Наслузов

Номер патента: 232003

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Бриллиантов, Наслузов

МПК: C09K 13/06

Метки: поверхности, полупроводников, травитель

...РОВОДН И КО В РАВИЕЛ травления составляет 3,5 - 4,5 лг/слг- агин этом получают ровную зеркально-полир ную повер.хность при ян. авитель отличается от из целью улучшения качесторости травления, в расти плавиковую кислоты при ении компонентов (в объ 10 Травитель для обраоотки поверхности,проводников, например антимонида индиоснове винной кислоты и перекиси водоотгичаюгггпг 1 ся тем, что, с целью увелискорости и улучшения качества травлв раствор вводят азотную и плавиковуюлоты, при следующем соотношении комптов (в ооъезгах) .винная кислота (26 - 27% )перекись водорода (30%)азотная кислота (65% )плавиковая кислота (40% ) полуя, ня рода, чения ения,кпс- онента (26 - 27%)рода (30%)та (65%)ислота (40%) винная кисло перекись водоазотная...