Электролит для анодного оксидирования кремния
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 - 15
Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,01 - 0,1
Этиленгликоль - Остальное
Заявка
2411918/25, 12.10.1976
Бредихин И. С, Милешко Л. П, Чистяков Ю. Д, Волкова Т. А, Палиенко А. Н, Шкиров В. С
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: анодного, кремния, оксидирования, электролит
Опубликовано: 10.04.2001
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-602054-ehlektrolit-dlya-anodnogo-oksidirovaniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электролит для анодного оксидирования кремния</a>
Предыдущий патент: Электролит для легирования окисной пленки кремния бором
Следующий патент: Прямоточный циклон нвг
Случайный патент: Сталь