Ивашнёва
Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме
Номер патента: 1531522
Опубликовано: 27.12.2013
Авторы: Иванов, Ивашнёва, Левченко, Мочайло, Мрочек, Эйзнер
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, металлов, нанесения, покрытий, силицидов, тугоплавких
Способ нанесения покрытий из силицидов тугоплавких металлов в вакууме, включающий напуск в технологический объем реакционного газа, генерирование плазменного потока наносимого материала катодным пятном вакуумной дуги, приложение ускоряющего потенциала к подложке и конденсацию потока на подложке, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытий за счет образования дисилицидов металлов и снижения капель, генерирование плазменного потока осуществляют из материала катода, содержание кремния, мас.%, в котором определяется выражением где ...