Зачепило
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 1336614
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Бакуто, Бушик, Зачепило, Мицкевич
МПК: C23C 14/54
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, расходуемый катод с рабочей поверхностью и центральным отверстием, обращенным к аноду, электромагнитную катушку, поджигающий электрод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, подложкодержатель размещен в отверстии катода в плоскости его рабочей поверхности и электрически соединен с ним посредством ограничительного сопротивления.