Проказа

Номер патента: 1244959

Опубликовано: 10.11.2009

Авторы: Блинов, Завьялов, Матрохин, Помещиков, Проказа, Чередниченко, Шалдаев

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно расположенные расходуемый катод с отверстием для подачи рабочего газа, полый анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, повышения производительности и упрощения конструкции, в катоде со стороны рабочего торца выполнено углубление в форме усеченного конуса, большее основание которого обращено в сторону подложкодержателя, а высота усеченного конуса больше радиуса этого основания, причем меньшее основание конуса соединено с отверстием подачи рабочего газа, площадь сечения которого So определена соотношением