Травитель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 546043
Авторы: Абдурагимов, Курбанов, Яценко
Текст
(щ 546043 Союз Советсиих Социалистических Республиивано 05.02.77, Бюллетень Ъ убли по делам изобретении и отирытнй(45) Дата опубликования описания 01.03.7, Абдурагим 54) ТРАВИТЕЛ Изоорстенле оносится к технологии получсния и контроля монокрпсталлов твердых растворов, содержащих олово.Известен травитель для монокристаллов твердых растворов, содержащих олово, на основе брома и бромистоводородной кислоты 11. Этот травитель является полирующим, что не позволяет визуально контролировать картину распределения олова по образцу.Известен травитель для выявления компонентов твердых растворов, содержащих олово, преимущественно Ьп,.РЬТе 21.Недостатком известного травителя является то, что он не позволяет выявлять цветную картину распределения олова по образцу.Цель изобретения - получение цветной картины распределения олова ссо образцу.Постаозленная цель достигается тем, что травитель содержит хлорное железо, соляную кислоту и железосинеродистый калий, причем компоненты взяты в следующем соотношении(вес. %): 0,1 - 1,0 45 - 69 Хлорное железоСоляная кислотаКелезосинеродпсВода сл гОстальное зй калий Хлорное железо Гем, соляная кислота, является окислитерастворителем, а же лезосинеродистый калий КзГе(СК)61 - индикатором,на ион двухвалентного железа.Для выявления цветной картины распределения олова,в твердом раствореЯп,.РЬ, Те, где х = 0,1 - 0,3, были приготовлены травители следующего состава.Пр и м ер 1. 0,1 г РеС 1 з 1 при комнатнойтемпературе растворяют в 50 лтл деионизованной воды и добавляют 2,4 г Кз 1. е(СМ)з 1,10 затем добавляют 38,5 лл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 30 сек без перемешивания.В результате травления участки с различнойповерхностной концентрацией олова приобре 15 тают различные оттенки синего цвета. Большеи концентрации олова соответствуют участки более темной окраски.П р имер 2, 1 г РеС 1 з при комнатнойтемпературе растворяют в 28,5 лтл деионизо 20 ванной воды, добавляют 3,5 г КзРе(СИ) 63, азатем добавляют 58 лтл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 5 - 10 сек без перемешивания. Результат такой же, как и в первом25 случае,Испо,.ьзозанпе предлохкенного травителядля выявления цветной картины распределения оло"а по монокристаллпческому ооразцутвердого раствора, содерхкащего олово, позволяет вы,".вить области с заданным содержа546043 0,1 - 1,045 - 692,4 - 3,5Остальное Хлорное железоСоляная кислотаЖелезосинеродистыйВода калий Формула изобретения Составитель В. Мякиненков Тех ред В. Рыбакова Корректор И, Симкина Редактор Т, Орловская Заказ 83/143 Изд. Мв 421 Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж-ЗЗ, Раушская наб., д. 4/5Тип. Харак. Фил. пред. Патент нием компонента, что обеспечивает увеличение выхода на стадии изготовления соответствующих электронных компонентов. Травитель для выявления компонентов твердого раствора, преимущественно для Ьп,.РЬТе, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения цветной картины распределения олова по образцу, он содержит хлорное железо, соляную кислоту и железосинеродистый калий, причем компоненты взяты в следующем соотношении (вес. о/о): Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Травление полупроводников. Пер. с англ.10 С. Н, Горина, М изд, Мир, 1965, с. 316 321.2, Ьогеп(х М, К, Л с 11 егп 1 са 1 ро 11 з 11 1 огеас 1 1 е 11 цг 1 с 1 е Л. Е. с, 112( - ), р, 240, 1965
СмотретьЗаявка
2101231, 17.01.1975
АБДУРАГИМОВ ГАДЖИ АСЛАНОВИЧ, КУРБАНОВ КУРБАН РАМАЗАНОВИЧ, ЯЦЕНКО ОЛЕГ БОРИСОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/461
Метки: травитель
Опубликовано: 05.02.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-546043-travitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель</a>
Предыдущий патент: Кремниевый диффузионный транзистор
Следующий патент: Кассета для полупроводниковых приборов
Случайный патент: Способ контроля уваривания сахарных утфелей и устройство для его осуществления