Синявичуте
Травитель
Номер патента: 568986
Опубликовано: 15.08.1977
Авторы: Сарапинас, Синявичуте
МПК: H01L 21/461
Метки: травитель
...з предлагаемом траз:теле тем, что оц дополн 1 ггельно содерж 1 т фтор".стый аммо 1:1 й, перец 1 сь водорода 11 позсрх 110 сцо-актцзное зещестзо при следующем соотношении компоне:1 тоз з растворе, зес. ч.: фторцстозодороднчя кислота 2,5 - 25, фтогшстый аммоций 36 - 75, перекись зодорода 20 в 1, поверхностно-актцзцос вещество 2 - 5, вода 15 в 1,Был Изготозле;1 ы тр: состава тразцтеля. Они приведены в табл. 1.568986 Таблица 1 Содержание, вес. ч 1 2, 3 Компонент 2,5 19,5 25 Фтористоводородная кислотаФтористый ахгмонийГ 1 ерекпсь водорода 75 , 60 36160 23 20 2, 3 5 Поверхностно-активное вещество СВ.1017 (ТУ-14-934-73) 15 84 1 О Вода Таблица 2 Формула изобретения Скорость травления, нк.н/яия 10 Травитель А 1 Т 1 Поверхность А 1 пасси....