Емкостное устройство для измерений микроперемещений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 141156 7/00 ВСЕСоклк,ц ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ 4 ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ(71) Киевский политехнический институтим. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции(54) ЕМКОСТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯИЗМЕРЕНИЙ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и температурной стабильностихарактеристики преобразования емкостногоустройства для измерений микроперемещений. Устройство содержит емкостный преобразователь, в котором его потенциальныйэлектрод выполнен в виде двух пластин 3и 4, расположенных в одной плоскости с соответствующимии измерительными электродами 1 и 2. Пары эл,"родов расположены по разные стороны от экранируюгцих электродов 5 и 6, закрепленных параллельно один другому с противоположных сторон диэлектрической подложки 7. Измерительные электроды присоединены к входам дифференциального усилителя 8, образуя с его входными сопротивлениями мостовую схему измерения, а также к входам сумматора 9, подключенного к источнику 10 питания. При перемещениях объекта на выходе усилителя 8 формируется сигнал, равный разности потенциалов, наводимых на электродах 3 и 4 преобразователя и зависящих от зазоров между ними и соответствующими экранируюшими электродами, которые изменяются дифференциально. Одновременно с помощью цепи обратной связи через сумматор 9 обеспечивается регулирование напряжения пита- Ж ния преобразователя так, чтобы сумма напряжений на его измерительных электродах Цф поддерживалась постоянной. Благодаря это- уему обеспечивается повышение точности измерений микроперемещений и компенсируются температурные погрешности. 2 ил.1411568 фиг 2 Составитель М. ЛаваришекРедактор И. Цугьза ехред И. Верес Корректор Г. РешетникЗаказ 3841/35 Тираж 680 ПодписноеВНИИ 1 ос тарствспного комитса СССР по лслая изобретений и открытий13035, Москва. Ж 35 Ранская наб., л. 4/5Произво;ств.,о-полигнфнческое прслприятнс, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 5 1 О 15 20 25 30 35 40 ствие чего изменяется наводимое на измерительных электродах напряжение. Это приводит к изменению в противоположные стороны емкостных сопротивлений х и х 2, включенных в смежные плечи мостовой схемы измерения, Благодаря разбалансу моста появляется сигнал на выходе дифференциального усилителя 8, равный разности напряжений 1.1 и 1.2, наводимых на измерительных электродах 1 и 2 в функции зазоров между ними и соответствующими им экранирующими электродами 5 и 6, а фаза сигнала разбаланса меняется на 180 при переходе через точку баланса моста. Одновременно напряжения Ц и, с измерительных электродов подаются на вход сумматора 9, который обеспечивает регулирование напряжения источника 10 питания так, что сумма выходных сигналов 1. и 14 емкостного преобразователя остается постоянной. Благодаря этому обеспечивается повышение точности измерения микроперемещений вследствие повышения линейности характеристики преобразования и компенсируются погрешности измерения,формула изобретенияЕмкостное устройство для измерений микроперемещений, содержащее источник питания, подключенный к нему сумматор, усилитель и дифференциальный емкостный преобразователь с параллельно расположенными плоскими измерительными электродами, потенциальным электродом и двумя экранирующими электродами, кинематически связываемыми в процессе измерений с об ьектом контроля, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и стабильности характеристики преобразования, потенциальный электрод выполнен в виде двух пластин, которые вместе с измерительными электродами расположены попарно по разные стороны от экранирующих электродов, последние закреплены параллельно один другому на противоположных поверхностях диэлектриеской подложки, усилитель выполнен дифференциальным, а оба измерительных электрода подключены к входам сумматора и дифференциального усилителя.
СмотретьЗаявка
4158757, 10.12.1986
КИЕВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. 50-ЛЕТИЯ ВЕЛИКОЙ ОКТЯБРЬСКОЙ СОЦИАЛИСТИЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ
БАТРАК ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ, КОСТЕНКО ВИКТОР МИХАЙЛОВИЧ, ПРОКОФЬЕВ МИХАИЛ ИВАНОВИЧ, ЧЕПУРКО АНДРЕЙ ЮРЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 7/00
Метки: емкостное, измерений, микроперемещений
Опубликовано: 23.07.1988
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1411568-emkostnoe-ustrojjstvo-dlya-izmerenijj-mikroperemeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Емкостное устройство для измерений микроперемещений</a>
Предыдущий патент: Устройство для бесконтактного контроля положения объекта
Следующий патент: Накладной электромагнитный преобразователь для измерения толщины неэлектропроводящих покрытий
Случайный патент: Безопасный электрический соединитель