Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме, включающий генерацию плазмы дугового разряда материалов покрытия и осаждение плазменного потока на вращающуюся подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения равномерности химического состава покрываемой поверхности, подложку вращают со скоростью, определяемой из выражения
где V - скорость роста толщины конденсата, мкм/с;
r - средний атомный радиус материалов, входящих в состав покрытия, мкм.
Заявка
4633925/21, 09.01.1989
Физико-технический институт АН БССР
Мрочек Ж. А, Эйзнер Б. А, Никитин В. И, Митор Е. В, Великанов Г. Ф, Кринский А. А
МПК / Метки
МПК: C23C 14/32
Метки: вакууме, многокомпонентных, нанесения, покрытий
Опубликовано: 27.12.2013
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1669211-sposob-naneseniya-mnogokomponentnykh-pokrytijj-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ нанесения многокомпонентных покрытий в вакууме</a>