Способ настройки интегральных тензомостов с питанием от источника стабилизированного тока

(9) И) А В 7/13 51)4 ВСГ МОЗГА САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ едоиам то и упростить ей аппаратуУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Государственный научно-иссл вательский институт теплоэнергет ческого приборостроения(56) Авторское свидетельство СССР У 894345, кл. С О 1 В 7/18, 1980,Авторское свидетельство СССР Р 691682, кл. С 01 В 7/13, 1978, (54) СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОМОСТОВ С ПИТАНИЕМ ОТ ИСТОЧНИКА СТАБИЛИЗИРОВАННОГО ТОКА(57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способ изготовления интегральных тензомос и может быть использовано при индиви дуальной настройке тензомостов, пред назначенных для работы при переменных температурах. Цель изобретения овышение точности измерения в усло виях воздействия переменных температур за счет стабилизации получаемогопри настройке начального уровня сигнала тензомоста, что достигается из-.мерением начального уровня сигналаи сопротивления диагонали питаниятенэомоста при двух различных температурах в режиме питания тезомостастабилизированным напряжением с последующим расчетом требуемого значе"ния начального уровня напряжения иподгонкой его путем разрыва перемычек 7 или 3 компенсационного резистора 5 или 6, изготовленного иэ тогоже материала, что и резисторы 1, 2, 3или 4 тензомоста. Выбор резистора 5или 6 определяется знаками ухода напряжения и сопротивления тензомостаот температуры. Способ позволяет повысить точность измеренияэксплуатацию регистрирующры. 1 ил.50 .Ф ор мул зобр ет ени Способ н тензомостов стабилизиро ся в том, ч вень сигнал ных темпера с питанием анного ток источникаэаключающийчальный уроэмеряют н ЯТъ)-0(Цы ей е е евК(Т )1 п определяют Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам изготовления интегральных тензомосов, и может быть использовано при ндивидуальной настройке тензомостов5процессе контроля их температурных арактеистик.Целью изобретения является повыение точности измерения в условиях оздействия переменных температур за чет стабилизации получаемого при натройке начального уровня сигнала ензомоста, что достигается иэмереем начального уровня сигнала и со ротивления диагонали питания тензооста при двух различных температурахрежиме питания стабилизированным апряжением с последующим расчетом ребуемого значения начального уровня оподгонкой путем разрыва перемычек опротивления компенсационного резисора, изготовленного из того же матеиала, что и другие резисторы тензооста, до величины, создающей это 25 ребуемое напряжение.На чертеже представлена технология нтегрального тензомоста, предназнаенного для настройки предлагаемым пособом, перед началом процесса натройки.Интегральный тенэомост содержит етыре рабочих резистора 1 - 4, выолненные, например, из кремния с сответствующим типом проводимости и асположенные на периФерии круглой ембраны датчика давления, два ком 1 енсационных резистора 5,и б из тогое материала, выполненные в виде отдельных участков, зашунтированных перемычками 7 и 8, и токопроводящие форожки 9 с контактными площадками 10, йредставляющими собой вершины диагоналей тензомоста.Способ осуществляется следующим образом,45Подключают диагональ питания тензомоста к источнику стабилизированноо напряжения и измеряют начальный ровень сигнала тензомоста при двух различных температурах, Одновременно ри тех же температурах определяют сопротивление диагонали питания теномоста. Полученные данные подставляют в Формулу для расчета требуемо :Го уровня выходного напряжения где 0 - расчетное значение .нанряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста, обеспечивающее стабилизацию начального уровня сигнала тензомоста от температуры; ЩТ)и Б(Т) - напряжения на выходе измерительной диагонали тензомоста при температурах Т, и Т,К(Т)и К(Т) - сопротивления диагонали питания тензомоста при темпеРатурах Т 1 и Т.Затем производят подгонку одного иэ двух имеющихся в смежных плечах тензомоста компенсационных резисторов 5 или б, причем выбор резистора 5 или б определяется знаками ухода от температуры начального уровня напряжения и сопротивления тензомоста. Для этого разрывают в соответствии с выбранным параметром, характеризуюпдм величину компенсационного резистора 5 или 6 - напряжением на выходе измерительной диагонали тензомоста, поочередно перемычки 7 или 3 до тех пор, пока наблюдаемое значение напряжения на выходе не станет равным в пределах принятого допуска на дискретность подгонки значения сопротивления напряжению, рассчитанному по Формуле (1). На этом настройка интегральногоо тенэомоста заканчивается и он готов к эксплуатации в условиях воздействия переменных температур,Использование предлагаемого спосо ба позволяет повысить точность.измер ния физических параметров при наличии такого влияющего Фактора как меняющаяся ьо времени температура При этом уменьшается аддитивная составляющая погрешности теизомоста от температуры и упрощается ее эксплуатация, поскольку начальный уровеньсигнала с тензомоста остается постоянным и не требует регулировки послдующей регистрйрующей аппаратуры. строики интегральных моста при двух различурах, расчетным путемараметр, характеризующий1411571 Составитель,Н.ТимошенкоРедактор И.Шулла Техред Л.Олийнык Корректор О. Кравцова Заказ 3643/36 Тираж 680. Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 величину сопротивления компенсационного резистора, добавляемого в одно из плеч моста в зависимости от знака аддитивной температурной чувствительности моста, и путем разрыва перемы 5 чек, закорачивающих отдельные участки компенсационного резистора, устанав" ливают требуемую величину этого параметра, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения в условиях воздействия переменных температур за счет стабилизации получаемого при настройке начального уровня сигнала тензомоста, начальный уровень сигнала тензомоста при двух различных температурах измеряют в режиме питания тенэомоста от источника стабилизированного напряжения, при этих же температурах опре О деляют сопротивление диагонали питания тенэомоста, а в качестве параметра, характеризующего величину сопротивления компенсационного резистора, выполненного из того же материала, что и другие резисторы тенэомоста, используют расчетное значение напряжения на выходе тенэоместапри его питании от источника стабилирированного напряжения, полученное поформуле Я(Т 2)-0(Т)Цжк(т,)1 п - -т 2где П - расчетное значение напряжения на выходе измерительнойдиагонали тензомоста, обеспечивающее стабилизацию начального уровня сигнала от температуры;йт,),П(Т ) - напряжения на выходе измерительной диагонали тензомостапри температурах Т 1 и Т 2,К(Т,),К(Т 2) - сопротивления диагоналИ питания тензомоста при температурах Т, и Т 2.