Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме

Номер патента: 1669211

Авторы: Великанов, Кринский, Митор, Мрочек, Никитин, Эйзнер

ZIP архив

Описание

Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме, включающий генерацию плазмы дугового разряда материалов покрытия и осаждение плазменного потока на вращающуюся подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения равномерности химического состава покрываемой поверхности, подложку вращают со скоростью, определяемой из выражения

где V - скорость роста толщины конденсата, мкм/с;

r - средний атомный радиус материалов, входящих в состав покрытия, мкм.

Заявка

4633925/21, 09.01.1989

Физико-технический институт АН БССР

Мрочек Ж. А, Эйзнер Б. А, Никитин В. И, Митор Е. В, Великанов Г. Ф, Кринский А. А

МПК / Метки

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, многокомпонентных, нанесения, покрытий

Опубликовано: 27.12.2013

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1669211-sposob-naneseniya-mnogokomponentnykh-pokrytijj-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме</a>

Похожие патенты