H01L 21/461 — для изменения формы или поверхностных физических характеристик, например травлением, полированием или резкой

Номер патента: 327422

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ашавский, Филиппова

МПК: H01L 21/461, H01L 21/66

Метки: струйного, травления, электролитического

...6 тока травления, электромагнитных клапанов 7 и 8, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и воды, 15 поступающих через сопла 9 ц 10; коммутирующего устройства 11.Работает устройство следующим образом.После загрзкн заготовки накопительнаяемкость 2 задающего релаксаццонного генера тора 1 заряжается стабилизатором тока заряда 12. При этом ток на выходе задающего генератора, проходящий через заготовку, возрастает до величины тока максимума эталонного диода 3, установленного в генераторе 1.25 Заготовка прц этом отмывается водой, так какклапан 7 открыт и вода поступает через сопло 9. Припереключении эталонного диода на диффузионную ветвь характеристики выходной транзистор 13 стабилизатора тока генера тора 1 запирается, и...

Номер патента: 546043

Опубликовано: 05.02.1977

Авторы: Абдурагимов, Курбанов, Яценко

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...были приготовлены травители следующего состава.Пр и м ер 1. 0,1 г РеС 1 з 1 при комнатнойтемпературе растворяют в 50 лтл деионизованной воды и добавляют 2,4 г Кз 1. е(СМ)з 1,10 затем добавляют 38,5 лл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 30 сек без перемешивания.В результате травления участки с различнойповерхностной концентрацией олова приобре 15 тают различные оттенки синего цвета. Большеи концентрации олова соответствуют участки более темной окраски.П р имер 2, 1 г РеС 1 з при комнатнойтемпературе растворяют в 28,5 лтл деионизо 20 ванной воды, добавляют 3,5 г КзРе(СИ) 63, азатем добавляют 58 лтл концентрированнойсоляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 5 - 10 сек без...

Номер патента: 568986

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Сарапинас, Синявичуте

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...з предлагаемом траз:теле тем, что оц дополн 1 ггельно содерж 1 т фтор".стый аммо 1:1 й, перец 1 сь водорода 11 позсрх 110 сцо-актцзное зещестзо при следующем соотношении компоне:1 тоз з растворе, зес. ч.: фторцстозодороднчя кислота 2,5 - 25, фтогшстый аммоций 36 - 75, перекись зодорода 20 в 1, поверхностно-актцзцос вещество 2 - 5, вода 15 в 1,Был Изготозле;1 ы тр: состава тразцтеля. Они приведены в табл. 1.568986 Таблица 1 Содержание, вес. ч 1 2, 3 Компонент 2,5 19,5 25 Фтористоводородная кислотаФтористый ахгмонийГ 1 ерекпсь водорода 75 , 60 36160 23 20 2, 3 5 Поверхностно-активное вещество СВ.1017 (ТУ-14-934-73) 15 84 1 О Вода Таблица 2 Формула изобретения Скорость травления, нк.н/яия 10 Травитель А 1 Т 1 Поверхность А 1 пасси....

Номер патента: 570936

Опубликовано: 30.08.1977

Авторы: Котлярова, Самородов

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...подтравливание алюминия.Цель изобретения -ного подтравливания по 53) УДК 621 382(088 8)570936 27,27 10 Таблица 1 Скорость травленияМСБ, А/сек Скорость травленияПХО, А/сек Скорость травленияМСО, А/сек Травители 30 2 43 42 41 44 60 66 61 80 103 110 Травитель 1 Травитель 2 Травитель 3 Травитель 4 Таблица 2 Скорость травления МСБ, А/сек Скорость травленияМСО, А 1 сек СкоростьтравленияГ 1 ХО, А/сек Кислота 52 30 24 20 188 61 56 48 71 41 32 26 МуравьинаяУксуснаяПропионоваяМасляная Остальное,Уксусная кислота30 - 40 е/в -ный водный ра-.створ фтористого аммония Остальное.П р и м е р 3. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об, /,;44 а/, -ный водный растворплавиковой кислоты 4,55Изопропиловый спирт 36,36...

Номер патента: 809435

Опубликовано: 28.02.1981

Авторы: Берг, Большаков, Лурье

МПК: C25D 17/06, H01L 21/461

Метки: заданному, рисунку, трав-ления, химического

...одна20 над другой аксиально-симметрично относительно центральной оси корпуса, смотровое окно 5 с прозрачнойпластиной, внутренняя поверхностькоторой размещена над держателем 225 микросхемы.Устройство работает следующимобразом.Для п травления из в30 держател роведения химическогоделие устананлинаетсяь 2 корпуса 1.809435 Формула изобретения ЗО ИПИ Заказ 444/71 Тираж 795 Подписное Филиал ППП "Патент",г.ужгород,ул.Проектна В корпус 1 подается травильныйраствор через кольцевую проточку 3,а через кольцевую проточку 4 травильный раствор выводится из корпуса 1,Такая конструкция расположенияпроточек 3 и 4 обеспечивает направленный и воспроизводимый поток травителя относительно обрабатываемогоиэделия, Процесс травления производится при...

Номер патента: 851556

Опубликовано: 30.07.1981

Авторы: Скворцов, Тузовский, Устыменко, Щербина

МПК: H01L 21/461

Метки: двусторонней, обработкиполупроводниковых, пластин

...находящихся в обработке, не ограничивается,и более высоким качеством обработкн,"так как словил обработки любой точки пластины идентичны 31.Однако интенсивность и качествообработки, определяемые скоростьюобработки,и удельным давлением на абразив, ограничиваются предельной величиной удельного давления, допускаемого с одной стороны прочностью ленты - носителя абразива, а с другой -5максимально допустимой глубиной нарушенного слоя обрабатываемого материала,Цель изобретения - повышение производительности и качества обработки.указанная цель достигается тем,что в устройстве для двустороннейобработки полупроводниковых пластин,содержащем базовые плиты и расположенныемежду ними носители абразива и 15сепаратор, выполненные : виде бесконечных...

Номер патента: 816331

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Залетин, Ножкина, Петрунина, Рогозина

МПК: H01L 21/461

Метки: иодида, полирующий, ртути, травитель

...широкоиспользуемого травителя метанол рассмотрен быть не может. Кроме того, скорость травления образцов Ндд 2 метанолом составляет не более 0,9 мкм/с, а на стран- ленной поверхности остаются четкие Фигуры роста кристалла в виде пирамид, вершины которых со временем постепенно растравливаются.Наиболее близким техническим решением является полирующий трави- тель для иодида ртути, включающий 45 галогенсодержащий компонент и воду 2.В качестве галогенсодержащего компонента используют 10-20 мас, водного раствора иодистого калия. 50Недостатками известного травителя являются: Для получения полированой поверх-ности образца необходимо снимать понескольку сот микрон материала, иприведенная скорость травления представляется...

Номер патента: 1729764

Опубликовано: 30.04.1992

Авторы: Запорожский, Петасюк

МПК: B28D 1/00, H01L 21/461

Метки: пластины, полупроводниковых, поперечной, резки

...пластины или частично. Во втором случае подача возобновляется после вывода слитка в исходное положение и.последующего его поворота вокруг продольной оси О. При схеме с вращающимся слитком резка, а следовательнои радиальная подача, заканчивается по достижении режущей кромкой круга продольной оси слитка. В соответствии с требованиями технологического процесса резки отрезными кругами с внутренней режущей кромкой при любой ее схеме в зону контакта инструмента с разрезаемым слитком подается СОЖ. Для реализации предлагаемого технического решения СОЖ следует подавать предварительно подогретой, благодаря чему будет происходить нагрев режущей кромки и создаваться тем самым требуемый перепад температур между ней и периферией круга. Подогрев СОЖ,...