Емкостный датчик давления

(19) ЯУ (51) 5 б НОЕ ПАТЕНТНОЕСР (ГОСПАТЕНТ СССР) ГОСУДАРСТ ВЕДОМСТВО САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ(12 вторскому свидетельст ЫЙ ДАТЧИК Щание: изобретениеизмерения давлеродинамическихнной техники. Сдавления экранызи между электронсатора позволяюешних факторовип. 1 и. ф - лы,(54) ЕМКОСТН (57) Использов пользовано дпя точностью при аэ таниях авиацио ния: в датчике паразитные свя обкладки конде воздействие вн конденсатор, 1 динамическии инст во СССР М 1356680, кп о СССР й 1577483, кп СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК(58) Авторское свидетель6 01. 9/12, 1987.Авторское свидетельст6 013. 7/08, 1988. ВЛЕНИЯможет быть исний с повышенной и натурных испыущность изобретепозволяют снизить дами. Кроме того, т компенсировать на измерительный1799124 Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения давлений приаэродинамических и натурных испытанияхавиационной техники, 5Целью изобретения является повышение точности и надежности,На чертеже изображены элементы конструкции емкостного матричного датчикадавления, Первым(1) слоем является диэлектрическая пленка 1 с экраном 2 и обкладками измерительных конденсаторов 3 (сеч,Д - Д), Вторым слоем (1) из диэлектрическойпленки 4 является основание датчика с экраном 5, выводами 6 и обкладками 7 (сеч. 15Г-Г), Третий слой (И) - диэлектрическаяперфорированная пленка 8 (сеч. А-А). Четвертый слой (В) из диэлектрической пленки9, которая является мембраной датчика, нанижней поверхности содержит экран 10, обкладки измерительного конденсатора 11,вывод 12 для подачи напряжения поляризации, обкладки 13 (сеч, В - В), на верхней поверхности - экран 14, обкладкиизмерительного конденсатора 15, выводы 2516 и обкладки 17 (сеч,Б - Б), Слои датчикамежду собой скреплены, клеем 18 (сеч,А - А).С целью обеспечения нормальной работы измерительного конденсатора повеохность пленки 4 иа участках "с" не 30металлизируется. В противном случае, призаземлении экрана 5 диэлектрическая пленка9 не будет охвачена между обкладками 11, 15,т.е. ЧЭ датчика давления под обкладками 17и 13 не будут защищены от внешнего воздейстаия. Расположение обкладки 3 на поверхФ ор мул а изобретен ияЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, 40 содержащий первую твердую полиимидную пленку, на которой сформирован первый металлизированный экран, закрепленнуго на первой пленке вторую твердую полиимидную пленку, на которой сформи рованы первая группа обкладок измерительного конденсатора с выводами и вокруг них с зазором второй металлизированный экран, закрепленную иа второй пленке третью эластичную пер форирдванную полиимидную пленку, на которой закреплена четвертая полиимидная пленка, при этом на одной и другой ее поверхностях сформированы соответственно вторая и третья группы обкладок из мерительного конденсатора с выводами и зазором вокруг них соответственно третий и четвертый металлизированные экраны, причем третья пленка перфорирована от-. ности диэлектрической пленки 1 произвольно, в любом свободном участке, где сказывается влияние таких внешних факторов, как температура, влажность. Измерительный конденсатор, образованный обкладками 3, 11 и 15, можно включить в цепи коррекции электронной схемы и т.д, Размеры и форму обкладок 3, 11, 15 (ширина и высота) выбирают произвольно, исходя из условий обеспечения необходимой емкости.Полезный сигнал снимается с выходов (Вых,1) выводов 6 относительно вывода 12. Напряжение поляризации подается на выход 12, на верхней поверхности четвертого слоя диэлектрической пленки также металлизированы экран 14, выводы 16 и обкладки 17. На базе диэлектрической пленки 9 образованы ЧЭ с твердым диэлектриком, выходной сигнал снимается с выходов (Вых.2) выводов 16 относительно вывода 12. Экраны 5. 10, 14 в конструкции датчика позволяют снизить паразитные связи между датчиками и защитить их от внешних электромагнитных помех и трибоэлектрического эффекта,Устройство работает следующим образом,При изменении давления на величину Л Р толщина ЧЭ под обкладками 7, 13 и 17, 13 изменяется или перемещается на величину Л 1, соответственно электрическая емкость С изменяется пропорционально давлению на величину Л с. При этом выходное напряжение, снимаемое с датчиков, пропорционально напряжению поляризации и отношению приращению емкости,верстиями на участках, . расположенных под второй группой обкладок измерительного конденсатора, площадь отверстия перфорации меньше, чем общая площадь перфорации под обкладкой измерительного конденсатора в 45 - 50 раз, общая площадь перфорации под обкладкой меньше площади обкладки конденсатора в 2,2 раза, а толщина третьей пленки в 2 раза больше, чем четвертой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и надежности, в нем на одной и другой поверхностях четвертой пленки сформированы с зазором от экрана соответственно первая и вторая группы дополнительных обкладок конденсатора, а на первой пленке - третья группа дополнительных обкладок конденсатора, причем участки поверхности вто-, рой пленки, расположенйые под дополнительными обкладками, неметалли- зированы.. Обручар Кор Заказ Тираж П НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб исно изводственно-издательский Редактор Т, Горяче бинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагар