Травитель для пленок окислов сурьмы
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(32) Приорнт Совета Министров СССпо делам изобретенийи открытий оллетень32 публиковацо 30.08.74,3) УДК 621.382(088.8) та опубликования описания 23.0 б.75 2) Авторы изобрет Костюк Г. Торб) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ПЛЕНОК ОКИСЛО ратуре 85 С пр 700 А/мин. П нежелательные ист при лцтогр более 1 мкм. Н рисунка це хужИзобретение относится кники и может быть испольлитографии и травлении динок окислов сурьмы, испольв технологии изготовления(ИС).Цель изоувеличениелов сурьмы.Цель достигается использлеция пленок окиси сурьмделах 40 в 1 С) смеси вилот при следу 5 ощем сооттов, вес. %:Винная кислота С 4 Н 60Серная кислота Н 2504Вода НОТравление, например, с истава, вес, %:С,Н 606Н 2504Н,О областиованолектричзуемых,интеграл исходит со скорои темпе электрори фотоских плеапример, ных схем бнарусмеси ЬЬОз ая пот этом невоздействия фии плено ровность к 0,5 мкм. стью окол жив аются на фоторе тол щинои лучаемого бретения - улуч скорости травл ие качества ц пленок окиседмет цзоорете 10 ованием для травы горячей (в иреной и серной кцсошении компонецкислов сурьмы на цной кислоты о тцелью улучшения дорости травления содержит горячую и серной кислот нии компонентов,ленок о створа в тем, что, с чения с рыбы, оп ь винной соотноше Тра цитель дл 5 основе Водного ра л цч а ющи йс я 5 качества и увели пленок окислов с(40 - 100 С) смес прц следующем вес, % О Винная кисло Серная кисло Вода
СмотретьЗаявка
1832153, 29.09.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5737
КОСТЮК ВИТАЛИЙ ДМИТРИЕВИЧ, ТОРБА ОЛЬГА ГРИГОРЬЕВНА
МПК / Метки
МПК: H01L 21/465
Метки: окислов, пленок, сурьмы, травитель
Опубликовано: 30.08.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-441615-travitel-dlya-plenok-okislov-surmy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель для пленок окислов сурьмы</a>
Предыдущий патент: Способ измерения давления газа или пара в газоразрядных приборах
Следующий патент: Поляризационный разделитель
Случайный патент: Токосъемный трансформатор