Селляхова
Способ определения профиля легирования полупроводника
Номер патента: 1028203
Опубликовано: 15.03.1994
Авторы: Орешкин, Петров, Селляхова, Сурис, Фетисов, Фукс, Хафизов
МПК: H01L 21/66
Метки: легирования, полупроводника, профиля
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОФИЛЯ ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКА компенсирующей примесью, включающий подачу на полупроводник постоянного напряжения и гармонического сигнала, измерение импеденса полупроводника и расчет профиля легирования, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности способа путем расширения пространственной области определения профиля легирования без нарушения целостности образца, величину постоянного напряжения U и амплитуду гармонического сигнала U выбирают в соответствии с условиямиU > ; U <