Календин

Номер патента: 1155128

Опубликовано: 27.10.1996

Авторы: Врублевский, Кадомский, Календин, Невзорова, Погоцкий, Полякова, Точицкий

МПК: H01L 21/66

Метки: литографических, размеров, слоев, элементов

Способ измерения размеров элементов литографических слоев, включающий формирование увеличенного изображения литографического слоя, измерение параметров увеличенного изображения и преобразование этих параметров в размер элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед формированием увеличенного изображения в литографическом слое выполняют голографическую решетку и наносят на его поверхность латексные сферы, увеличенное изображение литографического слоя формируют с помощью растрового электронного микроскопа, после чего проводят юстировку микроскопа по латексным сферам, а параметры увеличенного изображения измеряют по форме распределения видеосигнала, при этом определяют расстояние B, соответствующее размеру...

Номер патента: 1635147

Опубликовано: 15.03.1991

Авторы: Вайнер, Васин, Календин, Кононенко, Марченко, Пономарев

МПК: G01R 27/26

Метки: емкости, объекта, проводящего, электрической

...Р 1 входа регистратора 3 емкость С 1 груз и выбирают из ссогношеия1С 1 -" -- ,О Ркгде гк - циклическая частота переменного поля;Й 1 - активное сопротивление нагрузки В этом случае, исходя изх описанной схемы измерений, соотнсоение для цаця. жений имеет видСэ СоСэ+С 1 Со С 1Из системы уравнений (1) определяют собственную электрическую емкоеь уединенного гроводящего обьекта по форглуле Ко КэОэ , Оогде Кэ = - и Ко = -- - - коэфф;ц, тыР уэпреобразования поля;Оэ и Оо - величины измеренного наццяжения на агрузке в случае подклоче 1 я к фидеру эталона и исследуемого объекта сс ответственно;уев потеццал поля в имитаторе, Со и Сэ - собственцаЯ егкость селеДУ емого обьекта и эталона соотвесяго,С 1 - емкость нагрузки, вкпочающэя ем кость кабеля и...

Номер патента: 1597669

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Гурина, Календин, Климовицкий, Морозова, Северин

МПК: G01N 1/28, G01N 23/225

Метки: виде, градуировки, меры, микроскопов, приготовления, тест-объекта, увеличения, штриховой, электронных

...вешества от точечного источника испаренияпод углом, близким к углу 9 , Этообеспечивается определенным расположением точечного источника, установленного на расстоянии от поверхностирешетки, равном 1 = а . сСдф.При этом на меньшей грани зуба,на которую впоследствии наносится 15оттеняющий слой, обуславливающий качество и периодичность структуры,происходит сглаживание рельефа имикронеровностей кромки зуба, выз"ванных механическими деформациямии повреждениями в процессе нарезания зуба на поверхности стекла.Одновременно нанесенный промежуточныйслой исключает искажение периодичности, связанное с механическими деформациями реплики в процессе ее отделения,20 П р и м е р. На очищенную дифракционную решетку из точечного источЗО ника испарения...

Номер патента: 1411572

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Григорьев, Желкобаев, Календин, Кухтевич, Супьян, Троцишин, Фролов

МПК: G01B 9/02

Метки: диапазона, оптического, фазометр

...3 от генераторов 10 и 11 возбуждения подают высокочастотные сигналы с различными частотами. В результате дифракцин излучения лазера 1 на выходе акусто- ф 5 оптических модуляторов 2 и 3 появляются дифрагированные лучи плюс первых порядков и недифрагированное излучение нулевого порядка дифракции,Дифрагированные лучи с помощью уголковых отражателей 4 и 5, зеркала б и оптического смесителя 7 совмещаются и поступают на вход фотоприемника 8. В результате на выходе фотоприемника 8 появляется сигнал с частотой, равной разности частот колебаний генераторов 10 и 11 возбуждения. Зтот сигнал поступает на вход системы 9 регистрации фазового сдвига, на второй вход которой поступает опорный сигнал от электрического смесителя 12, выделяющего сигнал...

Номер патента: 1392363

Опубликовано: 30.04.1988

Авторы: Календин, Кравченко, Супьян, Троцишин

МПК: G01B 21/00

Метки: компаратор, линейно-угловых, перемещений, фазовый

...фотоприемника 7 пропорционально удвоенному углу сдвига поляризатора 8 при прохождении через него линейно поляризованного излучения двухчастотного лазера 1, у которого направление плоскости поляризации, вращающейся с частотой, равно полураэности частот излучения лазера 1. Изменяя угловое положение поляризатора 8, можно задавать точно угол фаЗового сдвига электрическими сигналами или производить измерение фазометром б, или компенсируя его фазовращате" лем 14 (при проверке фазовращателя Фазометр используется как нуль-индикатор).Можно задавать угол фазового сдвига между электрическими сигналами в точках а и б или б и в с помощью Фазовращателя 14, измеряя его Фазометром 6, что эквивалентно изменению углового положения подвижного поляризатора...

Номер патента: 1383089

Опубликовано: 23.03.1988

Авторы: Горбатюк, Календин, Супьян

МПК: G01B 9/02

Метки: излучения, лазерного, сдвигов, фазовых

...14 и 15, Питание (возбуждение) однополосных акустооптических моду 1383089ляторов осуществляется напряжениемфиксированной частоты, в пределах5-80 МГц. Частота возбуждения определяется конструктивными размерамикварцевой пластины выбранного видамодулятора. Питающие напряжения генераторов 23 и 24 расстроены на частоте друг относительно друга на величину 1 = - : - = 10-100 кГц, опре 2 д деляющую значение промежуточной частоты.При прохождении через однополосные акустооптические модуляторы 14 и. 15 излучение лазера получит смещение по частоте на величину1с/А,=и отклонится на угол Брегга где с - скорость распространениясвета в вакууме,- длина волны излучения лазера в акустооптическомматериале,ЛЛ,2 в длины волн ультразвука,возникающего в...

Номер патента: 1213433

Опубликовано: 23.02.1986

Авторы: Желкобаев, Календин, Супьян, Троцишин

МПК: G01R 25/04

Метки: калибратор, прецизионный, фазы

...1 порядок), на нулевой порядок фаза модулирующего сигнала не переносится. Пространственно разведенные лу- . чи нулевого и + 1 порядка с помощью устройства 5 сведения лучей сводят,ся в плоскости фоточувствительной части фотоэлектрического преобразо 10 15 20 25 35 40 выходного сигнала фотоэлектрического преобразователя 6 будет определяться временной начальной фазой излучения лазера, пространственными систематическими набегами фазы в оптических элементах на пути лучей, а также начальными временной фазой генератора 4 и пространственной фазой возбуждаемой акустической волны в ОАОМ 2. Под временной фазой колебания понимается фазовый сдвиг, вызванный временной частотой с = ИС, а под пространственной фазой, вызванной пространственным...

Номер патента: 1022070

Опубликовано: 07.06.1983

Авторы: Календин, Кухтевич, Педоренко, Супьян

МПК: G01R 25/00

Метки: радиоимпульсный, фазометр

...первого блока удлинения видеоимпульсов, а первый вход второго электронного ключа соединен с вторым выходом этого блока, два других входа этих ключей обьединены и соединены с выходом первого блока определения полярности видео- импульсов, первый вход блока определения квадранта соединен с объединенным выходом первого и второго электронных ключей, а второй вход - с объединенным выходом- третьего и четвертого электронных ключей, вход первого усилительно-согласующего элемента соединен с первымвыходом первого блока удлинения видеоимпульсов, а вход второго - свторым выходом второго блока удлинения видеоимпульсов, входы линейногоделителя напряжения соединены с выходами первого и второго усилительно-согласующих элементов, Н входовц-канального...

Номер патента: 969102

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Гаркавенко, Календин, Кухтевич, Пронин, Савлюк, Супьян, Федосеев

МПК: G01R 25/00

Метки: фазометр

...тока черезпоследовательно соединенные генера тор опорного напряжения и второйФормирователь; выход триггера присоединен к одному иэ входов элементасовпадения, второй вход которого,соединен с генератором счетных импульсов, а выход через счетчик импульсов подсоединен к одному из входов блока управления запоминанием, второй вход которого соединен с входом второго формирователя.При этом оптический двухканальный интерферометр снабжен первой, второй третьей, четвертой, пятой и шестой светоделительными пластинами, первым вторым и третьим зеркалами на пьезокерамике, первым и вторым поглотителями света, первым и вторым фотоприемниками, причем оптический вход двухканального интерферометра связан с первой и второй светоделительными...

Номер патента: 506755

Опубликовано: 15.03.1976

Авторы: Желбокаев, Календин, Кухтевич, Прыгунов, Федосеев

МПК: G01B 9/02

Метки: диапазона, излучения, сдвигов, фазовых

...при помощи которого можно изменять фазовую задержку светового потока в этом канале. В обоих каналах интерферометра симметрично размещены акустооптические однополосные модуляторы 13 и 14 с системами формирования световых потоков, выполненными в виде двух фокусирующих элементов: 15 и 16 в из 10 5 20 25 Зо 35 40 4мерительном канале и 17 и 18канале.Электронная часть включает в себя следующие блэки. Полосовой фильтр прэмежуточной частоты 19, па который поступает электрический сигнал с фотодетектора; гене. раторы питания однополосных модуляторов измерительного 20 и опорного 21 каналов, предназначенные для подачи питающих напряжений ца эти модуляторы, а также радиочастотный сместитель частоты генераторов питания 22; высокоточный цифровой...