Электролит для анодного оксидирования кремния

Номер патента: 602054

Авторы: Бредихин, Волкова, Милешко, Палиенко, Чистяков, Шкиров

Описание

Электролит для анодного оксидирования кремния, содержащий этиленгликоль и ортофосфорную кислоту, отличающийся тем, что, с целью легирования оксидной пленки кремния второй примесью - компенсатором, он дополнительно содержит ортомышьяковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об.%:
Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 - 15
Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,01 - 0,1
Этиленгликоль - Остальное

Заявка

2411918/25, 12.10.1976

Бредихин И. С, Милешко Л. П, Чистяков Ю. Д, Волкова Т. А, Палиенко А. Н, Шкиров В. С

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: анодного, кремния, оксидирования, электролит

Опубликовано: 10.04.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-602054-ehlektrolit-dlya-anodnogo-oksidirovaniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электролит для анодного оксидирования кремния</a>

Похожие патенты