Сарапинас

Номер патента: 1057575

Опубликовано: 30.11.1983

Авторы: Аулас, Кершулис, Климашаускас, Сарапинас

МПК: C23F 1/00

Метки: алюминия, раствор, травления

...вещество 0,030,Эода 6,584, медь серноквсцая 5,937скорость травления. составляет 0,70,9 мкм/мвн, подтрав поц фоторезистом .08-1,0. мкм, гаэовыдепенве незначительное, При увеличении концентрации азотной кислоты усвпввается окисление маскирующего своя в впкмвввя, в цодтравпод маской увепвчввается. Прв увепвчевввконцевтрацвв уксусной кисцоты возрастаетскорость отвоав продуктов реакции (ва;рувается адгеэвя ппенкв). Прв увеличенияконцентрации сахаровы в растворе образуется черно-коричневый осадок, а с1057875 40,8-1,0 мкм, скорость травпения 0,60,7 мкмlмнн, В растворе рассматриваютзависимость скорости травления апюминия от концентрации меди и от температуры.Зависимость скорости травпения апюминия от концентрации меди сернокиспойпрн...

Номер патента: 568986

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Сарапинас, Синявичуте

МПК: H01L 21/461

Метки: травитель

...з предлагаемом траз:теле тем, что оц дополн 1 ггельно содерж 1 т фтор".стый аммо 1:1 й, перец 1 сь водорода 11 позсрх 110 сцо-актцзное зещестзо при следующем соотношении компоне:1 тоз з растворе, зес. ч.: фторцстозодороднчя кислота 2,5 - 25, фтогшстый аммоций 36 - 75, перекись зодорода 20 в 1, поверхностно-актцзцос вещество 2 - 5, вода 15 в 1,Был Изготозле;1 ы тр: состава тразцтеля. Они приведены в табл. 1.568986 Таблица 1 Содержание, вес. ч 1 2, 3 Компонент 2,5 19,5 25 Фтористоводородная кислотаФтористый ахгмонийГ 1 ерекпсь водорода 75 , 60 36160 23 20 2, 3 5 Поверхностно-активное вещество СВ.1017 (ТУ-14-934-73) 15 84 1 О Вода Таблица 2 Формула изобретения Скорость травления, нк.н/яия 10 Травитель А 1 Т 1 Поверхность А 1 пасси....

Номер патента: 449107

Опубликовано: 05.11.1974

Авторы: Левинскас, Сарапинас, Синюс

МПК: C23B 5/22

Метки: алюминия, осаждения, электрохимического

...плотности тока Е 5-20 ма/смс и продолжительности процесса 60-.80 мин.Полученное покрытие имеет толщину от 20 до 25 мк. Средний коэфициент отражения неокрашеннойбелой/ поверхности иевого покрытия Б. = 45-70 . После анодной обработки на поверхйости алюминия образуется мелкодисперсный черный или серый слой, который сос тоит из алюминия амораной структуры и отличается твердЬстью и проч 1 -ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Состввитель Ц,БОБОКРелитоР 0.ФИ 11 ИППОВа сРеи 1, 1 О 1 аПОВа КОРР тоР Р КИСЕЛЕЬа Изд.ЯО ираг 8 Я Полиисиое Лввв 5 Ю ГГ 1 Ц 1 ИИИ осудврствеииого омитетв Совегв Ыииистров СССР ио делам иобретений и отрыл ий Моевв, 113035, Рвуосви иаб., 4 Ь1 редиии 1 тие а 11 веит, Моеви, Г 59, Бережовсви иаб., 24 3419 ностью к внешним механическим...