Патенты с меткой «вакууме»
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1380265
Опубликовано: 20.06.2005
Авторы: Ирков, Максаков, Пестов, Ткаченко
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассету с установленным в ней подложкодержателем, прижим для фиксации подложки, нагреватель и механизм поворота подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обслуживания, механизм поворота подложкодержателя выполнен в виде двух цапф, жестко закрепленных одним концом в подложкодержателе, а другим - шарнирно в кассете, расположенных по оси симметрии подложкодержателя, пружины кручения, размещенной на одной из цапф и закрепленной одним концом на подложкодержателе, а другим в кассете, и магнитного замка, один из магнитов которого расположен на подложкодержателе, а другой - на кассете.2. Устройство...
Способ диффузионного насыщения изделий металлами в вакууме
Номер патента: 685070
Опубликовано: 20.11.2005
Авторы: Абросимов, Булатов, Полетаев, Шилов
МПК: C23C 10/34, C23C 14/24
Метки: вакууме, диффузионного, металлами, насыщения
Способ диффузионного насыщения изделий металлами в вакууме путем переноса паровой фазы испаряемого металла и повышения давления в рабочем объеме при температуре интенсивного насыщения, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения качества изготавливаемых изделий, при температуре интенсивного насыщения давление повышают до 1·10-2-10 мм рт.ст.
Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме
Номер патента: 1536856
Опубликовано: 20.11.2005
Авторы: Артоболевская, Евстропов, Качанов, Тазенков
МПК: C23C 14/28
Метки: вакууме, нанесения, слоев, фотопроводниковых
Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее вакуумную камеру, испарители, подложкодержатель и натекатель воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения качества селеновых слоев, оно содержит ионизатор, оптически непрозрачный экран и активатор кислорода, электрически соединенный со стенками вакуумной камеры, включающий замкнутую полость, внутри которой расположены ионизатор и натекатель, стенки полости снабжены отверстиями, причем отношение суммарной площади всех отверстий к суммарной площади внутренней поверхности полости составляет 0,01-0,001, а экран расположен между активатором и рабочей поверхностью подложкодержателя.
Установка проходного типа для получения отливок в вакууме
Номер патента: 1262812
Опубликовано: 20.01.2006
Авторы: Беляев, Виноградский, Фишбах
МПК: B22D 27/08, B22D 47/00
Метки: вакууме, отливок, проходного, типа
Установка проходного типа для получения отливок в вакууме, содержащая шлюзовые камеры, плавильно-заливочно-кристаллизационную проходную камеру с контролируемой атмосферой и секционный конвейер с литейными формами, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения вибрации расплава в литейной форме, каждая секция конвейера выполнена в виде верхней плиты с захватами литейной формы, нижней плиты с фиксатором поворота и упорного подшипника, размещенного между плитами, а проходная камера снабжена механизмом фиксации секции конвейера.
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1230284
Опубликовано: 20.02.2007
Авторы: Березин, Березина, Воронов, Ус
МПК: H01H 1/00
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий напуск рабочего вещества в реакционную камеру и возбуждение молекул рабочего вещества в пучково-плазменном разряде при наличии продольного однородного магнитного и поперечного электрического полей, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат и повышения чистоты покрытия, пучково-плазменный разряд зажигают перед напуском рабочего вещества во вспомогательном рабочем газе - аргоне при давлении зажигания разряда Р=Рф, затем повышают давление аргона до Р=Ризб и осуществляют очистку поверхности образца ускоренными ионами аргона, после чего устанавливают давление аргона Р
Устройство для термообработки металлических мембран в вакууме
Номер патента: 1014286
Опубликовано: 27.02.2007
Авторы: Артемов, Данилов, Заркова, Морозов, Никулин, Юшин
МПК: C21D 9/46
Метки: вакууме, мембран, металлических, термообработки
1. Устройство для термообработки металлических мембран в вакууме по авт. св. СССР № 298671, отличающееся тем, что, с целью предотвращения окисления поверхности мембран и их коробления, в каждой из профилированных пластин выполнена кольцевая канавка для размещения геттера. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что набранный пакет поярусно размещенных пластин скреплен подпружиненными стяжками.
Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме
Номер патента: 1306161
Опубликовано: 27.04.2008
Авторы: Артоболевская, Володин, Евстропов, Качанов, Ким, Тазенков
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, нанесения, слоев, фотопроводниковых
1. Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее подложкодержатель для герметичной установки на него цилиндрической подложки, выполненный в виде стяжной трубы со сквозными продольными пазами и системы подвода и отвода теплоносителя в виде двух коаксиальных труб, установленных внутри стяжной трубы, и двух фланцев с прокладками, установленных на стяжной трубе с возможностью вращения, и испарители, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения равномерности распределения температуры на всей поверхности подложки, на наружной трубе системы подвода и отвода теплоносителя выполнены отверстия, расположенные равномерно, а их площадь равна...
Способ рафинирования цветных металлов в вакууме
Номер патента: 483006
Опубликовано: 20.09.2009
Авторы: Арзамасцев, Кручинин, Орлов, Смелянский, Хасин, Чередниченко
МПК: C22B 25/00, C22B 9/04
Метки: вакууме, металлов, рафинирования, цветных
Способ рафинирования цветных металлов в вакууме, например олова, включающий отделение примесей от чернового металла испарением при температуре выше 1000°С и давлении не выше 10-1 мм рт.ст., отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и увеличения производительности, процесс ведут в окислительной атмосфере.
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1244959
Опубликовано: 10.11.2009
Авторы: Блинов, Завьялов, Матрохин, Помещиков, Проказа, Чередниченко, Шалдаев
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно расположенные расходуемый катод с отверстием для подачи рабочего газа, полый анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, повышения производительности и упрощения конструкции, в катоде со стороны рабочего торца выполнено углубление в форме усеченного конуса, большее основание которого обращено в сторону подложкодержателя, а высота усеченного конуса больше радиуса этого основания, причем меньшее основание конуса соединено с отверстием подачи рабочего газа, площадь сечения которого So определена соотношением
Способ нанесения износостойких покрытий в вакууме
Номер патента: 1639085
Опубликовано: 27.01.2010
Авторы: Зиновьев, Кабалдин, Мокрицкий, Симонов
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, износостойких, нанесения, покрытий
Способ нанесения износостойких покрытий в вакууме, включающий очистку поверхности обрабатываемых изделий, нагрев и формирование покрытий методом конденсации с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и качества покрытий, перед формированием покрытия изделие намагничивают, а нагрев осуществляют до температуры, не превышающей точку Кюри.
Способ рафинирования тяжелых металлов отгонкой примесей в вакууме
Номер патента: 314419
Опубликовано: 27.06.2011
Авторы: Дьяков, Пулькин, Сутурин
МПК: C22B 25/08, C22B 9/04
Метки: вакууме, металлов, отгонкой, примесей, рафинирования, тяжелых
Способ рафинирования тяжелых металлов отгонкой примесей в вакууме 10-1 мм рт.ст. при перемешивании расплава, отличающийся тем, что, с целью очистки металлов от примесей железа, мышьяка и индия, процесс ведут в присутствии хлорида рафинируемого металла при 300-530°C.
Способ нанесения защитно-декоративных покрытий электродуговым распылением в вакууме
Номер патента: 1596801
Опубликовано: 10.05.2012
Авторы: Вершина, Мрочек, Никитин, Пителько
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, защитно-декоративных, нанесения, покрытий, распылением, электродуговым
Способ нанесения защитно-декоративных покрытий электродуговым распылением в вакууме, включающий осаждение подслоя титана и слоя соединений титана на поверхность изделия в азотосодержащей среде из несепарированного плазменного потока, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения защитных свойств покрытий при сохранении их декоративных свойств, а также износостойкости и производительности процесса, подслой титана осаждают из сепарированного плазменного потока толщиной 0,5-1 мкм, а слой соединений титана - толщиной 0,2-0,8 мкм.
Электродуговой генератор плазмы для нанесения покрытий в вакууме преимущественно на длинномерные изделия
Номер патента: 1704491
Опубликовано: 10.05.2012
Авторы: Бельчин, Вершина, Изотова, Мрочек, Пителько
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, генератор, длинномерные, изделия, нанесения, плазмы, покрытий, преимущественно, электродуговой
Электродуговой генератор плазмы для нанесения покрытий в вакууме преимущественно на длинномерные изделия, содержащий коаксиально расположенные катод, анод и электромагнитную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет равномерности толщины покрытий, упрощения конструкции при сохранении высокой производительности, катод выполнен в виде цилиндрической спирали с шагом l=(1,5-2,5)d, где d - диаметр трубки (прутка) спирали.
Мишень для магнетронного распыления в вакууме
Номер патента: 1580860
Опубликовано: 27.09.2013
Авторы: Гурский, Зеленин, Конюшенко, Корж, Столетов
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, магнетронного, мишень, распыления
Мишень для магнетронного распыления в вакууме, содержащая диск из распыляемого немагнитного материала с углублениями и концентричные полюсные наконечники, расположенные в углублениях, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет уменьшения деформации мишени при ее разогреве, углубления выполнены с нераспыляемой стороны диска, а полюсные наконечники выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого превышает коэффициент линейного расширения материала диска, и жестко соединены с поверхностью углублений, причем их толщина составляет 0,3-0,5 толщины диска.
Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана
Номер патента: 1547365
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Жоглик, Комлик, Мрочек, Романчук, Семенкевич
МПК: C23C 14/24
Метки: вакууме, защитных, нанесения, основе, покрытий, соединений, титана
Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана, включающий ионно-плазменное распыление титана в реакционной среде при давлении в реакционной камере 5·10 -2 - 10-1 Па и осаждение соединений титана на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения их коррозионной стойкости, в качестве реакционной среды используют тетраэтоксисилан, который вводят в металлическую плазму.
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1249965
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Григорьев, Клецков, Мрочек, Янович
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий возбуждение дугового разряда между рабочими электродами в импульсном режиме с ионизацией продуктов распыления материала катода, фокусирование плазменного потока импульсным магнитным полем, возбуждаемым с задержкой во времени по отношению к моменту возбуждения разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет увеличения их плотности, магнитное поле возбуждают с длительностью импульсов, не меньшей времени прохождения плазменным потоком половины длины зоны воздействия магнитного поля, но не превышающей время между импульсами разряда, при задержке импульса магнитного поля, соответствующей времени пролета плазмой...
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1431365
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Григорьев, Клецков, Кузьмичев, Мрочек, Янович
МПК: C23C 14/24
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий ионную очистку, диффузионное насыщение подложки материалом катода и осаждение материала катода на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет снижения уровня остаточных напряжений и повышения адгезии переходного слоя, перед осаждением материала катода проводят закалку подложки.
Способ нанесения защитных покрытий в вакууме
Номер патента: 1202287
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Антоненко, Капустин, Михель, Мрочек, Пителько
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, защитных, нанесения, покрытий
Способ нанесения защитных покрытий в вакууме, включающий очистку поверхности обрабатываемого изделия и его дегазацию, нанесение подслоя и материала покрытия и оплавление материала подслоя, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости изделия, оплавление материала подслоя осуществляют перед нанесением покрытия бомбардировкой ионами материала покрытия.
Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме
Номер патента: 1669211
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Великанов, Кринский, Митор, Мрочек, Никитин, Эйзнер
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, многокомпонентных, нанесения, покрытий
Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме, включающий генерацию плазмы дугового разряда материалов покрытия и осаждение плазменного потока на вращающуюся подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения равномерности химического состава покрываемой поверхности, подложку вращают со скоростью, определяемой из выражения где V - скорость роста толщины конденсата, мкм/с;r - средний атомный радиус материалов, входящих в состав покрытия, мкм.
Способ нанесения упрочняющих покрытий в вакууме
Номер патента: 1506927
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Кадников, Мрочек, Скворчевский, Эйзнер
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, нанесения, покрытий, упрочняющих
Способ нанесения упрочняющих покрытий в вакууме, включающий пропускание импульсов разрядного тока между анодом и катодом, осаждение покрытия на подложкодержатель при приложении к нему отрицательного ускоряющего потенциала и перемещение подложкодержателя, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия при упрочнении порошковых материалов, синхронно с пропусканием импульсов разрядного тока на подложкодержатель накладывают импульсное магнитное поле, а перемещение подложкодержателя осуществляют в период паузы между импульсами разрядного тока, при этом длительность импульса вибрационного перемещения не превышает длительность паузы между импульсами разрядного тока.
Способ получения покрытий в вакууме
Номер патента: 1506928
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Булах, Иванов, Ивашнева, Левченко, Мрочек, Эйзнер
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, покрытий
Способ получения покрытий в вакууме, включающий электродуговую генерацию плазменного потока, содержащего ионы кремния, и формирование покрытия в азотсодержащей среде, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости покрытия с одновременным снижением температурного потока синтеза -модификации нитрида кремния, в плазменный поток вводят 0,4-0,5 ат.% ионов кобальта.
Способ нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1392922
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Булах, Ивашнева, Мрочек, Смирнов, Эйзнер
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий возбуждение дугового разряда в парах наносимого материала, приложение к подложке отрицательного потенциала и осаждение материала покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, осаждение материала покрытия осуществляют до толщины 1-2 мкм, после чего к подложке прикладывают положительный потенциал U, определяемый из выражения 0<U 40 В и проводят дальнейшее осаждение покрытия до требуемой толщины.
Способ нанесения покрытия на спеченные изделия на основе железа электродуговым напылением в вакууме
Номер патента: 1512172
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Антоненко, Мрочек, Пителько
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, железа, изделия, нанесения, напылением, основе, покрытия, спеченные, электродуговым
1. Способ нанесения покрытия на спеченные изделия на основе железа электродуговым напылением в вакууме, включающий очистку поверхности изделия, его дегазацию, нагрев изделия до температуры, не превышающей температуру разрушения материала изделия, охлаждение поверхности изделия и напыление покрытия, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени обработки и повышения качества покрытия, объем изделия нагревают до температуры не менее 1,7 Т, на поверхность изделия напыляют и реиспаряют вспомогательный материал, не ухудшающий смачиваемость материала изделия пропитывающим материалом, причем вспомогательный материал выбирают с температурой плавления не выше 0,7 Т, а напыление покрытия...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1336614
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Бакуто, Бушик, Зачепило, Мицкевич
МПК: C23C 14/54
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, расходуемый катод с рабочей поверхностью и центральным отверстием, обращенным к аноду, электромагнитную катушку, поджигающий электрод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, подложкодержатель размещен в отверстии катода в плоскости его рабочей поверхности и электрически соединен с ним посредством ограничительного сопротивления.
Устройство для получения металлических покрытий в вакууме
Номер патента: 1632089
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Григорович, Рулинский, Фигурин
МПК: C23C 14/38
Метки: вакууме, металлических, покрытий
Устройство для получения металлических покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с разреженной газовой средой, в которой размещены подложка, анод и катод, отличающееся тем, что, с целью повышения адгезионной прочности покрытий, катод установлен внутри анода в одной плоскости с ним, а подложка закреплена напротив катода в темном фарадеевом пространстве.
Способ электронно-лучевого нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1526272
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Алехнович, Ващенко, Вейник, Шипко
МПК: C23C 14/30
Метки: вакууме, нанесения, покрытий, электронно-лучевого
Способ электронно-лучевого нанесения покрытия в вакууме, включающий активирование поверхности изделия управляемым потоком электронов, электронно-лучевое испарение материала покрытия и последующее осаждение его на изделие, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости титановых сплавов с хромовым покрытием, активирование поверхности осуществляют электронным лучом с удельной мощностью 600-1000 Вт/см2 , после чего проводят электронно-лучевое испарение хрома и его осаждение толщиной 2-50 мкм, после чего нагревают изделие электронным лучом на глубину, превышающую толщину покрытия.
Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме
Номер патента: 1531522
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Иванов, Ивашнёва, Левченко, Мочайло, Мрочек, Эйзнер
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, металлов, нанесения, покрытий, силицидов, тугоплавких
Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на подложке, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий за счет образования дисилицидов металлов и снижения капель, генерирование плазменного потока осуществляют из материала катода, содержание кремния, мас.%, в котором определяется выражением где ...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1697457
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Жоглик, Комлик, Мрочек, Романчук, Семенкевич
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены электродуговой испаритель, подложкодержатель, держатель магнитов с профилированным немагнитным экраном, подключенным к источнику питания, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и повышения качества покрытий за счет улучшения однородности плазмы и снижения капель в потоке, держатель магнитов выполнен из магнитного материала в виде полого тела, расположенного коаксиально подложкодержателю, магниты выполнены с чередующейся полярностью полюсов, экран размещен между подложкодержателем и магнитами, повторяет форму держателя магнитов и подключен к отрицательному полюсу источника...
Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме
Номер патента: 1536860
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Марков, Мрочек, Эйзнер
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, многокомпонентных, нанесения, покрытий
Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме на сложнопрофильные поверхности, включающий генерацию паров материала покрытия вакуумной дугой и осаждение паров, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет однородности его состава, нанесение покрытий осуществляют в атмосфере инертного газа при давлении (1-5)·10-2 Па.
Способ нанесения металлических покрытий в вакууме
Номер патента: 1538541
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Григорович, Дорошенко, Мрочек, Ресенчук, Рулинский, Фигурин
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, металлических, нанесения, покрытий
Способ нанесения металлических покрытий в вакууме, включающий очистку подложки путем предварительного нанесения технологического слоя и последующего его удаления, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет повышения адгезии, технологический слой наносят магнетронным распылением геттерного материала толщиной 2-3 мкм при давлении (2-7)·10 -1 Па, а удаление слоя осуществляют путем нагрева до 200-800°С.