ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 369651 Союа Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 05.Ч.1971 ( 1674210/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 08,.1973. Бюллетень10Дата опубликования описания 17,1 Ч.1973 М. Кл. Н 011 7/50 Комитет по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССРК 621,382.002 (088.8) Авторыизобретени И. Н. Воронов, Л. В, Лайнер, В. М, НикитЕ. А. Носова и Б. В. Смирновенный научно-исследовательский и проекредкометаллической промышленности ин Государс Заявител ыи институт ТРАВИТЕЛ астей (объля выявления(100) опробоИзобретение относится к методу выявлениядислокационных ямок травления, широкоприменяемого при исследовании монокристаллов полупроводников, а также при контролепараметров готовой продукции. Дислокации 5являются одними из наиболее важных структурных дефектов в монокристаллах полупроводников, используемых при производстве полупроводниковых приборов,Известно несколько травителей, выявляющих дислокации в монокристаллах кремния,из которых наиболее распространенными являются травитель Дэша и хромовый травитель.В указанных травителях дислокаци они ыеямки травления отчетливо выявляются на 15плоскостях типа (111), (110) и (112). Выявление дислокационных ямок травления наплоскости типа (100) представляет известныетрудности, связанные с окислением поверхности и выявлением фигур травления недислокационного характера.Настоящее изобретение представляет собойтравитель для выявления дислокаций в образцах монокристаллического кремния, ориентированных по плоскости (100), который состоит 25из 7 - 9 частей плавиковой кислоты, 1 частираствора хромового ангидрида в воде и 2 частей воды,Предлагаемый травитель ддислокаций на плоскости типа 30 ван на серийных образцах кремния, легированных Р, В, Аз, 5 Ь, А 1 в широком диапазоне концентраций легирующей примеси.Пример.Образцы, ориентированные по плоскости (100), шлифуются порошком Ми химически полируются в смеси НГ: НХО,=1:2. После тщательной промывки водой производится травление образца в смеси:Плавиковая кислота - 7 - 9 чемн.) .Раствор хромового ангидрида в воде - 1 часть (объемн.).Вода - 2 части (объемн.).При травлении используется раствор хромового ангидрида концентрацией 250 - 300 гуг и плавиковая кислота концентрацией 40% . В случае использования плавиковой кислоты другой концентрации необходим соответствующий пересчет соотношения в травящей системе. Время травления составляет 15 - 30 минут, а расход смеси больше 1,3 лил на 1 г кремния,Дислокационные ямки травления на плоскости (100) представляют собой квадратные или вытянутые формы травления.Предмет изо брет е ни яТравитель для выявления дислокаций в монокристаллах кремния, содержащий плави3ковую кислоту, хромовый ангидрид и воду, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности выявления дислокаций на плоскости (00), компоненты взяты в следующем соотношении по объему: 3696 й Пчавиковая кислота (407 а) - 7 - 9 частей. Раствор хромового ангидрида в воде (250 -300 г/л) - 1 часть. Вода - 2 части.Редактор В. Знвтынь Заказ 931/7 Изд,1249 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРМосква, Ж,. Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 Составитель М. Сорокина Техред Т, Миронова

Смотреть

Заявка

1674210

Государственный научно исследовательский, проектный институт редкометаллнческой промышленности

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: травитель

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-369651-travitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель</a>

Похожие патенты