Патенты с меткой «вакууме»

Номер патента: 1542096

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Жоглик, Комлик, Мрочек, Романчук, Семенкевич

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, покрытий

Способ получения покрытий в вакууме, включающий генерирование плазмы наносимого материала вакуумной дугой, фокусировку плазменного потока продольным аксиально-симметричным магнитным полем и конденсацию плазменного потока, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет повышения стабильности плотности плазменного потока, после фокусировки плазменного потока на него накладывают мультипольное магнитное поле напряженностью от 50 до 100 Э.