G01B — Измерение длины, толщины или подобных линейных размеров; измерение углов; измерение площадей; измерение неровностей поверхностей или контуров

Страница 493

Приспособление для определения знака нормальных перемещений к голографическим интерферометрам

Загрузка...

Номер патента: 1409859

Опубликовано: 15.07.1988

Автор: Сладковский

МПК: G01B 9/021

Метки: голографическим, знака, интерферометрам, нормальных, перемещений

...в виде цилиндрического стержня и планки, закреп" ленной на стержне с возможностью свободного поворота вокруг его оси так, что ось планки перпендикулярна оСи стержня, а центр тяжести планки лежит на оси стержня. Расположение центра тяжести планки на оси стержня позволяет обеспечить в отсутствии деформаций объекта, нормальные перемещения которого контролируются, постоянный механический контакт планки с объектом при отсутствии силового взаимодействия между ниии.Устройство работает следующим об разом,Планку измерительного элемента при-водят в механический контакт с исследуемым объектом. Объект.и планку записывают на голограмму, производятнагружение объекта, вновь записываютобъект и планку на ту же голограммуи по наличию или отсутствию...

Фотогониограф

Загрузка...

Номер патента: 1409860

Опубликовано: 15.07.1988

Авторы: Кожевников, Любалин

МПК: G01B 9/10

Метки: фотогониограф

...на поверхности корпуса 1.Вращают вал 3 с держателем 4 кристалла 5 и подводят нод пучок другуюмерку. С помощью винта 23 добиваются того, чтобы отраженные от мерки18 пучки приходили на одну горизонтальную риску корпуса 1 или экрана21 при снятом корпусе 1, а рефлексыот моноэдрической и диэдрическойграней мерки 18 находились на однойвертикали, причем моноэдрические грани должны быть параллельны оси вращения вала 3,Контроль внутренней поверхностипрофилированных кристаллов ведутобычно в прямоугольных координатах(Фиг,2). Кристалл 5 вращают, включаяпривод 24. Включают осветитель 9 инаправляют пучок светана поверхность кристалла 5. Наблюдают на корпусе 1 картину рефпексов и магнитными шпиньками 8 после остановки привода 24 отмечают место...

Устройство для измерения контура поперечного сечения объекта

Загрузка...

Номер патента: 1409861

Опубликовано: 15.07.1988

Автор: Вирник

МПК: G01B 11/03

Метки: контура, объекта, поперечного, сечения

...в плоскости, перпендикулярнойчертежу).Зеркала зеркальной системы установлены с возможностью пространственногоперемещения параллельно самим себевдоль нормали к их поверхности.На чертежах также обозначены: Ы- угол наклона направления наблюдения к оптимальной оси осветительного канала; ф - угол наклона между оптической осью приемного объектива и направлением наблюдения контролируемого светового сечения объекта на еговходе,Устройство работает следующимобразом./ Источником 1 света в каждом из четырех осветительных каналов с помощью конденсора 2 освещают щелевую диафрагму 3, Иэображение которой объективом 4 проектируют на контролируемый объект 11.В результате работы всех четырех осветительных каналов на поверхности контролируемого объекта...

Способ контроля толщины пленки в процессе нанесения

Загрузка...

Номер патента: 1409862

Опубликовано: 15.07.1988

Автор: Михеев

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесения, пленки, процессе, толщины

...поверхности наносимых пленок, что может привести к усложнению связи между интенсивностью прошедшего светового потока и толщиной пленок.)эИнтенсивность этой отражающей составляющей можно точно рассчитать суммированием интегральных выражений сложного вида, учитывающих многократ-. ные отражения и отражения от ряда соседних нитей. Но эту величину можно оценить по формуле учитывающей наиболее существенный вклад двухкратного отражения. Эта формула для сетки из линейных параллельных и лежащих в одной плоскости нитей имеет следующий вид-А и В ( +1 )(Ь. 1 с 1), (1)1где Г - интенсивность исходного светового потока; ь 1 - интенсивность отраженной фоновой составляющей". А - коэффициент учитываюцглй форму и расположение нитей",п - отношение...

Устройство измерения геометрических параметров поверхности полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 1409863

Опубликовано: 15.07.1988

Авторы: Гоман, Чухлиб, Шестаков, Юдицкий

МПК: G01B 11/24

Метки: геометрических, параметров, пластин, поверхности, полупроводниковых

...1 Формируется фокусирующей системой 2 в пучок, который направляется зеркалами 3 и 4 на сканаторы 5 и б. При вращении сканаторов 5 и б пучок смещается параллельно своей оптической оси. Такимобразом, на выходе сканатора б формируется развертка в плоскости, перпендикулярной оси распространенияпучка,Пройдя сканатор б,пучок попадаетна третье зеркало 7 и направляетсяим на отрицательную сферическую линзу 8 и далее на конденсорную линзу 9.На выходе линзы 9 пучок отклоняетсяот оптической оси, попадает либо наполупроводниковую пластину 11 либона калибровочное кольцо 12 и отражается от них, Отразившись от пластины, пучок проходит линзы 9 и 8,зеркало 7, сканаторы б и 5, отраженный пучок смещается к оси распространения падающего пучка, однако...

Способ измерения шероховатости поверхности и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 1409864

Опубликовано: 15.07.1988

Авторы: Ангельский, Максимяк

МПК: G01B 11/30

Метки: поверхности, шероховатости

...поля результирующего излучения в плоскость полой диафрагмы 8. Объектив б вместе с диафрагмой 7 обеспечивают прием всех пространственно-частотных компонент поля, соответствующих поверхностной структуре объекта в плоскости сравнения (плоскость б диафрагмы 8). С помощью фотоэлектрического приемника 9 и блока регистрации изменяют интенсивность результирующего пучка. Вращая столик 5, добиваются абсолютного минимума результирующего поля, Этому соответствует угол поворота Чр (фиг.2), при котором объектный и опорный пучки в противофазе, а их средние амплитуды равны А =А , Перекрывают объектный пучок с помощью введения заслонки 4 и измеряют интенсивность опорного пучка 1 , Выводят заслонки 4 и продогжают вращение столика, добиваясь...

Дифференциальное пневматическое устройство для измерения перемещений

Загрузка...

Номер патента: 1409865

Опубликовано: 15.07.1988

Авторы: Абаринов, Вешников, Градецкий

МПК: G01B 13/00

Метки: дифференциальное, перемещений, пневматическое

...плоской формы.На чертеже представлена принципиальная схема устройства.Дифференциальное пневматическое устройство для измерения перемещений содержит сопла 1,2 и 3, заслонку 4 и дифференциальный манометр 5. Сопла 1 и 3 выполнены идентичными цилиндрическими, а среднее сопло 2 выполнено прямоугольным. Входы манометра 5 , сообщены с межсопловыми полостями 6и 7, вывод заслонки 4 из полости 7загерметизирован уплотнением 8.Устройство работает следующим образом, 25 Сжатый воздух с давлением питанияР подводится к входному соплу 1, проходит через измерительное сопло 2, перекрываемое заслонкой 4, и далее через выходное сопло З.Измерительное перемещение передается на заслонку 4,которая открывает (перекрывает) сопло2. Вследствие этого давление в полос...

Измерительная головка

Загрузка...

Номер патента: 1409866

Опубликовано: 15.07.1988

Автор: Лысенко

МПК: G01B 21/04

Метки: головка, измерительная

...с общимцентром электромагнитных опор ОС выхода системы 16 автоматическо 5го регулирования сигналы регулирования х, у, г, о, Яр ,поступают на вход второго блока 17 преобразования координат, в котором преобразуются в пары сигналов регулирования х., г, для каждой электромагнитной опоры и с его выходовпоступают на входы усилителей 14 мощности,15Обмотки 8 преобразуют выходныетоки усилителей 14 мощности в магнитные потоки, протекающие в каждойэлектромагнитной опоре по якорю 6,ярмам 7, полюсным наконечникам 9 ссилой, пропорциональной магнитномупотоку в этом зазоре. Таким образом,осуществляется регулирование положения якоря 6 по двум координатамв каждой электромагнитной опоре,при этом шестикоординатная система16 автоматического регулирования,...

Устройство для изготовления слепков моделей клиновых прокладок

Загрузка...

Номер патента: 1411559

Опубликовано: 23.07.1988

Автор: Кузнецов

МПК: G01B 3/46

Метки: клиновых, моделей, прокладок, слепков

...с азовыми поверхностями в виде двух шарирно соединенных между собой пластин,На чертеже изображено предлагаемое /стройство, общий вид.Устройство содежит два элемента 1 и 2 сбазовыми поверхностями для размеще 1 ия между ними пластичного материала лепка 3, кронштейн 4 с базовой площадой 5, В элементе 1 имеется сквозной паз 6,элемент 2 соединен с кронштейном 4 с омощью плоского шарнира 7, установленноо в пазу 6 пластины 1 с возможностью пеемещения вдоль него и фиксации. Устройство работает следующим обраом.Слепок 3 закладывают между элементами 1 и 2. Устройство вводят в клиновой паз ежду рабочими узлами 8 и 9 до упора базо 2вой площадки 5 в поверхность узла 9. При этом слепок 3 деформируется, элементы 1 и 2 своими базовыми...

Устройство для измерения плоскостности и горизонтальности поверхности

Загрузка...

Номер патента: 1411560

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Бердинских, Скуратов

МПК: G01B 5/00

Метки: горизонтальности, плоскостности, поверхности

...4, предназначенные для контктирования с измеряемой поверхностью 5 и выполненные с возможностью вертикаль- и го перемещения. На балке установлены д а уровня 6 и 7, один из которых паралгелен оси, соединяющей опору 2 с опорой 4, а другой параллелен оси, соединяющей опор3 и 4. На конце балки на продолжении о ей, соединяющих опоры 2, 3 и 2, 4, уст новлены указатели 8 и 9 для разметки и меряемой поверхности. Угол разметки соо ветствует углу между осями, соединяю- и ими опоры 2, 3 и 2, 4, и составляет 360/п, где и - четное. Измерительный узел представляет собой совокупность датчиков 1 линейных перемещений.Устройство работает следующим образом.В исхоном положении балки снимаютсяоказания уровней 6 и 7 и датчиков 10. По указате.кз 8 аносится...

Способ измерения геометрических параметров крупногабаритных объектов сложной конфигурации

Загрузка...

Номер патента: 1411561

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Раманаускас, Шилюнас, Шукис

МПК: G01B 5/00

Метки: геометрических, конфигурации, крупногабаритных, объектов, параметров, сложной

...Корректор А. ТяскоЗаказ 3641/35 Тираж 680 ПодписноеВПИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 45Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к технике линейНых измерений, а именно к измерениям геоМетрических параметров крупногабаритных Юбъектов сложной конфигурации с помощью координатных измерительных машин (КИМ) Цель изобретения - расширение ноМенклатуры измеряемых объектов. Согласно способу объект устанавливают на КИМ. На поверхности объекта закрепляют представляющий собой носитель систе:мы координат куб (калибратор) в положении, обеспечиваюшем его измерение приюбом положении объекта, в котором проводятся...

Измерительная головка для координатных измерений

Загрузка...

Номер патента: 1411562

Опубликовано: 23.07.1988

Автор: Галкин

МПК: G01B 5/012

Метки: головка, измерений, измерительная, координатных

...изерительный рычаг 6 Т-образной формы,бе части перекладины 7 которого пропуены в прорези втулки 8. Измерительный-образный рычаг 6 имеет сферический изерительный наконечник 9 и опорные сфеические наконечники 10.Шарнирная опора (фиг. 2) состоит изси 11 с коническими цапфами и двух путотелых шпилек 12, ввернутых в ушки 131 лу нже ра 4,Опорные сферические наконечники 10змерительного Т-образного рычага 6 подркимаются к фланцу 2 с помощью пружины14 сжатия. Для ориентации Т-образного рычага вдоль оси головки на плунжер свободно одета втулка 8 с прорезями, в которыепропущены перекладины 7 этого рычага.втулка 8 подпружинена относительно плун,жера 4 пружиной5 сжатия.Измерительная головка работает следующим образом.Г 1 ри воздействии...

Устройство для измерения длин движущихся труб

Загрузка...

Номер патента: 1411563

Опубликовано: 23.07.1988

Автор: Козлов

МПК: G01B 5/04

Метки: движущихся, длин, труб

...4 и 5 с приводом 9, обеспечивающим ее перемещение в плоскости, перпендикулярной оси транспортера 2, и двуплечий рычаг 10 с приводом 11, обеспечивающим его вращение. Одним концом рычаг 10 взаимодействует с датчиком 3 положения через регулируемый прижим 12, а другим концом через контактную пластину 13 - с измеряемой трубой 14, пластина 13 наклонена на угол гдето-угол наклона, образованный прямыми,проходящими через плоскость пластины и плечо рычага соответственно и пересекающими ось вращения рычага;а - длина плеча рычага в сторону датчиков 4 и 5;5 - длина пути срабатывания датчика 3, Поворот рычага 10 ограничивается регулируемым упором 15,Устройство работает следующим образом.Измеряемую трубу 14 с накопителя 1 подают на продольный...

Устройство для разметки заготовок деталей

Загрузка...

Номер патента: 1411564

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Галкин, Гребенщиков

МПК: G01B 5/24

Метки: заготовок, разметки

...собой третьим стержнем 8, установленным перпендикулярно втоому стержню 5 с возможностью вращения относительно своей оси, Оси первого 2, вто, ого 5 и третьего 8 стержней пересекаютсяодной точке и параллельны соответствующим граням основания 1. Положение плиты 7 относительно кронштейна 6 определяют по лимбу 9 и фиксируют положение плиты 7 болтом 10 тангенциального зажима, а положение кронштейна 6 относительно стержня 2 определяют по лимбу 1 и фиксируют положение кронштейна 6 болтом 12 тангенциального зажима. На плите 7 установлена планка 13 для закрепления размечаемой детали 14. Устойчивость устройства обеспечивают быстро- сменными телескопическими опорами 15, расположенными в отверстиях, выполненных в основании 1 параллельно его...

Устройство для измерения отклонений от перпендикулярности оси отверстия относительно плоскости

Загрузка...

Номер патента: 1411565

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Кивитар, Лукичев, Шаулина

МПК: G01B 5/245

Метки: оси, отверстия, отклонений, относительно, перпендикулярности, плоскости

...оси отверстия относи 1 тельно плоскости содержит основание 1, на котором закреплена стойка 2. На стой 1 ке 2 установлены направляющие 3, по кото 1 рым имеет возможность перемещаться па 1 раллельно плоскости основания 1 каретка 4 с кинематически связанным с ней центрирующим элементом 5, имеющим с одной стороны конусную часть 6, а с другой - полусферическую часть 7, На отсчетном узле 8 закреплен измерительный наконечник 9, имеющий внутреннюю коническую поверхность 10, взаимодействующую со сферической поверхностью 7 центрирующего элемента 5. Конусная оправка 11 расположе 1 на в основании 1 перпендикулярно плоскос 1 ти 12. Также перпендикулярно плоскости 2 1 основания 1 закреплен в каретке 4 на 1 одной оси с измерительным...

Способ определения напряжений в отверждающемся связующем

Загрузка...

Номер патента: 1411566

Опубликовано: 23.07.1988

Автор: Фролов

МПК: G01B 5/30

Метки: напряжений, отверждающемся, связующем

...и изготавливают микрофотографию полученного поперечного среза, которую обрабатывают следующим образом.Сечение образца разбивают на и примерно однородных участков, т. е. таких, гдевысота укладки моноволокон примерно постоянна, и для каждого участка измеряютширину А высоту В; сечения, занятуюпаполнителем 1, и высоту С; сечения, занятую чистым связующим 2.По результатам измерений вычисляют площадь б зоны, занятую пропитанным наполнителем, пользуясь соотношением5= ХАВ;,и модуль упругости этой зоны Е, пользуясьсоотношениемЕ = Е- + Е,(1 5 )5где Е 1 модуль упругости ттериала наполнителя;Максимальный уровень внутренних напряжений в связующем определяют по со- отношению ЫОмакс = 0 ----1-к Д А;С;где 1=формула изобретения 50 55 10 15 20 25 30 35...

Устройство для бесконтактного контроля положения объекта

Загрузка...

Номер патента: 1411567

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Зимин, Панов

МПК: G01B 7/00

Метки: бесконтактного, объекта, положения

...работает следующим обраС выхода генератора 6 переменное напряжение подается на фокусирующий элекгрод 2 датчика 1, а на потенциальный элекгрод 3 это же напряжение, но сдвинутое по фазе иа 90 посредством двух фазовращаюи 1 х звеи 1 ев 7 и 8, подается через делитель 9 напряжения.При этом в воздушном зазоре между дат- иком 1 и поверхностью контролируемого объекта 16 создается переменное электриеское поле, являющееся суперпозицией полей. создаваемых каждым из электродови рника 1 в отдельности. В результате мгнои иое значение наведенного потенциала измерите,1 ьного электрода 4 определяется и,гсбраической суммой потенциалов, наводимых на нем электродами 2 и 3.11 оскольку прикладываемые к электродам 2 и 3 переменные напряжения...

Емкостное устройство для измерений микроперемещений

Загрузка...

Номер патента: 1411568

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Батрак, Костенко, Прокофьев, Чепурко

МПК: G01B 7/00

Метки: емкостное, измерений, микроперемещений

...постоянной. Благодаря это- уему обеспечивается повышение точности измерений микроперемещений и компенсируются температурные погрешности. 2 ил.1411568 фиг 2 Составитель М. ЛаваришекРедактор И. Цугьза ехред И. Верес Корректор Г. РешетникЗаказ 3841/35 Тираж 680 ПодписноеВНИИ 1 ос тарствспного комитса СССР по лслая изобретений и открытий13035, Москва. Ж 35 Ранская наб., л. 4/5Произво;ств.,о-полигнфнческое прслприятнс, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 5 1 О 15 20 25 30 35 40 ствие чего изменяется наводимое на измерительных электродах напряжение. Это приводит к изменению в противоположные стороны емкостных сопротивлений х и х 2, включенных в смежные плечи мостовой схемы измерения, Благодаря разбалансу моста появляется сигнал на выходе...

Накладной электромагнитный преобразователь для измерения толщины неэлектропроводящих покрытий

Загрузка...

Номер патента: 1411569

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Пукшанский, Шушкевич

МПК: G01B 7/06

Метки: накладной, неэлектропроводящих, покрытий, толщины, электромагнитный

...и металлической основы 14.Электромагнитный преобразователь 11 аботает следующим образом,Измеряемый объект отсутствует. Ток енераторной катушки 2 создает электРомагнитное поле, которое индуцирует ЭДС в измерительных катушках 3,6, 47, напряжение измерительной катуши 3 устанавливается равным напряжеНию катушки 7. Преобразователь размеается на неэлектропроводящем покрыии 13Напряжение, снимаемое с последовательно и встречно включенных ка 2тушек 3 и 7, пропорционально разностимагнитных потоков, пересекающих контуры катушек 3 и 7. Этот разностныйпоток проходит через боковую поверхность усеченного конуса образованного катушками 3 и 7. Аналогично получиют напряжение, снимаемое с катушек 6и 4. В сечении, проходящем через оськатушек, боковые...

Тензопреобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1411570

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Крылов, Кузнецов, Рубин, Фридбауэр

МПК: G01B 7/16

Метки: тензопреобразователь

...Б с Ь, -БСАВЛЦ ее т етт (1)фгде 1 - ток сдвига;Ба, - выходное напряжение сдвигаОУ 5;Пс, е- выходное напряжение сдвига ОУ 6;К - входной резистор 11.Компенсация тока сдвига 1 осуществляется с помощью токов источников 14 и 15 токов.Величина тока источника 14 (15) тока зависит от эквивалентных сопро. - тивлений токозадающих цепей 20 и 21: где 1 1 (, 1 - ток источника 14 (15)тока;П оп - напряжение источника 31, опорного напряжения;К О 1 - эквивалентное сопротивление токозадающей цепи 20 (21).Разность токов источников 14 и 15 тока представляет собой компенсацион ный ток Поп 11 оп- т (3)Ка йо Каогде Ц - величина опорного напряоожения;К. - эквивалентное сопротивле 20 (11ние токозадающей цепи 20(21).Условие равенства тока сдвига 1 1 и...

Способ настройки интегральных тензомостов с питанием от источника стабилизированного тока

Загрузка...

Номер патента: 1411571

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Лурье, Стучебников, Суханов, Ячук

МПК: G01B 7/16

Метки: интегральных, источника, настройки, питанием, стабилизированного, тензомостов

...10, йредставляющими собой вершины диагоналей тензомоста.Способ осуществляется следующим образом,45Подключают диагональ питания тензомоста к источнику стабилизированноо напряжения и измеряют начальный ровень сигнала тензомоста при двух различных температурах, Одновременно ри тех же температурах определяют сопротивление диагонали питания теномоста. Полученные данные подставляют в Формулу для расчета требуемо :Го уровня выходного напряжения где 0 - расчетное значение .нанряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста, обеспечивающее стабилизацию начального уровня сигнала тензомоста от температуры; ЩТ)и Б(Т) - напряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста при температурах Т, и Т,К(Т)и К(Т) - сопротивления диагонали питания...

Фазометр оптического диапазона

Загрузка...

Номер патента: 1411572

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Григорьев, Желкобаев, Календин, Кухтевич, Супьян, Троцишин, Фролов

МПК: G01B 9/02

Метки: диапазона, оптического, фазометр

...3 от генераторов 10 и 11 возбуждения подают высокочастотные сигналы с различными частотами. В результате дифракцин излучения лазера 1 на выходе акусто- ф 5 оптических модуляторов 2 и 3 появляются дифрагированные лучи плюс первых порядков и недифрагированное излучение нулевого порядка дифракции,Дифрагированные лучи с помощью уголковых отражателей 4 и 5, зеркала б и оптического смесителя 7 совмещаются и поступают на вход фотоприемника 8. В результате на выходе фотоприемника 8 появляется сигнал с частотой, равной разности частот колебаний генераторов 10 и 11 возбуждения. Зтот сигнал поступает на вход системы 9 регистрации фазового сдвига, на второй вход которой поступает опорный сигнал от электрического смесителя 12, выделяющего сигнал...

Датчик перемещений

Загрузка...

Номер патента: 1411573

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Свищ, Хижняк

МПК: G01B 11/00

Метки: датчик, перемещений

...све товых потоков. С выхода сумматора 9 результирующий световой поток поступает на анализаторы 10 и 11, которые делят суммарный световой йоток по сечению на две равные составляющие. Оси поляризации их сдвинуты относительно друг друга на угол 67 и ось поляризации анализатора 10 составляет угол 45 с осями поляризации поляризато" ров, а значит, и с плоскостями поляризации составляющих светового потока, поступающих на вход анализатора 10. Поэтому при различном сдвиге фаз сос тавляющих светового потока, поступающих на вход анализаторов 10 и 11, последние пропускают лишь составляющую, плоскость поляризации которой совпа, дает или близка к оси поляризации 25анализатора 10 или 11. Яркость выход-ного светового потока с анализаторов 10 и 11...

Способ юстировки измерительной растровой меры

Загрузка...

Номер патента: 1411574

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Герберене, Дзетавяцкас, Ушинскас

МПК: G01B 11/00

Метки: измерительной, меры, растровой, юстировки

...кольцевых зон технологической метки 5 не совПадает с осью вращения измерительной растровой меры 4, то в этом случае сигнал на фотоприемнике минимальный.При смещении измерительной растровой меры 4 в положении, при котором центр кольцевых зон совпадает с осью вращения измерительной растровой меры, кольцевые зоны технологической 5 О метки 5 совпадают с кольцевыми эонами кодовой маски 2, и сигнал нг фотоприемнике 3 наибольший,Сигнал на Фотоприемнике 3 определяется взаимно корреляционной функцией пропускания технологической метки 5 и кодовой маски 2, При выполнении технологической метки 5 и кодовой маски 2 в виде псевдошумовой последовательности взаимно корреляционная функция имеет большую крутизну (резкое изменение сигнала при взаимном...

Способ контроля неоднородности толщины диэлектрических пленок

Загрузка...

Номер патента: 1411575

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Набитович, Романюк

МПК: G01B 11/06

Метки: диэлектрических, неоднородности, пленок, толщины

...на границе пленка - окружающая среда. Составитель В.Бахтин Редактор И.Ыулла Техред Л,Олейник Корректор О,КравцоваЗаказ 3643/36 Тираж 630 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля однородности толщины прозрачных пленок наноУ 5 имых на прозрачную подложку с коэф-ициентом преломления, близким к коффициенту преломления пленкч.Целью изобретения является повышее точности контроля за счет увели ения контраста интерференционной артины.Способ осуществляется следующим бразом.Перед нанесением...

Способ измерения радиуса кривизны сферических поверхностей объектов

Загрузка...

Номер патента: 1411576

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Авдеев, Куренкова, Скрипаль, Тупикин, Усанов

МПК: G01B 11/255, G01B 9/02

Метки: кривизны, объектов, поверхностей, радиуса, сферических

...равная расстоянию между плоскостямиВВи ВВ (Фиг 1),с - скорость света;И - время когерентности;Л - средняя длина волны немонохроматического излучения винтервале длин волн от Л доЛ+д Л,Немонохроматическое излучение можно представить как совокупность когерентных монохроматических компос нент, занимающих некоторый диапазон длин волн от Я до Л+ йЯ, Каждая моно- хроматическая компонента образует свою интерференционную картину. Полная интенсивность в любой точке равна сумме интенсивностей, создаваемых каждой монохроматической составляющей. При использовании немонохроматического источника белого света (диапазон длин волн 0,4 - О, 7 мкм), ш с Л /йЛ 2, интерференционная картина имеет слеетра тину с еренционную кар иус, о т л и ччто, с целью...

Интерферометрическое устройство для измерения угловых перемещений объекта

Загрузка...

Номер патента: 1411577

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Медовиков, Нигаматьянов

МПК: G01B 11/26

Метки: интерферометрическое, объекта, перемещений, угловых

...последовательно в потоке от светоделителя 8на диске 6, неподвижную ось 12. Устройство работает следующим образом.Пучок излучения из источника 7 падает на светоделитель 8 ч разделяется 25 на два потока, Один поток после выхода из светоделителя 8 повернут на 90 о и падает на отражательную поверхность отражателя 2 и после отражения от нее проходит через полупрозрачный слой 30 светоделителя 8, затем через линзу 9попадает на фотоприемник 10. Другой поток проходит через полупрозрачный слой, падает на отражательную поверхность светоделителя 8, отражаясь от которой, падает на фотоприемник 10,где образует интерференционную картину совместно с первым потоком. Полученное изображение в виде чередующих-, ся светлых и темных интерференционных...

Устройство для измерения угловых параметров деталей

Загрузка...

Номер патента: 1411578

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Белоус, Колбаско, Костюткин, Радевич, Сигов, Спорник, Яничкин

МПК: G01B 11/26

Метки: параметров, угловых

...также для повышения точности наведения диафрагмы 11 на центр дифракционного изображения, создаваемогопервым объективом 9 оптической системы.10Устройство работает следующим образом.Для измерения угловых параметровдетали 16, например угла клиновидности 6 стержня малого диаметра, стержень устанавливают в прост 1 анствемежду зеркалами 4 и 5, При этом в поле зрения зрительной трубы появляютсядва дифракционных кружка, возникающих в результате отражения пучков отпротивоположных торцов стержня, Размер центральной зоны световых кружков определяется известным выражением Эйри и для диаметров стержней менее трех миллиметров превосходит более, чем на порядок размер диафрагмы 11. После этого закрывают фотозатвор 8 и плавными разворотамистержня...

Устройство для измерения угловых перемещений

Загрузка...

Номер патента: 1411579

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Блайвас, Филиппова, Шарапова, Штыков

МПК: G01B 11/26

Метки: перемещений, угловых

...технике и может быть исполь Формула из обре тения Составитель А.ЗаболотскийТехред Л.Олийнык РЕдактор И.Шулля Корректор О. Кравцова Заказ 3643/36 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 зовано для измерения угловых перемещений,Целью изобретения является упрощене конструкции за счет выполненияогражателя в виде полого цилиндра свутренней отражающей поверхностью,установленного эксцентрично оси вала. 10На чертеже представлено устройств , общий вид.Устройство для измерения угловыхп ремещений содержит корпус 1, вал2 установленный в корпусе 1 с возм жностью вращения,...

Устройство для контроля прямолинейности перемещений

Загрузка...

Номер патента: 1411580

Опубликовано: 23.07.1988

Автор: Шиляев

МПК: G01B 11/27

Метки: перемещений, прямолинейности

...к другу отражающими поверхностями ретроотражателя 5и полуконического отражателя 10, параболического зеркала 11, позиционночувствительного Фотоприемника 12 оптически сопряженного с параболическим зеркалом 11, ретроотражатель 5выполнен в виде двух полуконическихотражателей 13 и 14.Устройство работает следующим об"разом.40Луч лазера 1 светоделителем 2 делится на два, один из которых поступает на фотоприемник 3, определяющийположение падающего на него луча, авторой луч, ориентированный паралле 45льна направлению передвижения объекта, - на полуконический отражатель13 ретроотражателя 5.За счет того, что поверхность отражателя 13 выполнена в виде частотноселективного фильтра, излучение длиной волныпроходит дальше и пос 1тупает на...