Интегральный датчик давления

Номер патента: 208003

Опубликовано: 01.01.1968

Автор: Государственный

МПК: G01R 27/02, H03C 3/06, H03L 7/08, H03M 1/60

Метки: датчика, преобразования, сопротивления, функцию, частоты

...ЗО а вторая частотно-зависимая, образует собственно колебательную линейную систему, генерирующую гармонические колебания.Помимо двух первых цепей обратной связи, имеется также третья цепь, содержащая измерительный мост 4, в одно из плеч которого включен датчик сопротивления 5, усилитель 6 и фазовый коррекгор 7.Выходное напряжение корректора подается одновременно на две цепи 8 и 9. Цепь 8 осуществляет частотно-независимый поворот фазы напряжения на минус 90, цепь 9 представляет собой интегратор. Выходные напряжения обеих цепей суммируются сумматором 10 с напряжением основной цепи частотно-зависимой обратной связи 3 и поступают на вход усилителя 1,Параллельное соединение двух частотно- зависимых цепей обратной связи и введение...

Номер патента: 746218

Опубликовано: 05.07.1980

Авторы: Воробьев, Заседателев, Лепин, Яковлев

МПК: G01L 9/04

Метки: давлений, датчиков, зависимости, интегральных, компенсации, малых, механической, температурной, чувствительности

...(алюминиевые) выводы 5, кремниевую пластину- заготовку б.В качестве исходной пластины-заготовки б используется монокристаллический кремний марки КЭФтолщиной 250 мкм, ориентированный в плоскости (100), Термическим окислениемопри 1200 С образуется слой двуокиси кремния толщиной 0,72 мкм, который используется н качестве маскирующего слоя на операциях формирования тензочувствительных элементон 4 (дийфузионые тензорезисторы р-типа с поверхностным сопротивлением 200 ом/и иглубиной диФфузии 1,8 мкм) и алюминиевых вынодов 5. Тонкие квадратныекремниевые мембраны 1 формируютсяпутем анизотропного травления пластины-заготовки б н кипящем гидразинеГидрате Ид НН 0 марки ЧДА, причемстороны мембрай ориентированы покристаллографическим...

Номер патента: 1796929

Опубликовано: 23.02.1993

Автор: Зеленцов

МПК: G01L 9/06

Метки: давления, датчик, интегральный

...травлением сформирована крестообразная мембрана 2, Отношение короткой стороны ам креста к егодлинной стороне Ь выбирается из интервала0,55 - 0,65 (оптимальным является 0,6), Выборсоотношения сторон крестообразной мембраны из представленного интервала позволяет обеспечить в центре 0 мембранымаксимальную разность продольных охо ипоперечных оуо полезных механических напряжений. А зто, в свою очередь, позволяетрасполагать в центре крестообразной мембраны резистивные участки тенэорезисторов, Отношение же длины основания креста3 - б,р к его длинной стороне Ьм выбирается в интервале 0,2 - 0,3 (оптимальнымявляется 0,25) и определяет максимальную разность полезных продольных оХ ипоперечных оу механических напряжений,возникающих в...

Номер патента: 1000804

Опубликовано: 28.02.1983

Автор: Яковлев

МПК: G01L 9/04

Метки: варианты, давления, датчик, его, интегральный, термокомпенсированный

...составляет не более0,5 сЯНагревательные резисторы 5 р -типапроводимости орентированы в плоскости мембраны 2 в направлении минимальной тензочувствительности (100 ),чем обеспечивается их невосприимчивость к деформации мембраны, расположены в центральной области мембраны на участке площади, центр которой совпадает с центром мембраны, и линия контура 10 которой эквидйстантна линии контура мембраны в заделке 9, а расстояние с от центра мембраны до линии контура 10 указанной площади равно с=0,2 сВ качестве монокристаллическогоматериала мембраны 2 по второму варианту используется кремний р-типа проводимости с плоскостью кристаллографической ориентации (100), На мембране 2 расположены термочувствительные 3, тенэочувствительные 4 и...

Номер патента: 470271

Опубликовано: 15.05.1975

Авторы: Абыкин, Княженко, Пашков

МПК: A01D 41/127, A01D 75/00, G01D 18/00

Метки: датчика, зерна, коэффициента, потерь, преобразования, преобразователей

...устройстве стержни располо не по винтовой линии с шаго его, соответствующей длине На фиг. 1 изображено пре ство; на фиг. 2 - осциллогр ния коэффициента преобразо ны преобразователя; на фипре- ости сти контроля опзводительн имости устанв предлага жены на ба м, равным д преобразова длагаемое ус амма распре вания вдольг. 3 - разве гаемое устронствозом.ансформатором реготов двигателя, коснную передачу проан. Имитирующиеаряют о поверхностго длине. На экранкаждого стержнянной длительности тает следуюулиретс торый че иводит в стержни ь преобр е осцилл возникает и амплиИзвест та преоб потерь з гателя, о имитируОднак зуют ру кую к п колосовь рируется овки емом раба- лине 25 теля.трой- делертка 30 арабана, образующая 1., агаются гибкие...