаний, размещенными на одной из главных граней основания, на котором размещечастоте балки 2, через пленочный металлический электрод 11 протекает импульсный ток, за счет которого балка начинает колебаться. Колебания балки вызывают иэмене ние электрического сопротивления первогои второго резисторов 3 и 4 полумостовой тензосхемы, при подключении к источнику постоянного напряжения которой с контактных площадок 5, 6 и 7 сьема колебаний 10 снимается переменный электрическийсигнал, Этот сигнал усиливается и преобразуется в импульсы тока усилителем-преобразователем (не показан) и подается на контактные площадки 8, 9, Поскольку со противление пленочного металлическогоэлектрода 11 значительно ниже, чем у нагревательных резисторов, снижается потребляемая резонатором мощность по сравнению с известными техническими ре шениями, Кроме того, сопротивление пленочного металлического электрода значительно в меньшей степени, чем резистивного полупроводникового нагревателя, изменяется при изменении температуры окружающей среды, Это обуславливает расширение температурного диапазона предлагаемого интегрального резонатора,Толщина консольной балки 2 можетбыть отличной от толщины основания 1, а 30 усилитель-преобразователь может бытьразмещен на поверхности основания 1 совместно с другими элементами резонатора в виде интегральной схемы. ны первая и вторая контактные площадки системы возбуждения, отличающийся тем, что, с целью снижения потребляемой мощности и расширения температурного диапазона, основание выполнено Г-образной формы за одно целое с балкой, одна из боковых граней которой отделена от внутренней боковой грани основания прорезью, при этом, система возбуждения выполнена в виде размещенного на внутренних гранях прорези пленочного металлического электрода, выводы которого соединены соответственно с первой и второй контактными площадками системы возбуждения,