Патенты с меткой «травитель»

Номер патента: 109528

Опубликовано: 01.01.1957

Автор: Панкова

МПК: C23F 1/34

Метки: меди, медной, основе, сплавов, травитель

...кислоте, аммиачный раствор сернокислой мсдп ц т. д.Но указанные травители, особенно при травлении свинцовых латуцей, вызывают цзлиц 1 нег окисление травленой поверхности, что трсбус повторной цолцронкц и т г 1;1 В,1 СИ 5Предметом описываемого цзсзбрстнця является новый трзвитель, который состоит из смеси раствора МГСКЦС 10 й аСДЦ Ь с 51 сцс 1 КС Ц Рс 1- створз церсульфзтз зммо 1 ця, кото- ПЫЦ ЦС ВЫЕСТ МКЗЗЗ ННЫХ НС;1 ОСТс 1 ТТрзвцтсль, согласно изобретению, приготовляется слсдующцм образом.В свсжсприготовленцую углскислую соль меди в виде осадка добавляют аммиак до полного растворения осадка. Углексдую соль ысди приготовляют путем обработки цасьццсцного раствора медного купороса насыщенным раствором соДЪ 1, ПОЛ УЧСННЫИ Оссвывают,К...

Номер патента: 115965

Опубликовано: 01.01.1958

Автор: Васильев

МПК: C23F 1/28

Метки: выявления, жаропрочных, макрои, микроструктуры, сплавов, сталей, травитель

...выделени лотных паров, в его соляная кислота уд. честве 500 смз, серна 1,84 в количестве 25 500 см и медный ку честве 100 г. Комитет по делам изобретктор Е, Г. Гончар истров ССС Совете и и открыти нформационно.издательский отдел Подп. к печ. 22.Л 11-58 г.бъем 0,17 п, л. Зак. 2827 Тираж 1300 Цена 25 коп. Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 14Известные растворы для травления жаропрочных сталей и сплавов, имеющие в своем составе водный раствор соляной и серной кислот, применяются при высоких температурах, что связано с выделением кислотных паров, вредно влияющих на здоровье обслуживающего персонала. Для устранения указанных недостатков предлагается в состав травильного раствора...

Номер патента: 232003

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Бриллиантов, Наслузов

МПК: C09K 13/06

Метки: поверхности, полупроводников, травитель

...РОВОДН И КО В РАВИЕЛ травления составляет 3,5 - 4,5 лг/слг- агин этом получают ровную зеркально-полир ную повер.хность при ян. авитель отличается от из целью улучшения качесторости травления, в расти плавиковую кислоты при ении компонентов (в объ 10 Травитель для обраоотки поверхности,проводников, например антимонида индиоснове винной кислоты и перекиси водоотгичаюгггпг 1 ся тем, что, с целью увелискорости и улучшения качества травлв раствор вводят азотную и плавиковуюлоты, при следующем соотношении комптов (в ооъезгах) .винная кислота (26 - 27% )перекись водорода (30%)азотная кислота (65% )плавиковая кислота (40% ) полуя, ня рода, чения ения,кпс- онента (26 - 27%)рода (30%)та (65%)ислота (40%) винная кисло перекись водоазотная...

Номер патента: 308470

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Зайченко, Кузин

МПК: H01L 21/306

Метки: полупроводниковых, травитель

...многочисленные травители для травления полупроводниковых м атериалов. В частности, широкое распространение имеют травители кислотно-щелочного типа.Однако вое известные травители не позволяют определить границу срастания подложка-пленка, так как кристаллы одинакового типа проводимости травятся в специальных химических травителях примерно одинаково,Цель изобретения - выявить границу срастания эпитаксиальной пленки арсенида галлия на подложке арсенида галлия того же типа проводимости.Поставленная цель достигается тем, что травитель содержит ЗНМОэ+НГ+5 НгО и 6 ИаОН+НгОг в соотношении от одной до пяти весовых частей первого компонента на одну весовую часть второго компонента.Вышеуказанная жидкая смесь хорошо выявляет границу...

Номер патента: 385353

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Паршина, Смирнов

МПК: H01L 21/306

Метки: полупроводников, травитель

...также газооб травления идет с образ стого кремния и углеро 11 али гие углеродной фазы на поверхности травящегося крлсталла увеличивает время травления, затрудцяет процесс травления, требует проведения дополнительных операций по удалению слоя углерода с поверхности. При наличии углеродцой фазы на поверхности невозможно точно контролировать процесс травления, что, в свою очередь, не позволяет снимать тонкие диффузионные слоя.Цель изобретения - обеспечение селективного травления и точного контроля процесса, возможности применения травителя ца различных стадиях изготовления приборов, а также сокращение технологических операций при травлении с улучшением качества обрабатываемой поверхности.Поставленная цель достигается тем, что в...

Номер патента: 391613

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: H01L 21/465

Метки: пленок, снятия, титана, травитель

...титана, содержащие сильные кислоты, либо смеси сильных кислот (серной, азотной, соляной; плавиковой и азотной), непригодны для такого стравливания, так как при этом траленку фоторезистора и слой, тем саазрушая полупроводниковые струкжатся следующие компоненты: ХН 10 - 15 г; ХН 4 Р - 1 - 1,5 г; НС 1 - 0,2 - О, л; Н,О - 90 - 100 мл; ТС - б 5 - 70.Травитель состава: аммоний хлористый - 5 10 г; аммоний фтористый - 1 г; соляная кислота - 0,2 мл; вода - 90 мл был опробован на приборах ГТ 328. Стравливали участки пленки титана толщиной 0,2 - 0,27 мкм при б 0 С+ 5 С в течение 1,5 - 2 мияПри трав ленни титана пленка фоторезиста не разрушалась и титан под резистом не подтравливался. Поверхность слоя окисла в местах травления титана чистая, без...

Номер патента: 369651

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Государственный, Проектный

МПК: H01L 21/306

Метки: травитель

...травления наплоскости типа (100) представляет известныетрудности, связанные с окислением поверхности и выявлением фигур травления недислокационного характера.Настоящее изобретение представляет собойтравитель для выявления дислокаций в образцах монокристаллического кремния, ориентированных по плоскости (100), который состоит 25из 7 - 9 частей плавиковой кислоты, 1 частираствора хромового ангидрида в воде и 2 частей воды,Предлагаемый травитель ддислокаций на плоскости типа 30 ван на серийных образцах кремния, легированных Р, В, Аз, 5 Ь, А 1 в широком диапазоне концентраций легирующей примеси.Пример.Образцы, ориентированные по плоскости (100), шлифуются порошком Ми химически полируются в смеси НГ: НХО,=1:2. После тщательной промывки...

Номер патента: 427427

Опубликовано: 05.05.1974

Автор: Постовит

МПК: H01L 21/465

Метки: железа, окиси, пленок, травитель

...экспонируют и проявляют обычным способом. Травление производят в 1%-ном растворе Ге 504 в кон. центрированной соляной кислоте уд. веса 1,18.После вытравливания рельефа фотошаблона фоторезист удаляют в диоксане и тщательно промывают в дистиллированной воде,Травительнове концептотличающийсскорости травдимости рисудержит соли15 вес. %. для пленок орированнойя тем, что, сления и улучка при фотодвухваленатно иси железа на оссоляной кислоты, ,целью увеличения щения воспроизволитографии, ои сого железа от 1 до Изобретение относится к технологии изготовления фотошаблонов на напыленных пленках окиси железа.Известно, что пленки, формируемые реактивным катодным распылением в кислороде, 5 не,поддаются травлению в концентрированных кислотах при...

Номер патента: 441615

Опубликовано: 30.08.1974

Авторы: Костюк, Торба

МПК: H01L 21/465

Метки: окислов, пленок, сурьмы, травитель

...относится кники и может быть испольлитографии и травлении динок окислов сурьмы, испольв технологии изготовления(ИС).Цель изоувеличениелов сурьмы.Цель достигается использлеция пленок окиси сурьмделах 40 в 1 С) смеси вилот при следу 5 ощем сооттов, вес. %:Винная кислота С 4 Н 60Серная кислота Н 2504Вода НОТравление, например, с истава, вес, %:С,Н 606Н 2504Н,О областиованолектричзуемых,интеграл исходит со скорои темпе электрори фотоских плеапример, ных схем бнарусмеси ЬЬОз ая пот этом невоздействия фии плено ровность к 0,5 мкм. стью окол жив аются на фоторе тол щинои лучаемого бретения - улуч скорости травл ие качества ц пленок окиседмет цзоорете 10 ованием для травы горячей (в иреной и серной кцсошении компонецкислов сурьмы на цной...

Номер патента: 446870

Опубликовано: 15.10.1974

Авторы: Блинов, Егорова, Морозова, Скуковская

МПК: G03C 5/48

Метки: полиимида, травитель

Номер патента: 448253

Опубликовано: 30.10.1974

Авторы: Михайлов, Новиков, Носков, Уманская

МПК: C23F 1/00

Метки: травитель

...делаеттравигель неоднородным по составуи затрудняет процесс, посколькускорость травления становится нелинейной.При гравлении извесгным травителем полупроводниковых пластин,например кремниевых, значительноискажаегся исходная форма элементов рисунка, искажение проявляется в расгравливании углов (р=16-10 мкм), образованных переаече 53) Удк 621.794.422.й 621. 382. 002088,81,Составитель ЮМИХайЛОВРедактор МБЫЧКОВа Гекред Н СЕНИНа,и,кдрандашова цд Д 1 ираж й Я Подписи ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министроинист ов СССРпо делам изобретений и открытийМосква, 113035, Раушская наб 4 ппппиятие Патент. Москва, Г, Бережковская наб., 24 44823схем при вытравливании ч - образ ных канавок на кремниевых пластинах с ориентацией (100) равно=...

Номер патента: 508825

Опубликовано: 30.03.1976

Авторы: Преображенская, Фогель

МПК: H01L 21/465

Метки: двуо-киси, кремния, растворения, слоевсурьмяно-силикатного, стекла, травитель

...Н. Коляда Корректор Е. Хмелева Заказ 5192 Изд Лв Я 4 Тираж 963 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР но делам изобретений н открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5МОТ, Загорский филиал 3силикатного стекла и двуокиси кремния, содержащей воду и фтористоводородную кислоту, введен йодистый аммоний, а компоненты травителя взяты в следующем соотношении, моль/л:Фториотоводородная кислота 18,34 - 27,34 Вода (деионизованная) 0,06 - 11,11 Йодистый аммоний 0,03 - 9,00Травитель обеспечивает полное удаление слоев су 1 рьмяно-,силикатного, стекла и двуокиси к 1 ремния с поверхности кремния без возник 1 новения на последнем окрашенных пленок как при наличии обоих слоев, так ,и по отдельности,П р и м е р 1....

Номер патента: 521921

Опубликовано: 25.07.1976

Автор: Еланская

МПК: B01J 17/00

Метки: антимонида, индия, травитель

...ляет Травление длил цы промывали вод выявлялись в виде вершиной. атемисл ми л к о онусообразных я и быть рмула и етени инТравитель для антимо ший соляную кислоту и п личаюшийся те,выявления дислокаций по 111), (110 (100,нительно содержит молоч следующем соотношении к Соляная кислота Пергидроль я Молочная кислотасо ем с 0 - 250 0 - 150 0 - 400 лупроводниковых материалов,Известен травитель, выявляюшийкации в монокристаллах антив состав которого входят азая и уксусная кислоты,Однако известный травитель выядислокационные ямки травления толодной или двух кристаллографическикостях,Известен также травитель, состоиз соляной кислоты и пергидроля.Однако этот травитель не может1использован для травления антимони дня.Целью изобретения...

Номер патента: 534835

Опубликовано: 05.11.1976

Авторы: Кулагин, Румак, Сергеев, Черных

МПК: H01L 21/465

Метки: выявления, кремния, кристаллической, нарушения, поверхности, полированной, структуры, травитель

...используют главным образомдля оценки дислокационной структуры монокристаллического кремния по фигурам травления и для химической полировки кремниевыхпластин с ориентацией 3 1 25 Недостатком травителя являются высокиескорости травления, что приводит к одновременному травлению всей поверхности кремниевых пластин и не позволяет выявлять дефекты предшествовавшей сгадийной механической обработки, а также нарушений кристаллической структуры поверхности кремниевойпластины, ориентированной параллельно плоскости (3.00 при внедрении акцепторных идонорных примесей в кремний,Целью изобретения является повышениеизбирательности к нарушениям кристаллической структуры поверхности кремниевой пластины, ориентированной параллельно...

Номер патента: 544019

Опубликовано: 25.01.1977

Авторы: Канчуковский, Мороз, Преснов, Шенкевич

МПК: H01L 21/306

Метки: полупроводниковых, травитель

...го на поверхностьбО наносят слой позитивного фоторезистора на основе нафтохинондиазида методом центрофугирования. Далее образцы подвергают сушке при комнатной температуре в течение 20 мин в сушильномошкафу при 85 С в течение 15 мин. Р эпэнироввние осуществляют при эсвешс .ности 6000 лк в течение 1,5 мин. Проявление проводят в 0,125% ном растворе МстОНв течение 30-40 сек. Процесс задубливания фоторезиста осуществляют при 70 С в течение 30 мин. с постепенным повышением температуры доо170 С и выдерживают при этой температуре в течение 35 мин, Вскрытие окон в 50 проводят в трввителе следующего состава;544019 Составитель Е. БычковаРедактор Т, Иванова ТехРед Н. АндРейчУк КоРРектоР Ж. КеслеР Заказ 836/67 Тираж 976 Подписное БНИИПИ...

Номер патента: 546043

Опубликовано: 05.02.1977

Авторы: Абдурагимов, Курбанов, Яценко

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...были приготовлены травители следующего состава.Пр и м ер 1. 0,1 г РеС 1 з 1 при комнатнойтемпературе растворяют в 50 лтл деионизованной воды и добавляют 2,4 г Кз 1. е(СМ)з 1,10 затем добавляют 38,5 лл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 30 сек без перемешивания.В результате травления участки с различнойповерхностной концентрацией олова приобре 15 тают различные оттенки синего цвета. Большеи концентрации олова соответствуют участки более темной окраски.П р имер 2, 1 г РеС 1 з при комнатнойтемпературе растворяют в 28,5 лтл деионизо 20 ванной воды, добавляют 3,5 г КзРе(СИ) 63, азатем добавляют 58 лтл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 5 - 10 сек без...

Номер патента: 557434

Опубликовано: 05.05.1977

Авторы: Карантиров, Клюбина, Михайлов, Носков, Петров

МПК: H01L 21/465

Метки: анизотропный, травитель

...Т, Орловская Техред Г. Родак Корректор Н. Ковалева Заказ 866/62 Тираж 976 Подписное 11 НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент, г, Ужгород, уд. Проектная, 4 2,5%-ного водного раствора гидроокиси калия, приливают 3,5 мл 30%-ного раствора перекиси водорода.Смесь нагревают в стакане, закрытом жщоохдаждаемой крышкой, до температуры б 8 ОС. Затем в нагретую смесь помещаютопаастины кремния КДБ,5 с ориентацией ,поверхности в плоскости (100) и с защитной маской из двуокиси кремния толщиной 0,8 мкм. Элементы защитной маски выпод иены в виде оконф прямоугодьной формы с размерами сторон 160 х 80 мкм, В течение 30 мин травления образуется...

Номер патента: 557435

Опубликовано: 05.05.1977

Авторы: Зданович, Кузнецова, Пухов, Соколов

МПК: H01L 21/465

Метки: выявления, дислокаций, монокристаллах, растворов, ртуть-кадмий-теллур, твердых, травитель

...Т. Орловская Техреп Г, Родак Е 1 рректэр Н. Ковалева Заказ 866/62 гираж 976 Подписное оНИИПИ Государственного комитета Совета Минхстрэв СССР пэ делам ьхзэбсетеххий ч эткрьгий 113035, Москва Ж, Раушская чаб. д. 4/5Филиал ППП фПхатент, г, Ужгорэд ул, Проектная, 4 в состав травителя дополнительно введена фтористоводородная кислота, а в качестве окислителя применен хромовый ангидрид, при этом компоненты взяты в следующем соотношении об.%): Ь50%-ный водный раствор хромового ангидрида 30-40соляная кислота 30-35 плавиковая кислота 30-35П р и м е р 1. Образцы, вырезанные 10 из кристалла С 4 Н, Те с переменным по длине составом (х=0,1-0,9), по плоскости 110) шлифуют микропорошком М, затсм химически полируют в 8%-ном растворе брома в НВР,...

Номер патента: 568986

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Сарапинас, Синявичуте

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...з предлагаемом траз:теле тем, что оц дополн 1 ггельно содерж 1 т фтор".стый аммо 1:1 й, перец 1 сь водорода 11 позсрх 110 сцо-актцзное зещестзо при следующем соотношении компоне:1 тоз з растворе, зес. ч.: фторцстозодороднчя кислота 2,5 - 25, фтогшстый аммоций 36 - 75, перекись зодорода 20 в 1, поверхностно-актцзцос вещество 2 - 5, вода 15 в 1,Был Изготозле;1 ы тр: состава тразцтеля. Они приведены в табл. 1.568986 Таблица 1 Содержание, вес. ч 1 2, 3 Компонент 2,5 19,5 25 Фтористоводородная кислотаФтористый ахгмонийГ 1 ерекпсь водорода 75 , 60 36160 23 20 2, 3 5 Поверхностно-активное вещество СВ.1017 (ТУ-14-934-73) 15 84 1 О Вода Таблица 2 Формула изобретения Скорость травления, нк.н/яия 10 Травитель А 1 Т 1 Поверхность А 1 пасси....

Номер патента: 570936

Опубликовано: 30.08.1977

Авторы: Котлярова, Самородов

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...подтравливание алюминия.Цель изобретения -ного подтравливания по 53) УДК 621 382(088 8)570936 27,27 10 Таблица 1 Скорость травленияМСБ, А/сек Скорость травленияПХО, А/сек Скорость травленияМСО, А/сек Травители 30 2 43 42 41 44 60 66 61 80 103 110 Травитель 1 Травитель 2 Травитель 3 Травитель 4 Таблица 2 Скорость травления МСБ, А/сек Скорость травленияМСО, А 1 сек СкоростьтравленияГ 1 ХО, А/сек Кислота 52 30 24 20 188 61 56 48 71 41 32 26 МуравьинаяУксуснаяПропионоваяМасляная Остальное,Уксусная кислота30 - 40 е/в -ный водный ра-.створ фтористого аммония Остальное.П р и м е р 3. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об, /,;44 а/, -ный водный растворплавиковой кислоты 4,55Изопропиловый спирт 36,36...

Номер патента: 577589

Опубликовано: 25.10.1977

Авторы: Зданович, Пухов, Соколов

МПК: H01L 21/465

Метки: монокристаллов, полирующий, растворов, ртутькадмий-теллур, твердых, травитель, тройных

...ржит азотную , а компоненшении (об,%)30-40 30-35 ислот истоводородна 30-35мпонентов от уквь. кислотаОтклонение значензанных пределов приввврхности образцов. т к окислению поОбразны, вырезанные изйТ 6, шлифуют микропольно промывают водой Пример 1 кристаллов С 3 рошком М, и химически полир о,2 6 тшат Изобретение относится к обработке полупроводниковых материалов и может быть использовано как при исследовании выращенныхкристаллов, так и при изготовлении приборовиз этих кристаллов, в частности, тройных 5твердых растворов ртуть кадмийдтеллур,Известен полируюший травитель монокристаллов, представляюший собой 5 О/ ный раствор брома в метиловом спирте 1.Однако при полировании этим травителем Она поверхности образцов остаются трудноудалимые следы...

Номер патента: 637420

Опубликовано: 15.12.1978

Автор: Макарова

МПК: C09K 13/04

Метки: травитель, фарфора

...кислоту выпаривают до пирофосфорной и добавляют в горячем состояо нии к плавиковой кислоте. Соотношениекислот Н 4 РОт и НГ 9010 соответственно выявляет легче фарфоровые изделия. Изделие погружают в раствори стравливают при 50-150 С. По времени стравливания расчитывают глубинуснятия, плотность слояП р и м е р 2, Для ультрафарфорачшим соотношением является 80Рд Ои 20 Ъ НГ.Используют ортофосфорную кислотуплотностью 1,84 и доводят до состбяния НР От путем выпаривания или готОВУЮ НР От И К ГОРЯЧЕМУ РаотВОРУдобавляют НГ плотностью 1,14, осто- ЗО рожно, под вытяжкой. В горячий трв637420 Формула изобретения Плавиковая кислота(уд.вес 1,14 г/см)Пирофосфорнаякислота 15 10-20 80-90 Составитель Н.ГангардтТехред Э.Чужих , Корректор Н.Эолотовская...

Номер патента: 713410

Опубликовано: 30.01.1980

Автор: Горохов

МПК: H01L 21/306

Метки: германия, травитель

...в том,что реакция автокаталитическогоокисления германия продуктами диссоциации азотной кислоты подавляется относительно высокой концентрацией уксусной кислоты, введение которойснижает степень диссоциации ЯМО 3.Растворение окислов германия происходит не плавиковой кислотой, а во"дои. Оба этих фактора снижают скорость ЗО реакции на 2- 3 порядка по сравнению713410 Формула изобретения НИИПИЗаказ 5 илиал ППП "Пате аж 784 Подписно нт",г.ужгород,ул.Проектна с известным травителем, при этом происходит повышение чувствительности транителя к неоднородностям крист ал, а.Описываемые составы приведены на трехкомпонентной диаграмме (см. чертеж),П р и м е р 1. В 10 мл Н 20 добан 1 ляют 40 мл концентриронанной ННОЕ марки ОСЧ и 50 мл ледяной...

Номер патента: 716287

Опубликовано: 15.07.1981

Автор: Карлина

МПК: C09K 13/02

Метки: монокристаллов, рения, травитель, электролитическоготравления

...(Су Нум) у 5поверхностно активную аскорбиновуюкислоту или т "С С НОьПредлагаемый травитель дает четкуюкартину ростовой структуры монокристаллов Ве как по основным кристаллографическим плоскостям 10001,11100 1120, так и по плоскостямс другими кристаллографическими индексами,На основе раствора едкОго натра готовят растворы с разным содержаниемедкого йатра, г/л; ЙаОН 1,5; 1,6; 1,7;1,8; 1,9; 2,0; 1,б; осадок сока алоэПриготбвление травителяосуществляОют следующим образом. Берут 100 млсока ало -полуфабриката, приготовленного из бис-стимуляторных листьев алоэ(ФС 42-500-73), На дне емкости, вкоторой хранится сок, при отстаивании образуется осадок. Жидкость сливаот из емкости, а на ее дне и стенкахостается осадок, К части осадка, равно весу 0,3...

Номер патента: 881158

Опубликовано: 15.11.1981

Автор: Насыров

МПК: C30B 33/00

Метки: металлов, монокристаллов, травитель, тугоплавких

...(111) и(100) монокристалловниобия и молибдена, а также болееподробно выявлять субграницы в.иссле. дуемых кристаллах,Формула изобретения Составитель В. РыцаревРедактор И. Мнтровка Техред Ж,Кастелевич Корректор Г. Назарова Тираж 336 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ 9879/44 Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4 серной кислоты 46, 70 -ной азотнойкислоты 17, 48%-ной фтористоводородной кислоты 29, фторида,калия 5,2,остальное вода. Время травления 4045 с, температура 20-25 фС, Шлифы,отполированные и промытые в воде,переносят в травитель со смоченнойповерхностью. На протравленной поверхности хорошо выявляются дислокации, а также...

Номер патента: 784635

Опубликовано: 30.01.1982

Авторы: Дмитриева, Луфт, Свердлин, Хусид

МПК: H01L 21/306

Метки: антимонидов, галлия, индия, полирования, травитель, химического

...зеркально гладкой поверхности антимонидов индия и галлия без окисной пленки,Поставленная цель достигается тем, что травитель для химического полирования антимснидов индия и галлия, содери(ащцй плавиковую кислоту, перекись водорода и воду, дополнительно содержит молочную кислоту при следующем соотношении компонентов (вес. ): НГ1.120,МолочнаялотаВода 2 - 10 кис 30 - И Остальное.При использовании составов травптеля вне указанных пределов содержания компонентов качество обрабатываемой поверхности значительно ухудшается. Введение в состав травителя молочной кислоты, которая такие, как и плавиковая кислота, образует с сурьмой в кислых растворах растворимые комплексные соединения, обеспечивает получение зеркально гладкой поверхности...

Номер патента: 947233

Опубликовано: 30.07.1982

Авторы: Бароненкова, Борисова, Кондрашина, Фролова

МПК: C30B 33/00

Метки: 100, выявления, дислокаций, кремнии, плоскости, травитель

...предлагаемого травителя позволяет испольэовать его для выявлениядислокационной структуры эпитаксиальных слоев кремния, при использовании его для выявления дислокационной структуры в монокристаллах кремния повышается производительность процесса и экономится коемний и химический реагент. 1 ОП р и м е р. 1. Во фторпластовый стакан помешают 49-ого НГ 140 мл и Сг 033,3-ого раствора в воде 10 мл. Полученный травитель содержит 15 , НГ 526 г/л, СгО 23 г/л. Образецэпитаксиальную структуру с кристаллографической ориентацией (100)опускают в травитель и выдерживают 1,5 мин при постоянном помешивании. После этого образец промывают дистил.н Яэ данных таблицы можно сделать выйбд, что оптимальным составом травителя является раствор,...

Номер патента: 968050

Опубликовано: 23.10.1982

Авторы: Ожерельева, Фоминых

МПК: C09K 13/00

Метки: нитрида, пленки, тантала, травитель

...толщиной 0,12 мкм, Провповой процесс фотолитографиике Мо, используя н качестве кфоторезист ФП-РН.Напыляют пленку нитрида танталатолщиной 0,15 мкм. Проводят процессфотолитографии, предусматринающийформирование резисторов, а. затемтравят пленку нитрнда тантала трави-телем. В таблице представлены варианты предлагаемого травителя и результаты определения качества травления пленки нитрида тантала по изобрете" нию и по прототипу.Результаты, приведенные в таблице 10 ,свидетельствуют о том, что применение травителя для пленки нитрида тантала при формировании реэйстивного слоя кристалла полупроводникового прибора обеспечивает следую щие преимущества: в результате травления получается незначительный (0,3-0,5 мкм) уход размеров элементов,...

Номер патента: 988854

Опубликовано: 15.01.1983

Авторы: Бакунова, Белов, Вигдорович, Киреева, Козлова, Мухина, Пожарский, Сегалла

МПК: C09K 13/08

Метки: керамики, свинца, сегнетоэлектрической, системы, титанатэ, травитель, цирконата

...иин е ее сн нг ег,240 ги/лЪ йаЕ ННОГО 14,29 тост ь е е е см 1 11 редласаевй О,ь 045 0,0 -1- 3 О822,0 1 а 2,9066,ВО 32 о,а 430,0 ааа аоа аоа 400 25 25 25 25 зао зао В,10,о о,оо,о 800,3 98885Азотная кислота 0,50-9,20фторид-ионы 0,03-3,00Вода Ост ал ьноеПри этом травитель содержит фторид. ионы в виде фтористоводородной кисло" Б ты или ее аммонийной или щелочной соли.В полиэтиленовый сосуд емкостью 1 л,помещают от 31,50 см до 657,80 см3азотной кислоты (ГОСТ 4461-67) с аВ концентрацией 14,29 моль/л, от 1,34 смодо 134,00 см фтористоводородной кислоты (РЭТУ 74-58) с концентрацией 22,40 моль/л или навески фторидов аммония, натрия или калия (ГОСТ 4518-60, 4463-66, 4522-65, соотаетственно) в количестве 1,11 -111,11 г, 1,26-125,97 г и...

Номер патента: 860645

Опубликовано: 15.04.1983

Авторы: Бакланов, Земсков, Митькин, Репинский, Свешникова

МПК: H01L 21/306

Метки: кристаллов, полирующий, полупроводниковых, травитель, травления

...увеличения скорости гидролиза дифторида ксенона в воде, что может привести к нарушению стабильности процесса травления,20 25 30 П р и м е р. Раствор дифторидаксенона в воде готовят растворениемв бидистиллированной воде навесокдифторида ксенона, представляющего 35 собой белый порошок. Травление полупроводниковых кристаллов Са, 5,5 Аз п 5 Ь, СаР проводят в водномрастворе дифторида ксенона на травильной установке с вращающимся 40 фторопластовым стаканом, наклоненным под углом 70 . Образец погружаоют в стакан. Скорость вращениястакана 60-80 об/мин. Скорость травления оценивают по изменению весаобразцов за время эксперимента. Исходную концентрацию дифторида ксенона в воде в выполненных экспериментах варьируют от 0,1 до 2...