Интегральный преобразователь давления
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий выполненную за одно целое с основанием кремниевую мембрану, ориентированную в плоскости (100), зеркально-симметричную относительно каждой из двух плоскостей семейства (110), проходящих через центр мембраны и перпендикулярно ее плоскости, тензоэлемент, расположенный на мембране и выполненный в виде интегрального тензорезистора с двумя вводами для тока и двумя выводами для снятия напряжения, причем вводы для тока ориентированы в направлении < 100 >, а выводы перпендикулярны вводам, и токоведущие дорожки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности преобразования деформации в электрический сигнал, тензоэлемент расположен в центре мембраны, причем токоведущие дорожки к токовым вводам имеют одинаковую конфигурацию и расположены симметрично относительно центра мембраны, а форма самой мембраны зеркально несимметрична относительно плоскостей (100), перпендикулярных плоскости мембраны.
Описание
Целью изобретения является повышение точности преобразования механического воздействия в электрический сигнал.
На чертеже показан интегральный преобразователь давления.
Он содержит кремниевую мембрану 1, выполненную за одно целое с жестким массивным основанием 2, ориентированную в плоскости (100), зеркально-симметричную относительно каждой из двух плоскостей семейства (110), проходящих через мембраны и перпендикулярных ее плоскости, и одновременно зеркально несимметричную относительно плоскостей (100), перпендикулярных плоскости мембраны.
В центре мембраны расположен тензочувствительный элемент в виде интегрального тензорезистора с двумя токовыми вводами 3 и двумя сигнальными 4 выводами для снятия напряжения, в котором направление протекания тока между токовыми вводами 3 совпадает с направлением <100>, а линии электрического напряжения между сигнальными выводами 4 совпадают с перпендикулярным ему направлением того же семейства.
Токоведущие дорожки 5 к токовым вводам 3 тензоэлемента, изготовленные из алюминия или непосредственно из материала подложки с помощью низкоомного легирования, имеют одинаковую конфигурацию и расположены симметрично относительно центра мембраны.
Интегральный преобразователь работает следующим образом.
При воздействии измеряемого давления на упругий элемент происходит деформация мембраны 1, в центре которой появляются сдвиговые механические напряжения, преобразуемые с помощью тензоэлемента в выходной электрический сигнал между выводами 4 при протекании тока питания элемента между вводами 3.
Положительный эффект - повышение точности в преобразователе - достигается за счет уменьшения погрешности нуля тензоэлемента с четырьмя электрическими контактами (2 ввода и 2 вывода), а также условий теплоотвода от них и конфигурации токоведущих дорожек. (56) Ваганов В. И. Интегральные преобразователи. - М. : Энергоатомиздат, 1987, с. 136.
Патент США N 4317126, кл. 357-26, опублик. 1982.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения механических воздействий (давлений, силы и т. д. ). Целью изобретения является повышение точности измерения. При воздействии измеряемого давления в центре мембраны 1 появляются сдвиговые напряжения, преобразуемые с помощью тензоэлемента в выходной электрический сигнал между выводами 4 при протекании тока питания элемента между выводами 3. Цель изобретения достигается за счет уменьшения погрешности нуля тензоэлемента, а также условий теплоотвода и конфигурации токоведущих дорожек. 1 ил.
Рисунки
Заявка
4226895/10, 09.01.1987
Московский инженерно-физический институт, Ленинградское научно-производственное объединение электронного машиностроения, Институт полупроводников АН УССР
Брегман Е. Я, Бритвин С. О, Ваганов В. И, Ошкадерова Е. В, Случак И. И, Бабичев Г. Г, Жадько И. П, Романов В. А, Сердега Б. К
МПК / Метки
МПК: G01L 9/04
Метки: давления, интегральный
Опубликовано: 15.03.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1438404-integralnyjj-preobrazovatel-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интегральный преобразователь давления</a>
Устройство для ретрансляции сигналов между каналом ввода вывода и внешними устройствами
Номер патента: 949649
Опубликовано: 07.08.1982
МПК: G06F 3/04
Метки: ввода, внешними, вывода, каналом, между, ретрансляции, сигналов, устройствами
...1 может работать в несколькихрежимах,1 режим - работа по инициативе каналас основной или дополнительной цепочкамивнешних устройств,В этом режиме на входы 7 и 10 устройства 1 поступают соответственно сигналы адреса от канала и выборки от канала, причем, согласно требованиям к интерфейсу вводавьвода сигнал адреса от канала предшествует сигналу выборки от канала. Таким образом, сигнал со входа 7 через усилитель-приемник 27 поступает на О-вход триггера 47, затем сигнал со входа 10 через замкнутые контакты 60 реле и усилитель-приемник 30 поступает на С-вход триггера 47 и устанавливает его по передйему фронту сигнала выборки в единичное состояние, Единичный выход триггера 47 открьвает элементы И 48 и И 52, а нулевой выход...
Устройство для ретрансляции сигналов между каналом ввода вывода и внешними устройствами
Номер патента: 1015368
Опубликовано: 30.04.1983
МПК: G06F 3/04
Метки: ввода, внешними, вывода, каналом, между, ретрансляции, сигналов, устройствами
...25-27, выходной усилитель 28 требования, первый выходной усилитель 29 выборки, первый входной усилитель 30 выборки, второй входной усилитель 31 выборки, второй выходной усилитедь 32 выборки, усилитель-приемник 33, усилитель-передатчик 34, усилитель- приемник 35, усилители-передатчики 36-38, первый входной усилитель 39 требования, третий выходной усилитель 40 выборки, третий входной усилитель 41 выборки, элементы 42- 45 задержки, второй 46 и первый 47-триггеры, третий 48, шестой 49, пятый 50, четвертый 51, второй 52 и первый 53 элементы И, первый 54, второй 55 и третий 56 элементы ИЛЙ,второй и первый замыкающие элемента57 и 58 коммутации, второй и первыйразмыкающие элементы 59 и 60 коммутации, второй входной усилитель 61требования,...
Устройство для ретрансляции сигналов между каналом ввода вывода и внешними устройствами
Номер патента: 1249522
Опубликовано: 07.08.1986
Авторы: Верховцев, Нагорнов, Орлов
МПК: G06F 13/00
Метки: ввода, внешними, вывода, каналом, между, ретрансляции, сигналов, устройствами
...Да; и те.ь:Ого интерфейса сгкал.,р:ме тога, сигнал ТРБ-А из дополниРльг,ого 11.:;тсрфейса поступает ка вхои земск О 1: И 69 и 70 блока Рекима,первом . втаргм входах элемента1 бе уста;авлг:.ваются разрепяпп.е. знп дг,н прохождения сигналя ПавЬбаРС"., КСТСРЬПс С ВЦГСПЗэлеецта 1 ЛИ 71 устанавливается вРс;.;- РЕ СОСТОЧНИЕ ТРИГГЕР СП,т с с я ьпразрешается пр охажде циесигнала ББР-.К с выходя элемента 54)спз 11)уст.1 я сигнал устакавки сс) Д.КОР СаотСЯПИЕ тРИГГСРЯ .5,Зс эсИсСот"с ЧсЯЛИЧИЯ 11 Ч 1СТВ. Я ;,.: РЯВЯЕЕ 1 О Сигссалсс НЯ В.с ОДРПВ: Калнс 1 И ЭТОГО СИГНЯЛЯ триг;.5 1 гстгя:,:.яз.гп 1 няЕтСя В ЕпцКИЧНСЕссг-сянка 1 разрешает прохождекиесигнал: ВБР-.1( в дополцительнцц инт; в ,)Фейс., Псс.1 е снятия каналам сигна-ла ББР-К триггер 65...
Устройство для ретрансляции сигналов между каналом ввода вывода и внешними устройствами
Номер патента: 1513464
Опубликовано: 07.10.1989
Автор: Верховцев
МПК: G06F 13/00
Метки: ввода, внешними, вывода, каналом, между, ретрансляции, сигналов, устройствами
...поступает вместе с разрешающим сигналом с выхода элемента И 60 на входы элемента И 62, сигнал с выхода которого через элемент ИЛИ 58, усилитель 28 и выход 14 устройства выдается в канал сигналом "ВБР-А".Режим 3. В этом режиме выборка осуществляется по инициативе абонен 464та дополнительного интерфейса. Сигнал "ТРБ-А" поступает через вход21 устройства на усилитель 43, навход элемента ИЛИ 55, через усилитель 26 и выход 9 в канал. Крометого, сигнал "ТРБ-А" из дополнительного интерфейса, задержанный на элементе 54 задержки, при наличии разрешающих уровней на входах (нет сигнала "ВБР-К" на входе 11 и сигнала"ТРБ-А" на входе основного интерфейса) элемента И 70 к моменту приходасигнала "ВБР-К" на вход 11 устройства устанавливает в единичное...
Способ обеспечения надежного прохождения сигнала через электрические контакты и устройство для его осуществления
Номер патента: 650120
Опубликовано: 28.02.1979
МПК: H01H 47/00
Метки: контакты, надежного, обеспечения, прохождения, сигнала, электрические
...потока и 20сопротивлением контура.Разорвем теперь в двух точках контур ивновь восстановим (соединим) посредствомдвух пар электрических контактов 1. Тогдачерез точки контакта контактных пар будет 25протекать ток (далее он будет называтьсявспомогательным 1) и при достаточнойвеличине этого тока указанные контактныепары будут способны надежно коммутировать сигналы низкого и сверхнизкого уровня мощности,Разветвление тока сигнала можно осуществлять также в двух точках механическогоконтакта одной контактной пары (фиг. 3),причем обе точки механического контакта 35одповремепно должны принадлежать оооимэлементам контактной пары, как штырю,так и гнезду. Производится это посредством контактной пары с двусторонним контактом. 10Устройство для...
Предыдущий патент: Способ определения низких температур
Следующий патент: Подпятник
Случайный патент: Множительное устройство