Травитель

570936 6 аеа Советсаа Фациалистических Республик(51) М. Кл а Н 01 Ь 21/4 Государственный комитет Совета Министров 1.;."Р по делам изобретенийн открытий юри 7. Бюллетеньл икова та опубликования описания 27.09,7) ПРАВИТЕЛЬ Д ой цели травительводорастворимую кислоту, например содержании компочя достижснплнительно сосновную карсную, при слеов, об. %:ФтористоводорокислотаВодорастворнмыйспиртВодораствориосновная какислота30%-ный ррпстого я указаннодержитбоно вуюдующем доп одн укс нен дна 4,55 - 6,00 30,36 - 50,00мая одно рбонова 8,18 - 27,27 аствор фтоаммония стальное р и м с р 1. Для получения отавливают смесь, содержащ ты,об,%:44%-ный водный растворплавиковой кислоты Изопропиловый спирт Уксусная кислота30 - 40%-ный водный раствор фтористого аммония ример 2. Для получения отавливают смесь, содержащ ты,об,%:44%-ный водный растворплавиковой кислоты Изопроппловый спирт травителя ю ингреприг диен 4,55 6,36 8,18 0 Остальное. травителя ю пнгре 25 П прн дис6,0 6,3 устранение селективвсрхности алюминия. Изобретение относится к области электронной техники, а именно к химической обработке неорганических диэлектриков типа двуокиси кремния, используемых в качестве защиты алюминиевой металлизации, для анализа дефектов алюминиевой металлизации, лежащей под защитным покрытием.В электронных приборах для создания системы проводников и многослойных систем типа М-Д-М-Д в качестве металла, в основном, используют алюминий. Поэтому для создания контактных площадок необходимо использовать травители, которые хорошо травят неорганические диэлектрики без подтравливания поверхности алюминия.Известен травитель, содержа ций смесь плавиковой кислоты, фтористого аммония и фосфорной кислоты.Недостатком этого травителя является то, что одновременно с диэлектриком травится и алюминий.Наиболее близким к изобретению техническим решением является травитель, содержащий смесь фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и водорастворимого спирта. Недостатком его является невысокая скорость травления диэлектрика и селективное подтравливание алюминия.Цель изобретения -ного подтравливания по 53) УДК 621 382(088 8)570936 27,27 10 Таблица 1 Скорость травленияМСБ, А/сек Скорость травленияПХО, А/сек Скорость травленияМСО, А/сек Травители 30 2 43 42 41 44 60 66 61 80 103 110 Травитель 1 Травитель 2 Травитель 3 Травитель 4 Таблица 2 Скорость травления МСБ, А/сек Скорость травленияМСО, А 1 сек СкоростьтравленияГ 1 ХО, А/сек Кислота 52 30 24 20 188 61 56 48 71 41 32 26 МуравьинаяУксуснаяПропионоваяМасляная Остальное,Уксусная кислота30 - 40 е/в -ный водный ра-.створ фтористого аммония Остальное.П р и м е р 3. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об, /,;44 а/, -ный водный растворплавиковой кислоты 4,55Изопропиловый спирт 36,36 Муравьиная кислота 18,18 30 - 40 о/о-ный водный раствор фтористого аммония 40,91П р и м е р 4, Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об. Я.44 а -ный водный раствор плавиковой кислоты 4,5530 - 40 о/о-ный растворфтористого аммония 40,91 Из табл. 1 видно, что скорость травления окислов в травитслях, состоящих из одинаковых ингредиентов с разным содержанием ингредиентов, и в травителях, состоящих из разных ингредиентов достаточно высока. После полного удаления окисла поверхность алюминия не подвергается селективному травлению по крайней мере в течение 5 мин. Поэтому данные травители могут быть эффективно применены для вскрытия контактных площадок в защитном неорганическом диэлектрике, лежащем на алюминии. Применение предлагаемого травителя позволяет получить воспроизводимые результаты, и обеспечивает хорошее качество поверхности,Изопропиловый спирт 36,36Пропионовая кислота 18,18П р и м е р 5, Для получения травителяприготавливают смесь, содержащую ингре 5 диенты, об. в/в,44 а/о-пый водный растворплавиковой кислоты 4,5530 - 40/,-ный водный раствор фтористого аммония 40,91Изопроппловый спирт 36,36Масляная кислота 18,18.Действию каждого травителя подвергалисьокислы, лежащие на алюминии, полученныеплазменно-химическим осаждением (ПХО),15 окислением моносилана (МСО) и окислениеммоносилана в присутствии триизопропилбората (МСБ). Температура травления поддерживалась в интервале 22 - 25 С. Полученныеданные приведены в табл. 1 и 2. 20 Формула изобретения Травитель, содержащий смесь фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и водорастворимого спирта, о тл и ч а ю щи й с я 25 тем, что, с целью устранения селективногоподтравливания поверхности алюминия, он дополнительно содержит водорастворимую одноосновную карбоновую кислоту, например уксусную, при слсдующем соотношении ком понентов, об,:Фтористоводороднаякислота 4,55 - 6,0Водорастворимый спирт 30,36 - 50,0 Водорастворимая одно 35 основная карбоноваякислота 18,18 - 27,2730/в-ный раствор фтористого аммония