Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1616419
Автор: Нисневич
Описание
Тетраэтоксисилан - 16,0 - 26,0
Этиловый спирт - 61,3 - 73,9
Ортомышьяковая кислота - 3,1 - 6,8
Азотная (соляная) кислота - 0,5 - 1,4
Вода - 4,5 - 6,5
Заявка
4431379/25, 30.05.1988
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Нисневич Я. Д
МПК / Метки
МПК: H01L 21/22
Метки: кремния, легирования, мышьяком, пленкообразующий, раствор
Опубликовано: 10.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1616419-plenkoobrazuyushhijj-rastvor-dlya-legirovaniya-kremniya-myshyakom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком</a>
Предыдущий патент: Способ регулирования инвертора электропередачи постоянного тока
Следующий патент: Устройство фильтро-компенсирующей цепи передачи постоянного тока
Случайный патент: Прибор для прошивания прямой кишки при ее резекции у сельскохозяйственных животных