Травитель для обработки поверхности полупроводников

Номер патента: 57588

Опубликовано: 01.01.1940

Автор: Белопольский

МПК: C23F 1/46, C23G 1/36

Метки: кислотой, серной, сталей, травления

...травильного раствора и серной кислоты должно быть выбрано с таким расчетом, чтобы: 1) концентрация Н,804 в обезвоживающей смеси была доста. точна для быстрого обезвоживания;2) количество жидкости было доста. точно для создания благоприятных условий перемешивания с обезвоживаемым железным купоросом.С целью не,слишком большого разбавления серной кислоты можно для создания необходимого соотношения между жидкой и твердой фазами проводить обезвоживание в присут. ствии постоянного количества насыщенного в отношении одноводного ферросульфата раствора с желаемой концентрацией серной кислоты. Для отмывки кристаллов одноводной соли от сильно кислого маточника целесообразно пользоваться частью отра. ботанного травильного раствора с...

Номер патента: 688426

Опубликовано: 30.09.1979

Авторы: Межерицкий, Пастухова, Тененева, Федотова

МПК: C01B 17/90

Метки: кислоты, органических, отработанной, примесей, серной

...сконцентрированную до 50 -70% серную кислоту,Процесс очистки ведут при 120 в 1 С, 25При нагревании отработанной сернойкислоты под вакуумом происходит интенсивное испарение воды и легкокипящихпримесей и частичное разрушение органических примесей. При 120 - 140 С 50 - 30 270%-ная серная кислота и натриевая соль дихлоризоциануровой кислоты образуют сильнодействующую окислительную смесь, в которой разлагаются бромсодержащие органические примеси.П р и м е р. 500 г отработанной серной кислоты с производства бромистого этила нагревают под вакуумом 0,7 кгс/сме до 140 С. По достижении 140 С и концентрации серной кислоты 70% в нее вводят 0,2 г (0,4 вес. % ) натриевую соль дихлоризоциануровой кислоты и выдерживают в течение 30 мин.Степень...

Номер патента: 956453

Опубликовано: 07.09.1982

Авторы: Алиева, Векилова, Оруджев, Шахтахтинский, Шик, Эфендиев

МПК: C07C 63/04

Метки: алкилбензолмонокарбоновых, кислот, низших

...200 см (172 г) и-ксилола и 0,4 г катализатора (0,23 вес, /о),содержащего 4 мг экв/г кобальта, нагревают до 135 С и при этой температуре пропускают через реакционную смесь газообразный технический кислород. Расход кислорода 400 ч . Давление атмосферное. Реакцию ведут в течение 5 ч, Затем реакционную массу охлаждают и отфильтровывают и-толуиловую кислоту совместно с частицами катализатора. Осадок обрабатывают серным эфиром, в результате чего и-толуиловая кислота переходит в раствор, а катализатор возвращается в процесс для повторного использования. После отгонки эфира выход сухого остатка 182 г (82% ); т, пл. 178 в 1 С (т, пл. по лит. данным 179,6 С) 4П р и м е р 2. Окисление проводят, как в примере 1, с той разницей, что...

Номер патента: 1759183

Опубликовано: 30.01.1994

Авторы: Гапоненко, Изидинов

МПК: H01L 21/306

Метки: кремния, регенерации, травителя

СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ТРАВИТЕЛЯ ДЛЯ КРЕМНИЯ, включающий контроль состава отработанного травителя и восстановление исходной активности травителя путем введения в отработанный травитель добавок химических реагентов, отличающийся тем, что, с целью упрощения регенерации травителя из смеси плавиковой, азотной и уксусной кислот с объемным соотношением 1 : (6 - 17) : (1 - 3) и сокращения расхода реагентов, в качестве добавок химических реагентов используют смесь равных объемов перекиси водорода и плавиковой кислоты, причем количество этой смеси, достаточное для восстановления исходной активности единицы объема отработанного травителя данного исходного состава, устанавливают в предварительных экспериментах, связанных с определением общей массы...

Номер патента: 333161

Опубликовано: 25.07.1976

Авторы: Вески, Дегтерева, Киррет, Мянник, Побуль, Пярн, Тальдер, Фомина

МПК: C07C 51/00

Метки: выделения, дикарбоновых, кислот, кислоты, насыщенных, смеси, янтарной

...при8595 С подают в вакуумный дистиллятор пери.одического действия, работающий при остаточномдавлении 8 - 10 мм рт.ст где они освобождаютсяот основного количества органических примесей ипочти полностью от минеральных, перегоняясь впределах 50 - 230 С, Примеси в виде рыхлогохрупкого кокса Остаются в кубовом остатке, еслиетемпературу подиимают до 330 С,В системе конденсации улавливают сублимат исуммарный дистиллят, которые подвергают далеередистцлляции при остаточном давлении 8 - 10 ммрт,ст, и температуре до 230 С. При зтом сублиматнакапливается В специальном приемнике в течениевсего процесса редистиллнции, а остальной редистиллят Отбирается в приемник фракций,Сублимат далее используют для Выделении ин.дивидуальисй гцтариай кислоты путем...