H01L 21/00 — Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей

Номер патента: 329601

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Голованов, Кукушкин, Шевелев

МПК: H01L 21/00

Метки: 329601

...и имеющей противоположное направление: Рппяж - Р 2.30 Сила прижима Рр, действует в плоскостискрайбцрованця н 1 юэтому не вызьвает вы) К Р Я Ш13 с1 1и .с 1 . , )с 1, 1 с 1с,) и1 0с,.. , ) - верхност).Резец 1 не)03,)ОДЕ,ен сх) я 101 и).,сс).с креплен посредством стопс;)ев о в:штя, Б )езЦедержателе . Рс сЦ 1.редста 3)5 с Г ссбОЙ МЕТЯЛсЕЕСОНМО ОЕ:Рс)БК С 1;:Г:НД,ГСКМ Х ВО Сто ВКО 11, В и с Т 0 0 у 10 Б М 0 Е Т:10 03:., н 1;1 з 1 Я З, ИМЕЮЩЕШ НЕСКОГЕЬКО с;СЖУНЕНХ 1 ЯНР; )Ц - держатель 2 через шяр)ш;) .) Зякрснлс 1;корпусе 4 резцовой голозк Шерн:.р се)сто. из двух шар:коз 9: .Щджнм:ого Б:нТее О. Через рсзцсдержатель 2 )рохо,е:т:."и1, обеснечивающе 1 е поворот резцсдер)к:Оля вертикаль:Ой плоскост:. ) Ке)рнус ( .)хе)дн Бинт 12, предназначеннь:й...

Номер патента: 331454

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Аш, Леваков, Мантель, Петраковский

МПК: H01L 21/00

Метки: диодов, полупроводниковых, сборки

...резьбовое отверстие которого входит винт 27 вертикальн цой регулироВки, пОдвижно укреплш 1 цьш н указанной цаправляошей. В кронштейне 26 подвижно укреплен винт 28 продольной регулировки, входящий в резьбовое, отверстие кронштейна 29 продольной регулировки (сч.фиг, 2), сидящего н продольном пазу кронштейна 26. В кронштейне 29 подвижно укреплен винт 30 поперечной регулировки (см. фиг.2), входящий в резьбовое отверстие вилки 31 (см. фиг, 2), лежащей ца кронштейне 26 и одновременно охватывающей сноич нижним пазом, кронштейн 29. Такая конструкция обеспечивает возможность регулцровк: поло 10 15 20 25 30Ч 0 4жения вилки 31 в трех взаимно перпенд 1 кулярных направлениях,Для фиксации вилки 31 н отрегулированном положении служит вццт 32,...

Номер патента: 332527

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Полухин, Трещун

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета, пластин, полупроводниковых, химической

...пластины непрерывно меняют свой угол относительно кассеты. На фиг. 1 представлен общий вид кассеты; на фиг. 2 - ,конструкция кассеты; на фиг, 3 - ячейка кассеты,Кассету 1 с загруженными в нее пластинами ставят на направляющие 2 ванны 3, В ванну наливают травильный раствор, зажигают газовые горелки 4 и включают электродвигатель б, укрепленный, как и ванна 5, на основании б. При взаимодействии кулачка 7 и штока с,пружиной 8 кассета совершает возвратно-поступательные движения. При этом 5 ячейкам 9 под действием сил инерции и сопротивления жидкости сообщаются колебательные движения, обеспечивающие интенсивное перемешивание травильного раствора и, следовательно, равномерное травление плас- О тин. Кассета (фиг. 2) выполнена из...

Номер патента: 335751

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ашмонтас, Репшас

МПК: G01R 31/26, H01L 21/00

Метки: горячих, носителей, полупроводнике, температуры, эффективной

...щают щую Изобретопие относится к области использования горячих,носителей тока в полупроводникахх.Приборы, работающие на основе разогрева носителей тока электрическим:полем, широко 5 применяются в технике (например, генераторы, основанные на эффекте Ганна) .Важнейшим параметром, определяющим степень разогрева носителей тока электрическим полем, является их эффективная темпе ратура.Известен способ измерения эффективной температуры горячих носителей тока путем определения их термо-э.д.с.Этот способ имеет существенный недоста ток. Термо-э.д.с. горячих носителей тока возникает только при градиенте концентрация носителей тока, который обы шо создают легированием полупроводника, что является технологически сложным и трудноконтроли руемым...

Номер патента: 335754

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Дул, Плечкан, Ренин, Специальное

МПК: H01L 21/00

Метки: автомат, вентилей, выводов, полупроводниковых

...17. Зажимы 13 и 14 приводятся в действие также от кулачков и работают попеременно.Отрезной механизм 6 снабжен зажимом 18 для закрепления жгута при резке. Зажим срабатывает от кулачка 19. Губки 20 зажима могут перемещаться вдоль жгута при подстройке по месту отрезки. Отрезной механизм 6 имеет устройство, состоящее из направляющих и винта с гайкой (не показаны), при помощи которого он устанавливается на жгуте совместно с губками 20 зажима 18. Шпиндельная головка механизма 6 смонтирована на поперечных направляющих для подачи от кулачкового привода 21 на жгут при резке.Механизм 8 снятия заусенцев состоит из поворотного стола 22 с зажимами, в которых изделие удерживается в вертикальном положении, и двух электродвигателей 23 с...

Номер патента: 337854

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Изо

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, кассета, полупроводниковых, приборов, фиксации

...жевозможность легко автоматизироваку приборов в кассету. Приборы,изка или наклонной дорожки попадходную часть кассеты, а затем, прнием кассеты или опусканием дорожми выводами заходят в волнообразжелоба 1, где выводы изгибаются вупругой деформации. Возникающиесилы трения надежно удерживаютв кассете. Одновр ров в во своими прорези приборовИзвестны, кассеты для групповой фиксации полупроводниковых приборов, применяемые в производстве, где производится путем запирания каждой ножки за боковскую поверхность 1 фланца, состоящие из двух профильных пластин. Перед загрузкой (выгрузкой) поворотом ключа одну профильную пластину отжимают от другой и загружают (выгружают) ножки. После этого, поворотом ключа запирают кас сету,с загруженными ножками, а...

Номер патента: 338948

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Захаров, Зая, Касаткий, Фунтиков

МПК: H01L 21/00

Метки: фотошаблонов

...от привода 7. Над диском 2 установлен фотодатчик 8, связанный с управляющим устройством 9.При равномерном вращении диска 2 отверстие 10 диафрагмы 1 (практически имеющее форму квадрата - см. фиг, 3),перемещается скачками вдоль щели диафрагмы, пробегая ее за полный оборот диска. Оно проектируется через объектив б на заготовку фотошаблона т, который равномерно перемещается вместе со столом 4 перпендикулярно направлению движения изображения отверстия. За один оборот диска 2 стол 4 смещается на ширину этого изображения, и за один проход ,стола оно обегает всю поверхность заготовки фотошаблона 3. Информация об угловом положении диска 2, т. е. о,положении изображения отверстия 10 на заготовке фотошаблона, поступает с фотодатчика 8 в...

Номер патента: 343323

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Вальд, Вейц, Зотов, Ленин, Сибирцев, Филатов, Чистопрудов

МПК: H01L 21/00

Метки: сватрюг, термокомпрессионной

...Электрический нагреватель 2 с температурой нагрева 350 в 4 С, с обдувом инертным грузом и имеющий специальное гнездо5 для укладки соединяемых деталей; станину сподъемным механизмом 3 для подъема иопускания системы ползунов 4, которые обеспечивают направление прижимного устройства б и посредством регулирующей пружиныО б создают необходимое прижимное усилие дляобеспечения термокомпрессионной сварки.Кроме того, установка содержит стойку 7 смеханизмом наводки оптической системымикроскопа и стабилизированный блок пита 5 ния (не показан),Прижимное устройство (фиг. 2) состоит изкорпуса 8, на рабочем конце которого установлен шарик 9 с сошлифованной контактнойплоскостью. Шарик 9 имеет свободное качаО ние вокруг своего центра. Такое...

Номер патента: 344534

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бахтеев, Бочкарев, Бронштейн, Волков, Волынский, Иванов, Синчук, Смирнов, Стиоп, Татаринов

МПК: H01L 21/00

Метки: водородного, восстановления, питания, установок, электрического

...измеритель 8температуры; регулятор 9; цепь 10 отрицательной обратной связи по току; цепь 11 отрицательной обратной связи по напряжегппо; схема 12 сравнения; устройство 1 т управ ления; коммутирующие элементы 14, 15, 16,17, 18.Устройство работает следующим образом, После предварительного разогрева кремниевых стержней-нагревателей включаются коммутирующие элементы 14, 15, 17 и на стержни подается напряжение, равное сумме напряжений трех мостов. Сигнал, пропорциональный температуре поверхности стержней, через регулятор 9 подается в схему 12 срав нения; туда же поступают сигналы отрицательной обратной связи по току и напряжению от цепи 10 отрицательной обратной связи по току и от цепи 11 отрицательной обратной связи по напряжению...

Номер патента: 344779

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Буравцев, Введенский, Лушин, Шустов, Эйгель

МПК: H01L 21/00

Метки: пластины, полупроводниковой, рисунков, совмещения, фотошаблона

...пластины, а 15 плоскость, обращенная к шаровому сегменту,контактирует с чим при подключейии выводных каналов сегмента к вакуумной линии.Расположение гластины на промежуточнойопоре, подвешенной на консольной плоской 20 пружине, обладающей значительной поперечной устойчивостью, исключает смещение пластин в горизонтальной плоскости при поддуве шарового сегмента.После соединения шарового сегмента и опо ры с вакуумной магистралью в момент устранения рабочего зазора опора с плоской пружиной приобретает жесткость балки.На чертеже показана конструкция устройства для совмещения рисунков фотошаблона 30 и полупроводниковой пластины.344779 Предмет изобретения Составитель В. Гришин Редактор В. Рыбалова Техред Т. Миронова Корректоры: Е. Талалаева и...

Номер патента: 347837

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Пасечник, Петров, Чистов

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, полупроводниковых, приборов, присоединения

...внутренних выводов полупроводниковых приборов.5В известной установке каретка с рабочим инструментом жестко установлена на плите манипулятора, с помощью которого оператор сообщает инструменту движение в горизонтальной плоскости для совмещения его с тоцками сварки (вертикальное перемещение спсструмецта осуществляется его приводом).Однако эта установка ивсеет низкую производительность, поскольку оператору приходится с помощью манипулятора совмещать инструмент поочвредно с каждой точкой сварки.Цель изобретения - автоматизация подачи рабочего инструмента к точкам сварки.Цель достесгается тем, что в предлагаемой установке каретка с рабочим инструментом установлена не непосредственно на плите манипулятора, а через две промежуточные плиты,...

Номер патента: 355698

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Библ, Булахов, Лившиц

МПК: H01L 21/00

Метки: выводами, контакта, полупроводниковых, структур

...катушка 2 электромагнита. Сквозь отверстие в основании проходит якорь 3 электромагнита. Якорь опускается в нижнее положение пружиной 4.На передней части основания 1 закреплен пружинный шарнир, состоящий из трех плоских пружин, Одна пружина 5 расположена горизонтально, а довс другие б симметрично по обе ее стороны, в плоскости, перпендикулярной плоскости пружины 5. К концам пружин 5 и б при помощи винтов прикреплен под. вижный элемент 7 из диэлектрика, на одном конце которого винтом 8 и гайкой 9 крепится контактная игла 10. Для исключения изгиба иглы при контактировании с выводом полу. проводниковой пластины игла изогнута упором 11, установленным на подвижном элементе 7 и воздействующим на иглу в точке, мак355698 фиг. 7 фиг Р сймально...

Номер патента: 358974

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Загородников, Лихтман

МПК: H01L 21/00

Метки: навесок, сферических

...приемной камерой с нейтральной или восстановительной средой. Камера вакуумноплотно соединена с рабочим сосудом, разделенным на две полости,Рабочий сосуд выполнен изокалиностойкой стали и собраи трубок 3, 4, помещенных одсоединенных между собой коки могут быть изготовленым атериалов.Для предотвращения диффурезьбовое соединение, образ2 и гайкой 14, расположенорабочего сосуда и охлаждаетсдой через штуцер 11.Вследствие пер авионерногоки 2 и трубки 3 в процессевесок нажимное усилие гайки3 на диск б ослабевает, и ендиском б появляется зазор, чео текает расплав. Для устранен.Чля псклн)чецця самопроизвольог) вытекяпия расплава из рабочего сосуда в црцсмпую камеру через штуцер б подается ротцода 3- 5 лепе. Гяз проходит через сопловс отверстие и...

Номер патента: 383124

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Астафьев, Думаневич, Крылов, Минаев, Ничуразов, Сутько, Учайкин

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, полупроводниковых, элементов

...полупроводниковыеэлементы 2. Очищающий реагент, напримервысокоомная депоннзованная вода, подается вкамеру 3, Из камеры 3 очищающий реагентнаправляется через отверстия 4 в полость 5 кассеты, а затем через направленные под углом кольцевые щели 6 непосредствеццо к полупроводниковому элементу 2.Над каждым полупроводниковым элеме;пом 5 благодаря внешнему экрану 7 в рабочей полости ячейки создается одинаковый уровень очищающего реагецта для всех ячеек. Таким образом, о 11 ннаю 1 ций реагент, попадая в камеру 3, ранимерно распределяется по поло сти 5 кассеты н цз нее равномерно подаетсяк полупроводниковых элементам, обеспечивая непрерывное и практически равномерное растворение примесей н нх унос одновременно и непосредственно от...

Номер патента: 390601

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Закревский, Заплатников

МПК: H01L 21/00

Метки: автомат, полупроводниковых, разбраковки

...уплотнение 61 золотника 48. Бесконечное резиновое уплотнение 62 крут. лого сечения надето на четыре шкива 63, оси которых закреплены неподвижно, и служит для герметизации выходного отверстия иглы в нерабочем положении. На одном из шкивов неподвижно закреплено храповое колесо 64. Пластинчатая собачка 65 неподвижно закреплена на кронштейне 47 и предотвращает обратный проворот храпового колеса. Упор бб, закрепленный на отсекателе, служит для предварительного выравнивания выводов триода и обеспечивает прохождение последнего по лотку к узлу выравнивания.При работе автомата вращение от электродвигателя - редуктора 3 через муфту 4 передается на вал 5. Вал 5, вращаясь, сообщает движение рабочим органам автомата посредством кулачков б, 7, 8, 9...

Номер патента: 393782

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Кириллин, Рыдзевский

МПК: H01L 21/00

Метки: кристаллов, панки, ультразвуковой

...из роликов и соответствующей емусалазкой, затем - между другим роликом идругой салазкой. При этом паяльник 2 поворачивается вокруг осей 16 и 16. Инсгрументы 20также приподнимаются на заданное расстояние (до 5 мм) относительно поверхности ленты 21.После подъема инструментов рычаг 22, установленный на оси 23, поворачивается и черезпалец 24 поворачивает рычаг 26. Стол 17 перемещается в направляющих 26 механизма горизонтальных перемещений 1 до упора 27. Одновременно перемещаются установленная наоси 16 рама 3 и паяльник 2. При этом профильные салазки 4 прокатываются по роликам 12, а инструменты 20 устанавливаютсянад кассетой 28 с кристаллами 29, Рычаг 14перемещается вместе с корпусом 6 относитель.но пяты 13,Дальнейший поворот кулачка 9...

Номер патента: 393783

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гков, Медведев, Щербачев

МПК: H01L 21/00

Метки: автомат, химической

...2.Предлагаемый авгомат содержит вибрационную платформу 1 с площадкой 2 для вибрационного транспортирования кассет 3 с обрабатываемыми изделиями 4 к позиции загрузкиб до упора 6, с плосцадкой 7 для размещениякамер химической обработки 8, с площадкой 9для вибрационного транспортирования кассег3 до упора 10 и вибропривод 11, установленный на столе 12,Автоперекладчик автомата химической обработки изделий состоит из смонтированногона столе 12 пневмоцилиндра 13, на валу поршня которого установлена крестовина 14 с направляющим штырем 15 и штангами 1 б; пневмоцилиндра 17 с валом 18, на котором посредством фланцев 19 закреплена гптанга 20 спневмоцилиндром 21, имеющим направляющийштырь 22, штангу 23 и водило 24; зацепляющейся штырем 25 с...

Номер патента: 393784

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Афанасьев, Кузьмичев, Лось, Твердое

МПК: H01L 21/00

Метки: 393784

...и осаживапия модуля, механизм сдвига ленты 4, узел контроля 5, сварочную головку 6, механизм подячи рямки 7, механизм няруження 8, кассеты 9 и 10.Устройство 3 для отделения модуля от ленты содержит блок ловителей 11, отрезной и осаживающий шток 12, паправляющуо планку 13. На горизонтальной каретке 14 закреплен выдвижной столик 15 с электроизолированным ложем 16, имеющий базирующий рельеф для ориентации модуля. Подъем и опускание выдвижного столика 15 осуществляется от рычага 17 через обкатывающийся по нему ролик 18. Пружина 19 поджимает столик 15 до упора 20 и демпфирует в процессе осадки модуля на столик.Узел контроля 5 состоит из измериел,ной головки 21, установленной на верти.Яльной каретке 22, перемещающейся в направляющих...

Номер патента: 404145

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Ларионов, Левинзон, Мирошникова, Новиков, Пеллер, Сачков

МПК: H01L 21/00

Метки: 404145

...2 укреплены рамы 4, в которые вставлена цилиндрическая пружина б и диэлектрическая прокладка б. Каждый виток пружиныимеет контакт с рамой 4 и с нижней из соединяемых пластин 7, в то время как с нижнейстороны соединяемая пластина изолирована отрамы диэлектрической прокладкой б,Устройство обеспечивает равномерное распределение электрического тока по попереч 10 ному сечению соединяемых пластин и, компенсируя термическое расширение и сжатие пластины, снижает в них температурные напряжения.Навеску 8 легкоплавкого металла поме 15 щают на нижней пластине 7 у торца верхнейпластины 9 так, чтобы не получилось контактанавески 8 с пружиной б,Устройство работает следующим образом.Пластины 7 и 9 с пружинными зажимами помещают на...

Номер патента: 406244

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Лифл, Салей, Чехута

МПК: H01L 21/00

Метки: птб

...устройство длятранспортнровашя подложек, внд в плане; на фиг. 2 - узел Л; на фнг. 3 - разрез но 30 Б - Б па фнг, 1.УСГСти) ля т)яисиОрИровэци 5 иоч,О- жСК ЬЦО,ЦС 0 ЦДС ИОВОР)гйОГО МЦОГОИО- зцпцоинц.о стола 1, вращаощегося в юдшиипика.; 2 отиситслш о неподвижной оси ). ПоороИы стол иссет соорочиьс ириспособлс- ) иця 4, в которых закрепляются В заданном ио;10 ксиии иолложкц д. 1 сгн) соорочи 1 х ирисцосоо 1 еицй рйцо числм иозцццЙ стола.Сбор)чюс 1 рцспособлеиие представляет сооой корпус 6, установленный иа рабочей 1 О иоверхиости ИО 01)отиОГО стола 1. Кячя 10 цсся рычаги Т ц 8 обеспечивают ирцкцм иодлоккц 6 к базовым уюрам 9, 10 и 11. Усилие прцжи)яа передается от пружии 2 ц 1и рсГугиТ)устс 51 витами 14 и 1 д. 1 ьчлГ 1) 7 и 8 юлучяют...

Номер патента: 406245

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Ведерннкон, Кононович, Фейгинов

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковых, скрайбироваиия

...16. Го 3 имеет направляю е 1 цястся вертпкальп 51 ощпмп призмаи И. скалкам 19 горцзоппсремещяется ползупок ухарем 22, взяпмоде 11 .1 пазом каретки 7 и альпое ее перемептеп 1 м. а 20 осуществляется по- винта 2 и гайки 25,аправляющив каретки 13 льцем 21 и с 1 С ИЯКЛОЦПЬ ощим вертик цецпе ползуц м ручки 23,Г 1 отальпой 20 с пя в 1 ющ 51) вызыва 1 Перемет средство в.еа, 30 УСТАНОВКА ДЛЯ СКРАЙЬИ 1 ОВА 11 ИЯ Г 1 ОЛУПРОВОДНН 1(ОВЬХКаретка 17 в верхней части имеет паз, в котором перемещается и фиксируется оптическое устройство совмещения 1.Установка работает следующим ооразом.Первопачальио настраивают двупольпос устройство совмещспия 1 И)иг. 1) опюситсльпо линии реза, для чего на вакуумном патроне 5 закрепляют пробную пластинку н проводят па...

Номер патента: 407409

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: H01L 21/00

Метки: испаритель, паро-газовой, смеси

...нижнего и верхнего оснований в 30 пределах 0,1 - 0,3, причем нижние части экра 3нов погружены в испаряемую жидкость, образуя канал для движения парогазовой смеси, а отношение диаметра камеры к ее высоте изменяется от центра к периферии от 1,0 до 0,1,На чертеже показан описываемый испаритель, продольный разрез.Испаритель изготовлен из стали Х 18 Н 10 Т и состоит из камеры 1, трубопровода 2, экранов 3, выполненных в виде спирали Архимеда, и натекателя 4, конус которого закреплен на мембране 5 и перемещается червячным механизмом 6.Нижняя часть камеры 1 коническая, причем отношение диаметра камеры к ее высоте изменяется от центра к периферии от 1,0 до 0,1. Такая конструкция улучшает условия термостатирования галогенида, а также...

Номер патента: 364048

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гаврил, Кайбанов

МПК: H01L 21/00

Метки: устройств, фотогравировальных

...светочувствительная иластиа, а поверхность которой ироизведеа двухкоординати ая мультипликация последовательных участков взаимно перпендикулярных нтрихов; па фиг, 3 - другой вариант фотоназц бора изображений ортогоиальиых штрихов;364048 о вава в У У 4 Подп ясно каз 357 Изд. М 10 Тираж 40 Загорская тппографпя 3на фиг, 4увеличенное изображение одногоиз мультиплицированных штрихов.В проекционном тубусе фотогравировального устройства, например фотоштампа фотонаборной машины или установки проекционногосовмещения, иа месте промежуточного фотошаблона неподвижно закрепляют фотошаблон 1 (фиг, 1) с нанесенными па нем двумявзаимно перпендикулярными штрихами 2, 3.Далее с помощью сменных диафрагм 4, 5, б,7, 8, 9, 10 путем последовательного...

Номер патента: 366516

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Адоньев, Петров, Сапрыкин

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, кристаллов, полупроводниковых

...ступенчатый паз. Узел снабжен неподвижным ограничите.лем, образующим при смыкании с отсекателем канал, являющцйся направляющей для подающего кристаллы шибера.5 Для загрузки кристаллов в кассету с вертикальным наполнением,на позиции загрузки установлен подпружиненный упор и толкатсль вертикального перемещения.На чертеже изображено предложенное уст ройство.Устройство снабжено отсекателсм 1 со ступенчатым пазом и неподвижным ограничителем 2, образующим при смыкании с отсекателем канал, вдоль которого движется шцбер 15 8. На позиции загрузки установлена кассета 4с вертикальным накоплением кристаллов, Определенное положение кассеты поддерживается фиксатором 5. Кассета имеет зажцмные конусы о и 7, подпружиненный пружиной 8 20 упор 9 и...

Номер патента: 370681

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Барановский, Рогаченко

МПК: H01L 21/00

Метки: есесою

...фцг. 2) над контактными площадками элементов 2, Л, 4 независимо от уровня их разводки методом фотогравировкц вытравливают окна а, после чего производят напыление первого металлического слоя 6 и формируют известными методами фотолитографии межсоедццения элементов 2 первого уровня разводки и одцовременцо создают омцческие контакты металл - полупроводник ца контактных площадках элементов 4, 3, подлежащих разводке на всех вышележащих уровнях (см, фиг. 3). Затем на поверхность структуры наносят пленку диэлектрика 7 (см. фпг. 4) для изоляции межсоедццений первого уровня разводки от межсоедццений второго уровня, в не" вытравливают окна б (см, фцг. 5) над контактцымц площадками элементов 3, 4, подлежащих соединению ца втором и вышележащих...

Номер патента: 371638

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Коршун, Побегаев, Реминский, Яцевич

МПК: H01L 21/00

Метки: классификации, полуавтомат

...щее устройство 4, накопитель 5, грейферныймеханизм 6, измерительную головку 7, распредел ительное устройство, электрический блок (не показаны).Электродвигатель 1 через редуктор 2 при водит во вращение вал 3, на котором закреплен кулачок 8, перемещающий через промежуточный кулачок 9 рычаг 10 отсекающего механизма. Последний снабжен пружиной 11, используемой в качестве блокировки прп по падании отсекателя 12 непосредственно наплату или головку полупроводникового прибора, поданного в лоток 13. Отсекатель по одному подает приборы по наклонной плоскости лотка 13 на винтовую дорожку накопителя в промежуток меисду штангазо мн 14, которые консольно закреплены в торЗаказ 2443Изд.1200 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и...

Номер патента: 372595

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Авторы, Грамматин, Киселев, Лисовский, Лустберг, Лысюк, Уксусов

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковой, рисунков, совмещения, фотошаблона, экспонирования

...фотошаблона на полупроводниковую пластину, столика с манипулятором, на котором установлен фотошаблон, столика с полупроводниковой пластиной.Недостаток известных устройств - недостаточно высокая производительность,Целью изобретения является повышение производительности за счет одновременного совмещения и экспонирования двух пар фото- шаблонов и пластин,Цель достигается благодаря тому, что объектив выполнен зеркальным с кольцевым полем зрения,и установлен в вертикальном корпусе, на верхнем торце которого диаметрально противоположно его оси попарно расположены фотошаблоны и пластины, обращенные рабочими поверхностями в сторону объектива.На фиг. 1 показано предложенное устройство, продольный разрез по А - А; на фиг 2 - то же, вид сверху,На...

Номер патента: 375715

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Бондюров

МПК: H01L 21/00

Метки: 375715

...Третий участок 8 содержит серию к9 с,перемычками 10, усеченными вснизу по толщине (фиг. 3) и заострк центру. Под каналами 9 предуссщель 11 по всей ширине витка; шифрин20 больше диаметра подвесной детали поку. Заостренные концы перемычек 1011 параллельны линейке 7. Под щельлинейкой 7 установлена коробка длянесориентнрованных деталей (не пок259 больше высоты цилиндрической части детали и меныпе диаметра буртика.В конце участка 8 перемычки 10 тоже усечены по толщине симеизу (фиг. 4), и под усеченными участками 12 установлен многоканальный отсекатель 13, который выполнен в ,виде пластинками с зубьями 14. Ширина каждого зуба в начале равна ширине перемычки 10. Одна боковая сторона зуба имеет скос 15, а другая упор 1 б, который расположении от...

Номер патента: 377927

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Грикуров, Замбровский, Иохель, Сергей, Щербаков

МПК: H01L 21/00

Метки: 5сесоюэ

...типа, В корпусдозатора вмонтирован поршень б, жестко свя= занный с рейкой 7, шаговое перемещение которых осущеспвляется посредством собачки 8, находящейся на рычаге 9 и прижимаемой к О рейке 7 пружиной 10, Для возврата рычага 9в,исходное положение предусмотрена пластинчатая пружина П, а для устранения зависания капли фоторезиста - собачка 12 с пружиной 13, которая поднимает рейку с порш нем до заклинивания зуба собачки междузубьев рейки. Фоторезистивный материал находится в емкости 14. В рычаге 9 установлен винт 15 для изменения дозы фоторезиста. Центрифуга 2 приводится в действие от О электродвигателя 1, который запускается посредством устройства 1 б форсирсэванного режима работы через микропереключатель 17.Устройство работает...

Номер патента: 379940

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Калинин

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации, полупроводниковых

...упорами (9 и имеет скосы 20, выполненные в форме зуба звездочки. Скосы 20 взаимодеиствуют с роликами 11 при фиксации кассет. 1 по шагу относительно нижних блоков смыкания.Каждый блок смыкания закреплен (способ крепления не показан) на тележках 21.Каждая тележка 21 оснащена двумя роликами 22 (см. фиг. 3 и 4), соосно которым размещены две каретки 23 с возможностью вращения на своих осях, Каретки 23 имеют колеса 24. Тележки 21 установлены на замкнутом монорельсе 25 и соединены между собой шарнирными тягами 26. Монорельс 25 установлен на плите 27 и имеет отверстие 28 (см, фиг. 2). Цепь блоков смыкания охватывает две одинаковые звездочки 29 (на фиг. 1 и 2 условно показаны только их начальные диаметры, на фиг. 2 показан профиль зубьев...