Травитель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
аатеит: .: -,;,"; та,ввОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(11) 448253 61) Зависимое от ав 22) Заявлено 08.01 идетельст(32) Приоритетаявки осударственкый коннтеСовета Мкнкстров СССРпо делам изобретенийи открытий ликованоП.Ю. юллетень40 исания 15. 12ата опубликованн 2) Авторы изобретения Лихайлов, В..Н и С.Н.Уманска ков, А.И,Но 71) Заявите 21 нием двух взаимно перпендикулярных канавок.Искаженйе геометрической формы элементов усложняет конструирование комплекта фотошаблонов изатрудняет операцию совмещенияпри повторной фотолитографии.Цель изобретения - нахождениеоднородного сосгава анизотропното го травителя, минимально искажающего исходную геометрическую форму элеменгов.Эта цель достигаегся тем,чтоисходные компоненты травителявзяты в следующем соотношении,вес.дкий калий 4-6Деионизованная вода 60-64Изопропиловый спирт 32-34 2 о Преимущества предлагаемоготравигеля в том, что при сосгавлении травителя и в течение всеговремени гравления состав однороден, расслаивание отсугсгвует;растравливание углов элементов Изобретение относится к травителям, применяемым в технологииизготовления структур с диэлектрической изоляцией элементов, использующихся прй производстве монолигных интегральных схем в микроэлектронике,Известен анизотропный травитель содержащий, вес 4:едкий калий 18-20Деионизованную воду 5 Ь Изопропиловый спирт 20-25Однако значигельное расслаивание смеси на две фазы делаеттравигель неоднородным по составуи затрудняет процесс, посколькускорость травления становится нелинейной.При гравлении извесгным травителем полупроводниковых пластин,например кремниевых, значительноискажаегся исходная форма элементов рисунка, искажение проявляется в расгравливании углов (р=16-10 мкм), образованных переаече 53) Удк 621.794.422.й 621. 382. 002088,81,Составитель ЮМИХайЛОВРедактор МБЫЧКОВа Гекред Н СЕНИНа,и,кдрандашова цд Д 1 ираж й Я Подписи ЦНИИГ 1 И Государственного комитета Совета Министроинист ов СССРпо делам изобретений и открытийМосква, 113035, Раушская наб 4 ппппиятие Патент. Москва, Г, Бережковская наб., 24 44823схем при вытравливании ч - образ ных канавок на кремниевых пластинах с ориентацией (100) равно= 7-9 мкм (р - парамегр, по которому оценивали растравлйвание углов злементов); имеет достаточно высокую скорость травления- - 30 мкцчас; при травлении наблюдается воспроизводимость резуль татов от одного процесса к другомуПРИМЕР. Предлагаемый гравитель состоит из следующих компонентов, вес 4:15Едкий калий 5 4еионизованная вода 60,7зопропиловый спирг 33,9Сначала составляют водный раствор едкого калия, и к нему 2 о сбавляют изопрониловый спирт. се тщательно перемешивают. Цля травления используют пластины кремния марки КЭФ =0 5 с ориента- . цией поверхносги (100) и с то лигограуическим рисуют, Ширина дорожек в маске равна 46 мкм. Защитной маской при травлении ,4служит пленка термической двуокиси кремния толщиной 0,4 мкм, Травление проводят в йредлагаемом травителе 70 .мин при +80+2 С в кварцевой емкости с водоохлаждаемой крышкой. Глубина протравленной дорожки равна 33 мкм. Величина растравливания углов (Р) равна не более 8 мкм.Оценка качества геометрии вытравленного микрорельефа проводилась с помощью микроинтерферометра МИИ.ПРЦЦЙЕ ИЖБРЕТКНИИТравитель, преимущественно, для получения микрорельефа на кремниевой пластине с ориентацией поверхносги по плоскости (100), содержащий едкий калий, деионизованную воду и изопродиловый спирт, о тличающийся тем, что, с целью обеспечения однородности травителя, его исходные компоненты взяты в следующем соотнашении, вес.ВЕдкий калийеионизованная вода 60-64 зопропиловый спирт 32-34
СмотретьЗаявка
1869388, 08.01.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476
МИХАЙЛОВ ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, НОВИКОВ ВАЛЕНТИН ВАСИЛЬЕВИЧ, НОСКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, УМАНСКАЯ СВЕТЛАНА НАХИМОВНА
МПК / Метки
МПК: C23F 1/00
Метки: травитель
Опубликовано: 30.10.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-448253-travitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель</a>
Полирующий травитель для полупроводниковых кристаллов и способ травления
Номер патента: 860645
Опубликовано: 15.04.1983
Авторы: Бакланов, Земсков, Митькин, Репинский, Свешникова
МПК: H01L 21/306
Метки: кристаллов, полирующий, полупроводниковых, травитель, травления
...увеличения скорости гидролиза дифторида ксенона в воде, что может привести к нарушению стабильности процесса травления,20 25 30 П р и м е р. Раствор дифторидаксенона в воде готовят растворениемв бидистиллированной воде навесокдифторида ксенона, представляющего 35 собой белый порошок. Травление полупроводниковых кристаллов Са, 5,5 Аз п 5 Ь, СаР проводят в водномрастворе дифторида ксенона на травильной установке с вращающимся 40 фторопластовым стаканом, наклоненным под углом 70 . Образец погружаоют в стакан. Скорость вращениястакана 60-80 об/мин. Скорость травления оценивают по изменению весаобразцов за время эксперимента. Исходную концентрацию дифторида ксенона в воде в выполненных экспериментах варьируют от 0,1 до 2...
Способ измерения вертикальных распределений элементов морской воды на океанологических разрезах
Номер патента: 1191735
Опубликовано: 15.11.1985
МПК: G01D 21/02
Метки: вертикальных, воды, морской, океанологических, разрезах, распределений, элементов
...в кассете 2, и быть выполнено, например, на цифровых микросхемах 155 серии в зависимости от желания оператора выдавать определенный код управления с определенной дискретностью. Кассета 2 служит для хранения гидрозондов 2, включения их и подачи по кабель-тросу 5. Она может быть выполнена в виде отдельной стойки, расположенной на корме судна. Через кассету 2 по направляющим роликам проходит кабель-трос 5, на котором последовательно расположены гидрозонды 3 со своими направляюцими роликами. В кассете размещены электромагниты, которые срабатывают в зависимости от кода, приходящего от блока 4 управления. Электромагнитывыправляют механическими защелками,церживающими гидрозонды в кассете.Гидрозонд 3 служит первичным преобразователем...
Устройство для очистки тонкослойных элементов осветлителей воды
Номер патента: 1755959
Опубликовано: 23.08.1992
Авторы: Блинер, Курбанова, Набиев, Склянский
МПК: B08B 3/02
Метки: воды, осветлителей, тонкослойных, элементов
...гидроимпульсное воздействие на площади, в 7-10 раз превышающей площадь обработки тонкослойных элементов изогнутым устройством. Обработку можно производить, перемещая устройство вдоль торцов тонкослойных элементов, Значительно увеличивается удельный расход импульсной энергии воздействия, вызывающей встряхивэние и вибрацию трубок, В результате удаление отложений осуществляется значительно эффективнее, Значительно облегчаются условия работы обслуживающего персонала,На чертеже показано устройство для очистки тонкослойных элементов, общий вид.Устройство содержит полый корпус 1 с радиальными выхлопными окнами 2 и размещенный на торце корпуса 1 дифференциальный клапан 3, На корпусе 1 закреплен охватывающий дифференциальный клапан 3 стакан;...
Раствор для травления нержавеющей стали и сплавов
Номер патента: 726149
Опубликовано: 05.04.1980
Авторы: Боговина, Богоявленская, Васильева, Журавель, Мажаровская, Мальцев, Новак, Панасюк, Третьякова
МПК: C09K 13/06
Метки: нержавеющей, раствор, сплавов, стали, травления
...25 ид й 50 .Для лучения окалины образцы подвергают термообработке в электропечи при 1100 Стечение 10 мин, после" чего охлаждают на воздухе.Иэ приведенныхвидно, что растворботоспособен тольрастворе 5 г/л Ре. стравливания окалчего на поверхношлам, являющийсяком понижения рара, При травлении(предлагаемые) раворов сохр аняетсяРе (1 п ) и времени20 мин. Корректкотор ая необходимболее 5 г/л Ге (1равданному расхо в таблице результатов1 (известный ) р а 4 ко до накопления в( В ), при времени ины 20-30 мин, после сти образца образуетсякачественным признаботоспособности р аствов растворах йй 2-4 ботоспособность растдо накопления 8-10 г/лстравливания окалины ировка раствора1,ри накопленииприводит к неопду плавиковой кислоты. В воде при...
Раствор для удаления окалиныс поверхности металлическихизделий
Номер патента: 823413
Опубликовано: 23.04.1981
Авторы: Бабченко, Кистанов, Ключко
МПК: C09K 13/06
Метки: металлическихизделий, окалиныс, поверхности, раствор, удаления
...вес.%:Едкий натрий8-10Перманганат калия 8-10фтористый натрий 5-15Триполифосфатнатрия 3,-5Азотнокислый натрий 10-12Бутиловый спирт 2-5Вода ОстальноеПри приготовлении растворов были использованы реактивы марки "Чф таких ГОСТов:Едкий натрийПерманганат калия Предлагаемый 8 8 Отработку технологии удаления производят на образцах никельхромовых спла.;ов Эф"Б", ЗПи никельхромовыхмолибденовых ВЖ,Термообработку образцов перед травлением производят в печи и на электроаппарате по режимам, соответствующим условиям гомогенизации указанных сплавов.В результате проведенных опытов,. установлено, что после применения предлагаемого и известного раствоТриполифосфат натрия 13493"68Фтористый натрий 4463-66Азотнокислый натрий 4168-66Бутиловый спирт...
Предыдущий патент: Захват рабочего органа для эмалирования изделий
Следующий патент: Устройство для перемещения и ориентации изделий при химической обработке
Случайный патент: Способ измерения коэффициента ошибок вдискретном канале и устройство для егоосуществления