Интегральный инвертор и способ его изготовления
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
2. Способ изготовления интегрального инвертора по п.1, включающий операции наращивания монокристаллических пленок n- и p-типа проводимости, маскирования, диффузии и создание металлизированной разводки, отличающийся тем, что в монокристаллической подложке p+-типа проводимости формируют локальный n+ скрытый слой, вскрывают в окисле кремния окно, частично перекрывающее n+ скрытый слой, наращивают пленку кремния противоположного типа проводимости подложке, удаляют поликристаллический кремний и окисел кремния, наращивают монокристаллический слой кремния одного типа проводимости с подложкой, вскрывают кольцевое окно по периметру n+ скрытого слоя и эпитаксиального слоя n--типа проводимости, формируют глубокий контакт к n+ скрытому слою, после чего создают коллекторные области.
Заявка
2551490/25, 06.12.1977
Басов А. С, Гладков В. Н, Кокин В. Н, Кремлев В. Я, Манжа Н. М, Чистяков Ю. Д
МПК / Метки
МПК: H01L 27/12
Метки: инвертор, интегральный
Опубликовано: 10.06.2001
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-698454-integralnyjj-invertor-i-sposob-ego-izgotovleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интегральный инвертор и способ его изготовления</a>
Предыдущий патент: Способ переработки мелкозернистых полиметаллических материалов
Следующий патент: Способ получения катализатора для димеризации и содимеризации олефинов
Случайный патент: Библиотека