Анизотропный травитель

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.7 2331287 1) М. Кл, Н 01,4 21/46 аявки-сударственный намнтетавета Мнннатрав СССРаа делам нзабретеннйн аткрытнй(54) АНИЗОТРОПНЫЙ ТРАВИТЕ Изобретение относится к области электронной техники, а именно, к технологиипроизводства полупроводниковых приборов,Оно может быть использовано при анизотропном травлении кремния в процессе производ- аства полупроводниковых структур с диэлектрической изоляцией.Известен анизотропный травитель кремния 11, состоящий из гидроокиси калияили натрия и воды. Недостатком травите Оля является неудовлетворительное качество вытравленного рельефа,я повышениеравлении плосиалаэона глубин Наиболее близким техническим реше является анизотропный травитель 21 пр имущественно для кремния с ориентацией (100), содержащий, вес,%: гидроокись щелочного металла, например калия, 50 и воду 50. ниеме б едостатком травителя вляется низкое таллографичесриводит к обрав плоскости в видепираполируюшее действие в крикой плоскости (100), чтоэованию дефектов травлениядна вытравливаемого рельефачиц, с гранямн (Ш),Белью изобретения являетсполирующего действия в напкости (100) для широкого двытравливаемого рельефа.Поставленная цель достигается тем, что в травитель дополнительно введена. перекись водорода при следующем соотношении компонентов, вес.%;Гидроокись калия 2-1 5Перекись водорода 0,3-4,0Вода 97,6-81,0Использование предложенного анизотропного травителя кремния позволяет повысить чистоту поверхности дна вытравливаемых впадин (плотность пирамид с гранями (Ш) сос,г -гтавляет менее 10 см ); при этом скорость травления кремния в направлении плоскости (100) равна 0,2-1,5 мкмlмин при темпеоратуре травителя 80+2 С,П р и м е р 1, Травитель составлен из следующих компонентов, вес.%:Гидроокись калия 2,5Перекись водорода 0,4Деионизованная вода 97,1В кварцевом стакане приготавливают 1 л587434 Составитель В. МякиненковРедактор Т, Орловская Техред Г. Родак Корректор Н. Ковалева Заказ 866/62 Тираж 976 Подписное 11 НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент, г, Ужгород, уд. Проектная, 4 2,5%-ного водного раствора гидроокиси калия, приливают 3,5 мл 30%-ного раствора перекиси водорода.Смесь нагревают в стакане, закрытом жщоохдаждаемой крышкой, до температуры б 8 ОС. Затем в нагретую смесь помещаютопаастины кремния КДБ,5 с ориентацией ,поверхности в плоскости (100) и с защитной маской из двуокиси кремния толщиной 0,8 мкм. Элементы защитной маски выпод иены в виде оконф прямоугодьной формы с размерами сторон 160 х 80 мкм, В течение 30 мин травления образуется рельеф глубиной 40 мкм, при этом средняя скорость травления кремния составляет ., й 1,3 мкм/мин. Поверхность рельефа выглядит зеркаиьной ( дефекты в виде пирамид с гранями( Ш) наблюдаются редко, плотность их не превышает 10 см ).Оценка качества поверхности микрорелье фа проводилась с помощью микроинтерферометра МИИ.П р и м е р 2. Проводилось травление такихже, как в примере 1, кремниевых пластин в травителе состава, вес.%: 25Гидроокись калия 8,0Перекись водорода 2,0Деионизованная вода 90,0Температур травитедя поддерживают на уровне 80+2 С, при этом скорость трав пения кремния равна 0,6 мкм/мин. Поверхность дна впадин выглядит зеркальной, плотность пирамид с гранями Шф составляет 0,8 . 10+ смП р и м е р 3. Проводилось травление ЗБ такихже,как и в примерах 1, 2, кремниевых пластин в травитеде состава (вес.%): Гцдро окись калия 15 Перекись водорода 4 Деионизованная вода 81 Температур травителя поддерживают на уровне 80 Й 2 С, при этом средняя скорость травления кремния равна 0,2 мкм/мин. По- верхность дна отверстий выглядит зеркальной (плотность пирамид с гранями ( В ) составляет 03 10 см .Травитель обесгечивает высокое качесг- , во вытравливаемого рельефа и позволяет повысить процент выхода годных структур на операции вытравливания рельефа. ф ормула изобретения Анизотропный травитель, преимущественно для кремния с ориентацией 100), содержащий гидроокись щелочного металла, например капия,и воду, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения его полирующего действия в направлении плоскости (100) для широкого диапазона глубин вытравдиваемого рельефа, он дополнитель. но содержит. перекись водорода при сле- дующем соотношении компонентов, вес.%:Гидроокись калия 2-15Перекись водорода 0,3-4Вода 81 97,7 Источники информагчи, принятые во внимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР352539, кл. С 01 В 33/02, 1974.2. Патент Японии48-26568, кд.99 (5) С 3, 1974.