Травитель

Номер патента: 774478

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Булгаков, Косоплеткин, Красножон

МПК: H01L 21/3065

Метки: двуокиси, ионно-химического, кремния, нитрида, травления

...же режимах процесса селективность травления Я 10 г/Я лучше, чем 12:1. По мере истощения используемого раствора фтористого водорода его концентрация уменьшается до концентрации,соответствующей азеотропному составу,т.е. 38,3 масс. Опри нормальном атмосферном давлении.Использование 38,3-ного растворафтористого водорода в воде, соответствующего азеотропному составу при нормальном атмосферном давлении, при испаренииего в условиях повышенного давления врезервуаре приводит к тому, что, в соответствии со вторым законом Вревского, составнераздельно кипящей смеси при увеличении общего давления изменяется в сторонууменьшения содержания компоненты сменьшей дифференциальной теплотой парообразования, т,е. НГ, и составляет в исходном молекулярном...

Номер патента: 1297665

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Осинов, Стратиенко

МПК: H01L 21/3065

Метки: кремния, нитрида, селективного, травления

...относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления полу проводниковых приборов.Целью изобретения является исключение подтрава нитрида кремния на обратной стороне пластины за счет снижения рабочего давления,П р и м е р. Селективное травление нитрида кремния проводят на тестовых пластинах в условиях серийного производства, На кремниевые пластинье КДБО с ориентацией 100 вреакторе пониженного давления осажодают нитрид кремния толщиной 50 ОА,затем при помощи Фотолитографии Формируеот рисунок из Фоторезиста, после Данный способ позволяет получатьв заявляемом диапазоне состава реа".гентов скорость травления нитридакремния от 350 А/миндо 650 А/мин,при этом селективность соответственно равна 9:1 и 6-.1.При...

Номер патента: 117901

Опубликовано: 01.01.1958

Авторы: Зиновьев, Соборовский, Энглин

МПК: C07B 33/00, C07F 9/34

Метки: алканфосфиновых, гросв, кислот, типа, хлорангидридов

...фосфор используют для синтеза,П р и м е р 2 В условиях примера 1 из 1,0 вес. ч. н-гептана и 13,6 вне. ч.треххлористого фосфора получают 0,396 вес, ч. хлорангидрида н-гептилфосфиновой кислоты (СтН,5 РОС 1) с т. кип. 92 - 95 (при 2,5 мм рт,ст,), й 42 о -- 1,2108, и =1,4818. Выход 18,3% теоретического,1)о 1790 Предмет изобретения Способ получения хлорангидридов алканфосфиновых кислог типа КРОСв, о тл и ч а ющ и йс я тем, что в смесь парафинового или циклопарафинового углеводорода с треххлористым фосфором пропускают ток воздуха или кислорода при одновременном освещении или без него. Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Редактор Е, Г. Гончар Гр. 50Типографии Комитета но лелаги изобретений и открытий при Совете...

Номер патента: 151318

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Иващенко, Мощицкий

МПК: C07C 67/307, C07C 69/63

Метки: rососсl2оr, алкиловых, алкоксидихлоруксусных, где, кислот, типа, эфиров

...эфиров алкоксидихлоруксусных кислот типа СН 2+, ОСОСС 1 з ОС,Нз,+ где пт)п, ранее не описанных в литературе.Способ состоит в том, что несимметричные диалкиловые эфиры щавелевой кислоты подвергают взаимодействию с пятихлористым фосфором.П р и м е р. Смесь 0,5 г/мол этил-н-пропилового эфира щавелевой кислоты и 0,5 г/мол пятихлористого фосфора нагревают при температуре 100 при непрерывном перемешивании в течение 15 час.С момента видимого исчезновения РС 1 в температуру поднимают до 135 - 140. Затем при вакууме 20 мм отгоняют хлорокись фосфора. Выделяют при температуре 68 - 71 и Р=3 мм этиловый эфир н-пропоксидихлоруксусной кислоты. Выход 58%.Аналогично получают н-пропиловый эфирной кислоты с т. кип, 96 - 97 (Р - 3 мм рт, ст.) и...

Номер патента: 1639341

Опубликовано: 15.06.1994

Авторы: Енишерлова-Вельяшева, Русак

МПК: H01L 21/66

Метки: выявления, дефектов, кремния, поверхности

СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, включающий очистку поверхности кремния с ориентацией (100) и травление в составе, содержащем хромовый ангидрид, плавиковую кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью расширения выявляемых типов микродефектов в тонких приповерхностных слоях, травление проводят в составе, дополнительно содержащем азотную кислоту, при следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:Хромовый ангидрид 15 - 32Плавиковая кислота (45%-ная) 4 - 25Азотная кислота (72%-ная) 8 - 50Вода 10 - 36время травления составляет 5 - 15 мин, при этом количество хромового ангидрида в зависимости от толщины обрабатываемого слоя составляет, мкм:Более 10 15 - 4010 - 2 40 - 50