Патенты с меткой «легирования»

Номер патента: 1786542

Опубликовано: 07.01.1993

Авторы: Карплюк, Новосядлый

МПК: H01L 21/66

Метки: доз, ионного, легирования, малых

...цель достигается тем, что вспособе определения малых доз ИЛ, включающем измерения неравновесных импульсных ВФХ предварительно легированнойтестовой МДП-структуры, предварительноелегирование тестовой структуры осуществляют ионной имплантацией примеси, создающей тип проводимости, противоположныйтипу проводимости подложки до концентра. ции, равной или большей концентрации.примеси в подложке, ВФХ измеряют на легированной контролируемой дозой примесии нелегированной частях тестовой структуры, прикладывая к тестовой структуре импульсы пилообразного напряжения соскоростью развертки 10 -10 В/с и с поляргностью, переводящей поверхность этойструктуры из состояния инверсии (обеднения) в состояние обогащения основныминосителями подложки...

Номер патента: 1794605

Опубликовано: 15.02.1993

Авторы: Глушенков, Рыбалко, Сычков, Хамурарь

МПК: B23H 9/00

Метки: легирования, электроискрового

...на открытие коммутатора 6 подается в тот момент, когда нагрузка 7 (МЭП)находится в разомкнутом состоянии и коммутатор 6 остается открытым до моментаразрядки накопителя 5. Разряд накопителя5 наступает при пробое через газовый промежуток на нагрузке 7 (МЭП) в момент достижения его сопротивления критическойвеличины пробоя.Устройство для электроискрового легирования, выполненное в качестве примераконкретного выполнения фиг. 3, содержит вкачестве понижающего трансформатора 1,выпрямителя 2 и накопителя (емкость) 3 -блок питания (1,2,3) в качестве коммутаторов 4 и 6 использованы оптотиристоры, вкачестве времязадающих блоков 9 и 10 использовались цепочки временной задержкисостоящие из резистора 17,21 и емкости16,20 с коммутатором на...

Номер патента: 1802827

Опубликовано: 15.03.1993

Авторы: Андреев, Богатов, Кудряшов, Левашов, Питюлин, Шевелева

МПК: B23H 1/06, C22C 29/06

Метки: легирования, материал, шихта, электродный, электроискрового

...тем инициируют реакцию горения. По брикету пробегает волна горения со скоростью 1-10 см/с, После этого продуктысинтеза,1802827 Использование заявляемого изобретения позволяет увеличить стойкость режущего инструмента и штамповой оснастки,работающих в агрессивных средах, в 4-55 раз,Формула изобретения1, Электродный материал для электроискрового легирования, содержащий карбидтитэна и карбид тантала, о т л и ч а ю щ и й с я тем,10 что, с целью повышения износостойкости икоррозионной стойкости, он дополнительносодержит молибден и титан при следующемсоотношении компонентов, мас, :Карбид титана, 15-2515 Карбид тантала 40-60Титан 15-28Молибден 9-20 2. Шихта для получения электродного 20 материала для электроискрового легирования в режиме...

Номер патента: 1803297

Опубликовано: 23.03.1993

Автор: Борисов

МПК: B23H 9/00

Метки: легирования, электроэрозионного

...электрод тиристора 14 и на коллектор транзистора 38, а через делитель на резисторах39, 42 и диод 41 на базу транзистора 38.Транзистор 38 открывается. Например, снимаемое с эмиттера транзистора 38, черезрезистор 44 подается на управляющий электрод тиристора 10Тиристоры 8, 10, 12,.14 отпираются,При разомкнутом межэлектродном промежутке 17 - 18 по цепи: "плюс" выпрямите 30 ля 5, ограничительный резистор 7, тиристор8, обкладки накопительного конденсатора9, тиристор 10, общий "минус" выпрямителей 4, 5, 6 происходит заряд накопительногоконденсатора 9. После заряда накопитель 35 ного конденсатора 9 до потенциала источ. ника тиристор 10 запирается,Аналогично заряжается накопительныйконденсатор 13 по цепи; "плюс" выпрямителя 6,...

Номер патента: 1813029

Опубликовано: 30.04.1993

Авторы: Гадицкий, Кондренко, Олейник, Шушура

МПК: B23H 9/00

Метки: легирования, механизированного, электроэрозионного

...до касания с деталью 1 и устройство настраивается так, чтобы ось Уо-Уо рамы 3 проходила касательно к детали через точку контакта электрода с деталью (точка К), что осуществляется поворотом рамы 3 вокруг оси Х - Х державки 2 и контролируется через сквозное отверстие в оси рамы , Корпус 5 с вибратором 9 имеет возмокность поворачиваться вокруг оси Х 0 - Х 0 под действием инерционных сил, вызываемых вибрационными колебаниями с частотой 50 Гц электрода 16 вместе с электрододержателем вибратора, а также под действием неуравновешенной массы устрбйства, центр тяжести которого смещен в сторону детали от оси качания корпуса (ось Х 0 - Х 0). Между рычагом б, жестко связанным с корпусом, и опорной планкой 11, жестко закрепленной на качающейся оси...

Номер патента: 1815043

Опубликовано: 15.05.1993

Авторы: Верхотуров, Кучеренко, Мулин

МПК: B23H 9/00

Метки: вращения, легирования, тел, типа, электроэрозионного

...следующим образом,Вначале запускается привод вращения(не показан) обрабатываемой детали 3. Примем для определенности, что деталь 3 вра щается против часовой стрелки. Включаетсявращение дискового электрода по часовойстрелке, вращение электродвигателя 9 сошкивом,откоторого через клиноременную передачу вращения передается шпиндель ной втулке со шкивом 12, пустотельномушпинделю 13,шлифовальному кругу 15. Ве: личина прижатия (натяг) шлифовальногокруга 15 к поверхности дискового электрода регулируется положением упора 18 с изно состойким слоем с помощью микрометрической гайки 23. При подаче из бункера б порошкового материала в зазор между деталью 3 и дисковым электродом и включении подачи дискового электрода 4 вдоль оси 35 детали (условно...

Номер патента: 1821300

Опубликовано: 15.06.1993

Автор: Тарасов

МПК: B23H 7/26, B23H 9/00

Метки: легирования, электроэрозионного

...упругими и прочностными свойствами - с противоположной стороны. Концентрация силового высокочастотного тока вблизи зазора между индуктором 7 и электрододержателем 2 повышает магнитную связь между ними.и силу импульсного 10 механического воздействия на электрододержатель при прочих равных условиях Покрытие на плоских поверхностях электрододержателей 2 и витках 8 может быть выполнено наплавкой, пайкой, термо-, диффузионным спеканием и другими методами, обеспечивающими надежную механическую связь покрытия с подложкой.К источнику силового импульсного тока питания индукторов не предъявляется особых 20 требований, возможно его выполнение на тиратронах, игнитронах, тригатронах и т.д., известных в технике силовых токов генераторов...

Номер патента: 1830393

Опубликовано: 30.07.1993

Авторы: Зиатдинов, Максимов, Тугутов

МПК: C22C 1/04, C22C 33/00

Метки: борсодержащих, композиционных, легирования, сплавов, сталей

...боридаобразующих металлов О-ЧИ групп в сплавах ограничено значениями 15% и 88%, В смесях, где сплавы содержат менее 15% металлов ГЧ - ЧИ, реакцию горения не удается осуществить даже при высоких скоростях газового потока. Применение сплавоо, содержащих более 88% боридообразующих металлов, увеличивает производительность процесса, но не дает эффекта удешевления, т.к,затраты, связанные с получением таких сплавов и последующее их измельчение чаще всего превосходят стоимость порошков чистых металлоо,Пример: получение композиционнога материала Т-В-Ге, В качестве исходных материалоо используют промышленные сплавы; ферробар марки ФБ 20 (ГОСТ 14849-69) и ферротитан марки ФТи 65 (ГОСТ 4761-80), которые измельчают в порошок с размером частиц...

Номер патента: 1834759

Опубликовано: 15.08.1993

Автор: Фотеев

МПК: B23H 1/00, B23H 9/00

Метки: более, легирования, легкоплавкими, материалами, стальных, электроэрозионного

...эксплуатационных свойств обрабатываемой детали.Таким образом, предлагаемый способэпектроэрозионного легирования обеспечивает следующие преимущества:1. Для ЭЭЛ не требуется сложнопрофильного электрода-инструмента. В качестве электрода-инструмента могут бытьиспользованы пластина, стержень, брусок,что снижает себестоимость легирования.2, В связи с простой формой электродаинструмента возможно и целесообразно насыщать обрабатываемую поверхностьвсеми доступными элементами, способствующими повышению стойкости детали и входящими, в состав электрода-инструмента.Высокая эффективность изменения эксплуатационных свойств наблюдается приобеспечении переноса материала электрода-инструментэ в жидком состоянии, прикотором существенно...

Номер патента: 683397

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Глущенко, Косенко, Лапунин, Плохих

МПК: H01L 21/22

Метки: бором, диффузии, золотом, источник, кремния, легирования, одновременного

...кварцевые подложки 1 и 2 наносят борный ангидрид. После отжига в аргоне при 940 С в течение 2 ч происходит стекло образование, в результате чего на подложках образуются слои 3 боросиликатного стекла. На боросиликатные слои 3 наносят слои 4 золота при давлении 5 10 мм рт.ст, 5 в течение 20-25 с.Расстояние от испарителя до подложки70 мм, навеска золота весит 40 мг, Толщинанапыленных слоев золота составляет 0,05- 0,1 мм, После напыления золота подложку 10 отжигают в течение 20 мин при 940 С. Легирование ведут в открытой кварцевой трубе 5 в потоке аргона.Температура диффузии 940 + 1 С, время легирования 20 - 40 мин, Расход аргона 40 - 50 л/ч при диаметре трубы 58 мм, Пластины 6 кремния со вскрытыми окнами под базовое легирование...

Номер патента: 2002337

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Зорина, Иванов, Кудрявцева, Кулик

МПК: H01L 21/22

Метки: легирования, плазменного, подложек, полупроводниковых

...требованием получения равномерной воронки в зоне слияния плазменных струй. Примесь в газообразном состоянии по трубе вводится в зону слияния струй. В среде плазмы, нагретой до температуры 10 К, осуществляется полная диссоциация, активация и частичная ионизация газов плазменного потока и материала примеси. При соударении этого потока с поверхностью подложки под действием температурных и ионизационных факторов происходит одновременное осаждение и внедрение легирующей примеси в подложку с образованием тонкого легированного слоя. Затем прекращают подачу примеси и продолжают обрабатывать подложку при пересечении ей плазменного потока по меньшей мере один Раз, осуществляя тем самым дальнейшее внедрение примеси и плазменный отжиг. В...

Номер патента: 2004599

Опубликовано: 15.12.1993

Авторы: Ишметьев, Логийко, Михалев, Никифоров, Никулин, Уваровский, Швецов

МПК: C21C 7/00

Метки: легирования, расплава, смесь

...Кроме того, при взаимодействии пентаоксида ванадия с восстановителем образуется до 70 от массы легирующей смеси жидкого безжелеэистого шлака, который рафинирует расплав от серы и неметаллических включений, значительно повышая качество легируемой стали,Введение в состав легирующей смеси менее 40 технического пентаоксида ванадия снижает степень усвоен я ванадия металлом, а также уменьшает общее количество и удельную рафинирующую способность жидкого беэкелезистого шлака. Содержание в смеси более 60 технического пентаоксида ванадия также понижает степень усвоения ванадия жидкой сталью, а недовосстановленные оксиды ванадия ухудшают рафинирующие свойства жидкого безжелеэистого шлака, Все это приводит к снижению качества легируемой...

Номер патента: 1028203

Опубликовано: 15.03.1994

Авторы: Орешкин, Петров, Селляхова, Сурис, Фетисов, Фукс, Хафизов

МПК: H01L 21/66

Метки: легирования, полупроводника, профиля

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОФИЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКА компенсирующей примесью, включающий подачу на полупроводник постоянного напряжения и гармонического сигнала, измерение импеденса полупроводника и расчет профиля легирования, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности способа путем расширения пространственной области определения профиля легирования без нарушения целостности образца, величину постоянного напряжения U и амплитуду гармонического сигнала U выбирают в соответствии с условиямиU > ; U <

Номер патента: 1347794

Опубликовано: 30.03.1994

Авторы: Гальцев, Глущенко, Душкин

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузионного, источника, легирования

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИСТОЧНИКА ДИФФУЗИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ , включающий теpмическую обpаботку пластин нитpида боpа в окисляющей сpеде, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности источника диффузионного легиpования, на пластины нитpида боpа наносят слой двуокиси кpемния и последующую теpмическую обpаботку пpоводят до полного пеpехода слоя двуокиси кpемния в каплевидные фоpмы боpсиликатного стекла пpи 1000 - 1200oС.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что слой двуокиси кpемния наносят толщиной 0,5 - 1,5 мкм.

Номер патента: 1783930

Опубликовано: 30.05.1994

Автор: Кремнев

МПК: H01L 21/26

Метки: легирования, полупроводников

СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ, включающий нанесение на поверхность полупроводника источника примеси, размещение полупроводника на одном электроде, нагревание полупроводника, приложение между электродами напряжения постоянного тока, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества полупроводников за счет снижения дефектности их кристаллической решетки, обеспечения возможности введения примеси на любую глубину и взрывобезопасности способа, полупроводник размещают на плоском электроде, нагревание осуществляют до 300 - 800oС, напряжение прикладывают в течение времени, необходимого для получения требуемой глубины легирования, а величину напряжения выбирают из условия обеспечения зажигания коронного заряда.

Номер патента: 676001

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Бирюков, Поволоцкий, Рощин

МПК: C21C 7/00

Метки: брикета, легирования, переплаве, состав, стали, электрошлаковом

СОСТАВ БРИКЕТА ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ СТАЛИ ПРИ ЭЛЕКТРОШЛАКОВОМ ПЕРЕПЛАВЕ, содержащий окислы титана, алюминиевый порошок, металлический титан и жидкое стекло, отличающийся тем, что, с целью повышения извлечения титана из его окислов и снижения стоимости стали, он дополнительно содержит фтористый кальций и калиевый хромпик, а в качестве окислов титана - ильменитовый концентрат при следующем соотношении компонентов, мас.%:Алюминиевый порошок 25 - 40Ильменитовый концентрат 40 - 55Металлический титан 0,5 - 10Фтористый кальций 5 - 15Калиевый хромпик 0,5 - 1,5Жидкое стекло 0,5 - 5

Номер патента: 1400123

Опубликовано: 20.04.1995

Авторы: Беляева, Кузнецов, Куликов, Лобынцев, Растегаев, Старков

МПК: C22C 35/00

Метки: легирования, лигатура, магнитов, постоянных, раскисления, сплавов

ЛИГАТУРА ДЛЯ РАСКИСЛЕНИЯ И ЛЕГИРОВАНИЯ СПЛАВОВ ДЛЯ ПОСТОЯННЫХ МАГНИТОВ, содержащая кремний, марганец и ниобий, отличающаяся тем, что, с целью повышения окалиностойкости и магнитных свойств, она дополнительно содержит гафний при следующем соотношении компонентов, мас.Кремний 15 25Марганец 15 40Ниобий 15 30Гафний Остальное

Номер патента: 1820632

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Арсентьев, Бельченко, Зайцев, Наконечный, Петров, Романенко, Саванин, Табунщиков, Шупенко

МПК: C22C 35/00

Метки: легирования, прямого, смесь, стали

...состав, мас,% МПО 57 61; Я 0215 16;СаО 1 - 19; М 90 3-4; остальное- примеси, иеучаствующие в реакциях. М(елезокремниевый сплав состоял из Я 20%, Ре 79,6%,примеси 0,4% (1); Я 30%; Ре 69,5 , примеси0,5% (2); Я 40%, Ге 59,4%, примеси 0,6% (3).Смесь, соответствующую прототипу, изготавливали с использованием сплава алюминия и кремния с марганцем и железом,марганцевого флотоконцентрата и доломита, Все компоненты дробили до фракции10-15 мм,Плавки с использованием легирующихсмесей проводили в индукционной печиИСТ - 0,06 садкой 60 кг, В качестве металлошихты использовали металл следующего химического состава, мас.%: С 0,03. - 0,05; Мп0;03 - 0,6; Я 0,024 - 0,026; Р 0,003 - 0,006. Дляраскислеиия и легирования стали кремниемв нее вводили...

Номер патента: 1552665

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Грибанов, Рощин, Эпов

МПК: C22B 5/00

Метки: высокоактивными, легирования, металлов, элементами

1. СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ МЕТАЛЛОВ ВЫСОКОАКТИВНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ, включающий расплавление металла в футерованном тигле, содержащем легирующие элементы в связанном виде, с последующим их восстановлением и переходом в расплав, отличающийся тем, что, с целью повышения качества металла за счет исключения загрязнения его восстановителем, восстановление легирующих элементов осуществляют из футеровки с анионной проводимостью, а восстановитель размещают со стороны, противоположной контакту футеровки с расплавом.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью регулирования скорости легирования, между восстановителем и легируемым расплавом замыкают электрическую цепь с регулируемой величиной сопротивления.3. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся...

Номер патента: 1492596

Опубликовано: 27.11.1995

Авторы: Аганаев, Бильтуев, Бородин, Муруев

МПК: B23K 26/00

Метки: инструмента, кромки, лазерного, легирования, режущей

СПОСОБ ЛАЗЕРНОГО ЛЕГИРОВАНИЯ РЕЖУЩЕЙ КРОМКИ ИНСТРУМЕНТА, при котором на обрабатываемую поверхность наносят легирующий материал в виде обмазки и воздействуют на нее лазерным излучением, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости путем увеличения теплоотвода и увеличения КПД путем локализации плазмы в зоне обработки, на обмазку дополнительно наносят легкоплавкий сплав, а облучение лазерным излучением осуществляют параллельно обрабатываемой поверхности через капиллярный слой жидкости и стекло, нагревая поверхность до температуры, равной зернограничному плавлению материала инструмента.

Номер патента: 1552485

Опубликовано: 27.11.1995

Авторы: Агапаев, Бильтуев, Бородин, Урмакшинов

МПК: B23K 26/00

Метки: лазерного, легирования, металлов

СПОСОБ ЛАЗЕРНОГО ЛЕГИРОВАНИЯ МЕТАЛЛОВ, при котором процесс ведут сфокусированным лазерным излучением, пропускаемым на металл через стекло и капиллярный слой жидкости, с нагревом поверхности металла до температуры зернограничного его плавления, отличающийся тем, что, с целью уменьшения энергозатрат и повышения производительности, в качестве капиллярного слоя берут раствор ацетилена в ацетоне при объемном соотношении (1 25) 1, а процесс ведут при удельной энергии лазерного излучения, на 5 20% ниже удельной энергии, соответствующей зернограничному плавлению металла.

Номер патента: 1782059

Опубликовано: 10.12.1995

Авторы: Арсентьев, Кологривова, Красильников, Марков, Наконечный, Шупенко

МПК: C22C 35/00

Метки: легирования, марганцем, смесь, стали

СМЕСЬ ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ СТАЛИ МАРГАНЦЕМ, содержащая соединение кальция, алюминий и оксидный марганецсодержащий материал, отличающаяся тем, что, с целью повышения десульфирующей способности при сохранении высокой восстановительной способности, она дополнительно содержит оксид алюминия, в качестве соединения кальция содержит оксид кальция, а в качестве оксидного марганецсодержащего материала обесфосфоренный марганцевый химический концентрат при следующем соотношении компонентов, мас.Оксид алюминия 11 13Оксид кальция 43 45Обесфосфоренный марганцевый химический концентрат 30 34

Номер патента: 1678055

Опубликовано: 20.01.1996

Авторы: Адилов, Артемьев, Дьяков, Сударенко, Сулацков, Сулимов

МПК: C21C 5/54

Метки: легирования, молибденом, никелем, синтетического, сплава, сталей, шлака

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНТЕТИЧЕСКОГО ШЛАКА И СПЛАВА ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ СТАЛЕЙ НИКЕЛЕМ И МОЛИБДЕНОМ, включающий ввод в агрегат углеродистой шихты и ферросплавов, расплавление, ввод на расплав извести и глиноземсодержащего материала и их плавление, отличачающийся тем, что, с целью снижения расхода ферросплавов и повышения пластических свойств обрабатываемой стали, в качестве глиноземсодержащего материала используют отработанный катализатор нефтеперерабатывающей промышленности, который вводят в агрегат при соотношении расходов отработанного катализатора и металлического расплава, равным (0,12-0,25):1.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют отработанные катализаторы нефтеперерабатывающей промышленности, содержащие,%:Оксид...

Номер патента: 1828717

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Елисеев, Кузнецов, Старостин

МПК: H01L 21/265

Метки: группового, ионного, легирования, пластин, полупроводниковых

УСТАНОВКА ГРУППОВОГО ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащая систему вертикального электростатического сканирования ионного пучка, барабан для размещения полупроводниковых пластин на его боковой поверхности, установленной с возможностью вращения вокруг своей оси и маску с окном, расположенную между системой вертикального сканирования и боковой поверхностью барабана, отличающаяся тем, что, с целью расширения области применения, окно в маске выполнено в виде щели, имеющей переменную в вертикальном направлении ширину.

Номер патента: 1387435

Опубликовано: 27.04.1996

Авторы: Жаворонков, Колпаков, Пак, Синельников, Югов

МПК: C21C 5/54, C21C 7/076

Метки: легирования, смесь, стали, шлакометаллическая

ШЛАКОМЕТАЛЛИЧЕСКАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ СТАЛИ, содержащая металлический алюминия, окисел легирующего элемента, окись кальция и флюорит, отличающаяся тем, что, с целью повышения степени перехода фосфора в сталь и рафинирующей способности смеси, в качестве материала, содержащего окисел легирующего элемента фосфора и окись кальция, используют апатит, а в качестве флюоритсодержащего материала применяют отходы переработки слюдисто-флюоритовых руд при следующем соотношении компонентов, мас.Металлический алюминий 32 37Апатит 36 42Отходы переработки слюдисто-флюоритовых руд Остальное

Номер патента: 1769462

Опубликовано: 10.02.1997

Авторы: Бабинцев, Богданов, Вохмянин, Семеновских, Шитов

МПК: B23H 9/00

Метки: легирования, токопроводящих, электроэрозионного

Способ электроэрозионного легирования токопроводящих материалов, при котором электроду-инструменту задают колебания ультразвуковой частоты, фиксируют контакт электрода с деталью и с заданной частотой подают импульсы технологического тока в интервалах между последовательными контактированиями электрода с деталью, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет уменьшения шероховатости поверхности, повышения производительности процесса и воспроизводимости результатов, перед импульсами технологического тока осуществляют подачу импульсов тока возбуждения, при этом в пределах одного периода ультразвуковых колебаний импульс тока возбуждения начинают в момент контакта электрода с деталью и заканчивают после подачи импульса...

Номер патента: 1149641

Опубликовано: 10.09.1999

Авторы: Верхотуров, Егоров, Ипполитов, Карюк, Подчерняева, Сухих, Чиплик

МПК: C22C 29/14, H01H 1/02

Метки: борида, легирования, материал, металла, основе, порошковый, стали, тугоплавкого, электродный, электроискрового

Порошковый электродный материал на основе борида тугоплавкого металла для электроискрового легирования стали, содержащий никель, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости легированного слоя, эффективности процесса легирования и снижения стоимости, он дополнительно содержит алюминий, а в качестве борида тугоплавкого металла - диборид титана при следующем соотношении компонентов, мас.%:Никель - 11 -34Алюминий - 2 - 6Диборид титана - Остальное

Номер патента: 686542

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Максимов, Марончук, Пухов

МПК: H01L 21/22

Метки: легирования, полупроводниковых, соединений, типа

Способ легирования полупроводниковых соединений типа AIII BV, преимущественно арсенида галлия и фосфида галлия, основанный на диффузии из жидкой фазы, содержащей легирующий элемент, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества диффузионных слоев и упрощения процесса, диффузию проводят из насыщенного относительно материала подложки раствора-расплава арсенида - фосфида галлия.

Номер патента: 1452399

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Герасименко, Мясников, Ободников, Юрков

МПК: H01L 21/268

Метки: кремния, легирования, поликристаллического, слоя

Способ легирования слоя поликристаллического кремния, включающий внедрение ионов легирующей примеси и импульсный отжиг некогерентным источником света, отличающийся тем, что, с целью уменьшения поверхностного сопротивления слоя и увеличения его стабильности при последующих термических обработках, перед внедрением ионов легирующей примеси проводят отжиг слоя поликристаллического кремния в потоке инертного газа в диапазоне температур 950-1100oC в течение 10-45 мин.

Номер патента: 1616419

Опубликовано: 10.06.2000

Автор: Нисневич

МПК: H01L 21/22

Метки: кремния, легирования, мышьяком, пленкообразующий, раствор

Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком, содержащий тетраэтоксисилан, этиловый спирт, ортомышьяковую кислоту и катализатор, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности поверхностного сопротивления и снижения разброса по глубине диффузионных слоев толщиной до 8 мкм, раствор дополнительно содержит воду, а в качестве катализатора используют азотную или соляную кислоты при следующем количественном соотношении компонентов, об.%:Тетраэтоксисилан - 16,0 - 26,0Этиловый спирт - 61,3 - 73,9Ортомышьяковая кислота - 3,1 - 6,8Азотная (соляная) кислота - 0,5 - 1,4Вода - 4,5 - 6,5