Чистяков

Способ изготовления кремниевых эпитаксиальных структур

Загрузка...

Номер патента: 1840260

Опубликовано: 10.09.2006

Авторы: Кокин, Любимов, Чистяков, Манжа, Басов

МПК: H01L 21/18

Метки: кремниевых, структур, эпитаксиальных

Способ изготовления кремниевых эпитаксиальных структур, включающий создание в кремнии р-типа проводимости областей n-типа проводимости, легирование поверхности акцепторной примесью, окисление, вскрытие в окисле окон и эпитаксиальное наращивание в атмосфере водорода, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик структур, легируют поверхность акцепторной примесью между областями n-типа проводимости до уровня концентрации в 3-8 раз меньшего уровня, при котором имеют место канальные утечки под окислом кремния после эпитаксиального наращивания в атмосфере водорода, и после эпитаксиального наращивания структуру отжигают в атмосфере инертного газа, преимущественно азота, при температуре на 100°С больше и на...

Импульсный измеритель скорости изменения давления

Загрузка...

Номер патента: 1223719

Опубликовано: 10.06.2006

Авторы: Бровкин, Писарев, Чистяков, Сафонов

МПК: G01L 11/00

Метки: давления, импульсный, изменения, измеритель, скорости

Импульсный измеритель скорости изменения давления, содержащий датчик перепада давления, распределительное устройство, состоящее из задающего генератора и формирователя импульсов опроса, первое, второе и третье устройство выборки и хранения, электропневмоклапан обнуления, включенный пневматически параллельно датчику перепада давления, первый и второй компараторы, выходы которых подсоединены к выходу датчика перепада давления, формирователь импульса запрета, первый и второй выходы которого подсоединены к выходам первого и второго компараторов, а выход - к управляющему входу третьего устройства выборки и хранения, и формирователь импульса запуска, вход которого соединен с выходом первого...

Устройство для увлажнения воздуха

Загрузка...

Номер патента: 801435

Опубликовано: 10.04.2006

Авторы: Слотин, Чистяков, Гуслянников

МПК: B64D 13/06, F24F 6/00

Метки: увлажнения, воздуха

Устройство для увлажнения воздуха, содержащее фитильный материал, заключенный между гофрированными сетками, собранными в пакет, размещенный в кожухе с входным и выходным коллекторами, сообщающимся с резервуаром, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик устройства, оно снабжено статическим завихрителем и теплообменником, выполненным в виде расположенных по окружности теплопроводных трубок, установленными во входном коллекторе кожуха, при этом выход статического завихрителя расположен в полости теплообменника, а гофрированные сетки с фитильным материалом размещены в кожухе с образованием двух полуцилиндров, через стыки которых концы фитильного материала по...

Устройство для крепления втулки штока

Загрузка...

Номер патента: 1280974

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Урбанюк, Ворожев, Тихомиров, Кривошеев, Чистяков

МПК: F16J 7/00, F25B 9/00

Метки: втулки, крепления, штока

Устройство для крепления втулки штока, например штока компрессора регенеративной газовой холодильной машины, содержащее опору, установочную шайбу и прижимную гайку, отличающееся тем, что, с целью устранения заедания штока при малых зазорах между ним и втулкой, опора и примыкающая к ней поверхность втулки имеют сферическую форму, между прижимной гайкой и втулкой установлен уплотняющий элемент из эластичного материала, а между внутренним торцом гайки и буртом втулки предусмотрен гарантированный зазор для обеспечения возможности шарнирного качания втулки и поперечного перемещения ее вместе с опорой.

Поршневое уплотнение

Загрузка...

Номер патента: 1269621

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Ворожев, Кривошеев, Урбанюк, Чистяков, Тихомиров, Казаков

МПК: F25B 9/00, F16J 15/26

Метки: поршневое, уплотнение

Поршневое уплотнение, например, для компрессоров газовых холодильных машин, с разрезными кольцами, установленными в канавках боковой поверхности поршня, отличающееся тем, что, с целью уменьшения выброса масла в пространство над поршнем и повышения холодопроизводительности машины, боковая поверхность поршня имеет цилиндро-коническую форму с двумя последовательными коническими участками, вершины конусов у которых обращены в сторону, противоположную картеру компрессора.

Устройство для уплотнения штока

Загрузка...

Номер патента: 1269620

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Кривошеев, Тихомиров, Урбанюк, Чистяков, Казаков, Ворожев

МПК: F16J 15/56, F25B 9/00

Метки: штока, уплотнения

Устройство для уплотнения штока, например штока компрессора регенеративной газовой холодильной машины, в направляющей втулке, отличающееся тем, что, с целью уменьшения выброса масла в рабочее пространство и увеличение периода непрерывности работы, внутренняя поверхность втулки имеет три последовательно расположенных участка: цилиндрический со стороны картера компрессора с радиальным зазором порядка 1-3 мкм между втулкой и штоком, конический с углом при вершине конуса порядка 30'-1°30' для создания гидродинамического давления масла в направлении к картеру и цилиндрический с радиальным зазором порядка 25-40 мк для разделения масляных пленок на штоке и втулке, а по длине...

Регенератор для газовых холодильных машин

Загрузка...

Номер патента: 1269619

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Ворожев, Кривошеев, Тихомиров, Урбанюк, Чистяков

МПК: F25B 9/00

Метки: газовых, холодильных, регенератор, машин

Регенератор для газовых холодильных машин, содержащий насадку из тонкой проволоки высокой теплопроводности, отличающийся тем, что, с целью улучшения теплообмена между газом и насадкой путем равномерного распределения через последнюю газового потока, перед насадкой установлен микроразмельчитель потока, выполненный в виде пакета мелкой сетки.

Центробежный газожидкостный сепаратор

Загрузка...

Номер патента: 811541

Опубликовано: 10.12.2005

Авторы: Горелов, Чистяков, Трянов

МПК: B01D 45/12

Метки: газожидкостный, сепаратор, центробежный

Центробежный газожидкостный сепаратор, содержащий корпус с размещенными внутри него рабочим колесом с подводом газожидкостной смеси к периферии и центральным отверстием для отвода газа, соединенным каналами с периферией рабочего колеса, и перфорированным барабаном, установленным на периферии рабочего колеса и имеющих канавки для сбора жидкости на внутренней его поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности сепарации за счет организованного сбора и отвода жидкости, осаждающейся на стенках каналов рабочего колеса, канавки расположены радиально и совмещены со стенками каналов рабочего колеса.

Двухконтурный газотурбинный двигатель

Загрузка...

Номер патента: 422296

Опубликовано: 27.11.2005

Авторы: Trjanov, Mikhajlov, Михайлов, Chistjakov, Kerenskij, Горелов, Чистяков, Керенский, Трянов, Чулошников

МПК: F02C 7/12, F02K 3/02

Метки: двигатель, двухконтурный, газотурбинный

Двухконтурный газотурбинный двигатель, содержащий расположенный во втором контуре теплообменник, входное устройство тракта охлаждаемой среды которого подключено к внутреннему газотурбинному контуру, а выходное - к распределительной полости системы охлаждения турбины, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности охлаждения элементов турбины, теплообменник выполнен в виде равномерно установленных по окружности радиальных секций, образованных расположенными одна над другой U-образными трубами, а входное и выходное устройства - в виде полых радиальных пилонов, из которых входной соединен с каналом вторичного воздуха камеры сгорания.

Выходное устройство трдд

Загрузка...

Номер патента: 766137

Опубликовано: 27.11.2005

Авторы: Chistjakov, Чистяков, Тетюшин, Tetjushin, Бобух

МПК: B64D 33/04

Метки: выходное, трдд

1. Выходное устройство ТРДД, содержащее реверсивное устройство с подвижным кольцевым капотом и стекатель пилона, отличающееся тем, что, с целью снижения веса, упрощения конструкции и повышения экономичности, устройство снабжено обтекателем со створками, установленными на капоте, а в стекателе пилона выполнен паз, при этом створки обтекателя закрывают паз на длине хода капота. 2. Выходное устройство по п.1, отличающееся тем, что устройство снабжено шарнирно установленными на задних кромках обтекателя капота створками с направляющими скосами и роликами, установленными на задних кромках стекателя пилона, и взаимодействующими с направляющими скосами.3. Выходное устройство по...

Реверсивное устройство трдд

Загрузка...

Номер патента: 766118

Опубликовано: 27.11.2005

Авторы: Chistjakov, Данильченко, Тетюшин, Чистяков, Tetjushin, Danil39;, Резник, Горелов, Бобух

МПК: F02K 1/54

Метки: реверсивное, трдд

1. Реверсивное устройство ТРДД, содержащее переднее силовое кольцо и заднее силовое кольцо, соединенные продольными ребрами, подвижный кольцевой капот с прикрепленными к нему шарнирами наружные створки, внутренние створки, шарнирно установленные на заднем силовом кольце, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, снижения веса и повышения надежности, устройство снабжено рычагами с роликами, соединенными шарнирно с наружными и внутренними створками, а в боковых стенках продольных ребер выполнены направляющие пазы, при этом ролики рычагов контактируют с направляющими пазами. 2. Реверсивное устройство по п.1, отличающееся тем, что рычаг выполнен в виде треугольной...

Тормозное устройство турбины

Загрузка...

Номер патента: 1692199

Опубликовано: 10.10.2005

Авторы: Чистяков, Горелов, Михайлов

МПК: F01D 21/02

Метки: турбины, тормозное

1. Тормозное устройство турбины, содержащее неподвижный барабан с пазами и вращающийся тормозной элемент, контактирующий при торможении с неподвижным барабаном, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности торможения, устройство снабжено элементом спуска и имеющими отверстия втулками, причем тормозные элементы установлены во втулках.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что элементы спуска выполнены в виде срезаемых штифтов, а тормозные элементы выполнены со сквозными каналами, причем штифты установлены в отверстиях втулок и каналах тормозных элементов.3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что элемент спуска выполнен в виде подпружиненного фиксатора, а...

Турбовинтовентиляторный двигатель

Загрузка...

Номер патента: 1407153

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Бобух, Гошев, Чистяков, Горелов, Резник, Михайлов

МПК: F02C 3/067

Метки: турбовинтовентиляторный, двигатель

1. Турбовинтовентиляторный двигатель, содержащий газогенератор с компрессором, соосный винтовентилятор с лопастями, силовую турбину, статор который снабжен окнами для прохода выхлопных газов, а винтовентилятор - концентрично расположенными наружными и внутренними обечайками, образующими кольцевой канал, сообщенный с окнами, и соединенными между собой при помощи полых стоек, причем внутренние обечайки снабжены стекателем, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, стойки выполнены с продольной сквозной щелью, а полость стоек подключена к компрессору. 2. Двигатель по п.1, отличающийся тем, что стойки выполнены в виде профиля рабочей лопатки турбины.

Силовая установка

Загрузка...

Номер патента: 1834199

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Резник, Михайлов, Чистяков, Чикалов, Горелов

МПК: B64D 29/06, F01P 11/08

Метки: силовая

1. Силовая установка, содержащая газотурбинный двигатель с газогенератором в обтекателе и с капотом винтовентилятора или вентилятора, пилон с полостями, маслобак и блоки воздухо-масляных теплообменников, отличающаяся тем, что, с целью снижения массы, габаритов и лобового сопротивления и повышения эффективности охлаждения масла, блоки теплообменников установлены в плоском туннеле перед пилоном вдоль его носка по длине, ограниченной обтекателем газогенератора и цилиндрической поверхностью с диаметром, равным диаметру среза сопла капота, причем туннель включает плоские воздухозаборник и выходной канал, направленный на носок пилона. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что выходной...

Газотурбинный двигатель

Загрузка...

Номер патента: 1517418

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Данильченко, Григор, Гасилин, Грибов, Чистяков, Резник, Филиппов

МПК: F01D 11/08

Метки: газотурбинный, двигатель

Газотурбинный двигатель, содержащий роторы компрессора и турбины, соединенные пустотелым валом, статор компрессора с ресивером, полым спрямляющим аппаратом, сообщающим внутреннюю полость ротора компрессора с системой регулирования радиальных зазоров, вращающуюся оболочку ротора компрессора, соединенную с пустотелым валом, кожух камеры сгорания, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем повышения эффективности теплообмена на последних ступенях компрессора при регулировании на них радиальных зазоров между ротором и статором, он снабжен дополнительным пустотелым валом и дополнительным кожухом, закрепленным на статоре компрессора и на кожухе камеры сгорания и установленным...

Турбовинтовентиляторный двигатель

Загрузка...

Номер патента: 1760964

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Резник, Горелов, Михайлов, Григор, Цыбизов, Чистяков

МПК: F02C 7/00

Метки: двигатель, турбовинтовентиляторный

Турбовинтовентиляторный двигатель, содержащий газогенератор, выхлопное сопло, закрепленное на опоре силовой турбины и винтовентилятор заднего расположения, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса работы, он снабжен кольцевым коллектором с форсунками, установленными между выхлопным соплом и лопастями винтовентилятора на диаметре, меньшем наружного диаметра сопла, и обтекателем, укрепленным одним концом на опоре силовой турбины, причем свободный торец обтекателя размещен в зоне комлей лопастей, при этом часть форсунок обращена в сторону комлей лопастей, а другая - к обтекателю.

Устройство для разъединения параллельных проводок системы управления летательным аппаратом

Загрузка...

Номер патента: 687752

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Масленников, Селезов, Чистяков

МПК: B64C 13/30

Метки: системы, разъединения, аппаратом, летательным, параллельных, проводок

Устройство для разъединения параллельных проводок системы управления летательным аппаратом, содержащее вал, соединенные с проводкой управления качалки, одна из которых подвижна относительно вала, а другая неподвижна и шарнирно соединена с замковым устройством, в котором зафиксирован рычаг подвижной качалки, и пиромеханизм, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности управления, на подвижной качалке шарнирно установлены звено с фигурным отверстием, соединенное шарнирно с тягой управления рулевыми поверхностями, и трехплечий рычаг, одним плечом посредством оси взаимосвязан с упомянутым звеном, а другим плечом зафиксирован в замковом устройстве, а третьим - посредством пружины...

Устройство для изменения передаточного отношения в механической системе управления летательным аппаратом

Загрузка...

Номер патента: 621152

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Константинов, Тихомиров, Авакян, Чистяков

МПК: B64C 13/28

Метки: аппаратом, передаточного, системе, изменения, механической, отношения, летательным

Устройство для изменения передаточного отношения в механической системе управления летательным аппаратом, содержащее входную качалку, одно из плеч которой соединено с механической проводкой от рычага управления, а второе – с приводом изменения передаточного отношения, и выходную качалку, связанную с проводкой к рулевой поверхности, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности и увеличения пределов изменения передаточного отношения, в него введены вспомогательная качалка, связанная с приводом изменения передаточного отношения, и -образное промежуточное звено, вершина которого связана тягами со вспомогательной и...

Устройство для разъединения проводки механической системы управления летательного аппарата

Загрузка...

Номер патента: 678821

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Масленников, Семенов, Чистяков

МПК: B64C 13/30

Метки: аппарата, системы, механической, летательного, проводки, разъединения

Устройство для разъединения проводки механической системы управления летательного аппарата, содержащее общий вал с установленными на нем качалками, одна из которых соединена с валом жестко, а другая - шарнирно, пиропистолет с пиропатроном, закрепленный на одной из качалок, и цилиндр со штоком и поршнем, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, оно имеет две оси с кулачками, на которых закреплена пружина, а шарнирно установленная качалка снабжена рычагом, фиксирующим ее между осями, причем оси установлены шарнирно на качалке, жестко соединенной с общим валом, а один из кулачков взаимодействует со штоком пиропистолета.

Узел навески привода рулевой поверхности летательного аппарата

Номер патента: 726780

Опубликовано: 27.11.2004

Авторы: Макарычев, Семенов, Тихомиров, Чистяков

МПК: B64C 13/28, B64C 9/02

Метки: навески, летательного, узел, привода, рулевой, поверхности, аппарата

Узел навески привода рулевой поверхности летательного аппарата, содержащий установленный в отверстии каркаса эксцентриковый ступенчатый болт, выполненный с поводком-фиксатором, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, соединение поводка-фиксатора с каркасом выполнено посредством фланца, установленного между поводком и каркасом и зафиксированного от проворота выступом, входящим в паз, выполненный на каркасе.

Загрузочное устройство механической системы управления летательным аппаратом

Номер патента: 782255

Опубликовано: 27.11.2004

Авторы: Макарычев, Чистяков, Тихомиров

МПК: B64C 13/46

Метки: загрузочное, системы, механической, летательным, аппаратом

Загрузочное устройство механической системы управления летательным аппаратом, содержащее качалку, соединенную с проводкой управления, и загрузочный цилиндр, в корпусе которого установлен шток с пружиной, отличающееся тем, что, с целью повышения безопасности полета и комфортности управления, корпус загрузочного цилиндра шарнирно соединен с одним из плеч качалки и смонтирован с возможностью поворота и продольного перемещения на неподвижной опоре, на которой шарнирно закреплен шток с пружиной.

Ранцевая система скафандра для работы в открытом космосе

Номер патента: 1781977

Опубликовано: 10.08.2004

Авторы: Шарипов, Ошеров, Абрамов, Родин, Емельянов, Кудрявцев, Чистяков

МПК: B64G 6/00, B64G 1/60

Метки: космосе, открытом, ранцевая, работы, скафандра

Ранцевая система скафандра для работы в открытом космосе, содержащая герметичный блок, электрофал связи с бортовыми системами космического корабля, агрегаты электрорадиооборудования и источник электропитания для автономной работы в космосе, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных и массогабаритных характеристик и повышения надежности системы путем использования электрофала при работе в непосредственной близости от выходного люка космического объекта и обеспечения работы на удалении от объекта без электрофала, она снабжена установленным под герметичным блоком и соединенным с ним посредством быстро-разъемного соединения негерметичным блоком, в полости которого размещены...

Стенд для испытаний газотурбинного двигателя или его элементов в условиях завихренного входного потока

Номер патента: 1267873

Опубликовано: 10.08.2004

Авторы: Чистяков, Гельмедов, Кравец

МПК: G01M 15/00, G01M 9/06

Метки: потока, испытаний, стенд, газотурбинного, завихренного, условиях, элементов, входного, двигателя

1. Стенд для испытаний газотурбинного двигателя или его элементов в условиях завихренного входного потока, содержащий входной патрубок с установленной в нем на силовых стойках вихревой трубой, внутри которой установлены лопатки, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей стенда по определению влияния вихря на входе в двигатель или его элементы на их устойчивость, входной патрубок выполнен из двух частей, подвижной и неподвижной, и снабжен приводом, причем вихревая труба установлена на подвижной части входного патрубка.2. Стенд по п.1, отличающийся тем, что между вихревой трубой и стенками подвижной части входного патрубка установлена сетка.

Электромагнитное дозирующее устройство

Номер патента: 1162116

Опубликовано: 20.07.2004

Авторы: Лаугис, Петтай, Чистяков, Оорн, Белоног, Семенов, Лойгом

МПК: B22D 39/00

Метки: электромагнитное, дозирующее

Электромагнитное дозирующее устройство, включающее основной и дополнительный магнитогидродинамические насосы, гидротракт, состоящий из напорного, циркуляционного и сливного патрубков, систему управления, трансформатор подогрева, открытую емкость, к которой подсоединены входной конец напорного и выходной конец циркуляционного патрубков, и фильтр, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы дозирующего устройства и экономии электроэнергии, фильтр выполнен рукавным и установлен в открытой емкости, при этом входной конец напорного и выходной конец циркуляционного патрубков соединены гидравлически через внутреннюю полость рукавного фильтра, а фильтр и гидротракт выполнены из...

Интегральный инвертор и способ его изготовления

Номер патента: 698454

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Кокин, Чистяков, Кремлев, Басов, Гладков, Манжа

МПК: H01L 27/12

Метки: инвертор, интегральный

1. Интегральный инвертор инжекционного типа, содержащий переключательный n-p-n-транзистор с эпитаксиальной базой и инжектирующий p-n-p-транзистор с инжектором-подложкой, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента усиления n-p-n- и p-n-p-транзисторов, эмиттеры n-p-n-транзистора выполнены в виде локальных n+ скрытых слоев, а под пассивной частью базы n-p-n-транзистора расположен высокоомный слой n-типа проводимости, служащий базой p-n-p-транзистора, толщина которого меньше диффузионной длины неосновных носителей заряда, и частично перекрывающий локальный n+ скрытый слой.2. Способ изготовления интегрального инвертора по п.1, включающий операции...

Способ изготовления полупроводниковых транзисторных структур

Номер патента: 745297

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Любушкин, Назаров, Чистяков, Манжа, Лукасевич, Кокин

МПК: H01L 21/18

Метки: полупроводниковых, транзисторных, структур

Способ изготовления полупроводниковых транзисторных структур, включающий создание коллектора, базы, травление в маскирующем диэлектрике эмиттерных окон, осаждение легированной поликристаллической пленки кремния, формирование из пленки мезы, внахлест маскирующей эмиттерное окно, создание эмиттерного p-n-перехода, формирование внутрисхемной разводки, отличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости характеристик транзисторных структур и увеличения процента выхода годных, перед осаждением легированной поликристаллической пленки кремния в эмиттерных окнах проводят предварительное подлегирование примесью того же типа проводимости, что и пленки поликристаллического кремния.

Электролит для анодного оксидирования кремния

Номер патента: 602054

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Шкиров, Палиенко, Волкова, Чистяков, Милешко

МПК: H01L 21/306

Метки: анодного, кремния, оксидирования, электролит

Электролит для анодного оксидирования кремния, содержащий этиленгликоль и ортофосфорную кислоту, отличающийся тем, что, с целью легирования оксидной пленки кремния второй примесью - компенсатором, он дополнительно содержит ортомышьяковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об.%:Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 - 15Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,01 - 0,1Этиленгликоль - Остальное

Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии

Номер патента: 599667

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Чистяков, Палиенко, Шкиров, Бредихин, Волкова, Милешко

МПК: H01L 21/306

Метки: электролит, пленки, кремнии, легированной, оксидной

Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной оксидной пленки как источника диффузии для формирования слоев p-типа в кремнии, в его состав дополнительно введена ортомышьяковая кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%:Борная кислота - 5 - 15Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,3Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,001 - 0,01Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования оксидной пленки кремния мышьяком

Номер патента: 682055

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Ломакина, Бредихин, Милешко, Чистяков

МПК: H01L 21/469

Метки: электролит, легирования, оксидной, мышьяком, пленки, кремния

Электролит для легирования окисной пленки кремния мышьяком, содержащий азотную кислоту и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости результатов легирования и увеличения срока годности электролита, дополнительно он содержит ортомышьяковую кислоту, а компоненты взяты в следующем соотношении, об.%:Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 4 - 5Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,5 - 10Этиленгликоль - Остальное

Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором

Номер патента: 616893

Опубликовано: 10.04.2001

Авторы: Бредихин, Волкова, Нагучев, Милешко, Чистяков

МПК: H01L 21/228

Метки: пленки, электролит, легирования, кремния, оксидной, бором

Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств электролита, в его состав дополнительно введен гольмий азотнокислый при следующем соотношении компонентов, мас.%:Борная кислота - 5 - 15Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,15 - 0,35Гольмий азотнокислый (пятиводный) - 0,3 - 0,6Этиленгликоль - Остальное