Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком

Номер патента: 1616419

Автор: Нисневич

Описание

Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком, содержащий тетраэтоксисилан, этиловый спирт, ортомышьяковую кислоту и катализатор, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности поверхностного сопротивления и снижения разброса по глубине диффузионных слоев толщиной до 8 мкм, раствор дополнительно содержит воду, а в качестве катализатора используют азотную или соляную кислоты при следующем количественном соотношении компонентов, об.%:
Тетраэтоксисилан - 16,0 - 26,0
Этиловый спирт - 61,3 - 73,9
Ортомышьяковая кислота - 3,1 - 6,8
Азотная (соляная) кислота - 0,5 - 1,4
Вода - 4,5 - 6,5

Заявка

4431379/25, 30.05.1988

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Нисневич Я. Д

МПК / Метки

МПК: H01L 21/22

Метки: кремния, легирования, мышьяком, пленкообразующий, раствор

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1616419-plenkoobrazuyushhijj-rastvor-dlya-legirovaniya-kremniya-myshyakom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком</a>

Похожие патенты