Устройство для совмещения рисунков фотошаблона и полупроводниковой пластины

344779 ОПИСАН ИЕ ИЗОЬРВТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических РвслубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 01 Лт/.1970 ( 1423590/26-25) с присоединением заявки-Приоритет М. Кл. Н 01//68 Комитет оо делам иаобретеиид и открытиЯ при Совете тлиииотров СССРОпубликовано 20,Х 1,1972, Бюллетень3 за 1973 г. Дата опубликования описания 31.1.1973Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКОВ фОТОШАБЛОНА И ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫИзобретение относится к устройствам, предназначенным для совмещения рисунков на фотошаблоне и полупроводниковой пластине в процессе ее фотолитографической обработки и может быть применено при изготовлении интегральных твердых и пленочных пассивных схем.Известные устройства для совмещения рисунков состоят из гнезда, подвешенного на двух пружинных шарнирах, установленного в гнезде шарового сегмента с закрепленной на нем с помощью вакуумного отсоса полупроводниковой пластины, расположенного над пластиной фотошаблона, укрепленного с помощью вакуумного отсоса на координатно- поворотном столе, имеющем три степени свободы,Для осуществления выравнивания пластины о фотошаблон производят подъем гнезда с помощью подъемного штока, имеющего мембранный привод,Гнездо фиксируется в крайнем положении фиксатором с мембранным приводом. Гнездо, подвешенное на двух эластичных пружинах в корпусе, образует т 1 одвижйой параллелограмм.Для облегчения операции выравнивания - уменьшения трения между гнездом и шаровым сегментом - последний поддувают снизу сжатым воздухом.Из-за малой жесткости эластичных пружин подвески в таких устройствах нарушается точность совмещения рисунков после устранения рабочего зазора.Цель изобретения - сохранение точности 5 совмещения рисунков после устранения рабочего зазора и обеспечение повторяемости установки пластин.Это достигается тем, что устройство снабжено установленной между фотошаблоном и 10 шаровым сегментсм промежуточной опорой,выполненной в виде плоской эластичной подвески, причем плоскость промежуточной опоры, обращенная к фотошаблону, служит для установки полупроводниковой пластины, а 15 плоскость, обращенная к шаровому сегменту,контактирует с чим при подключейии выводных каналов сегмента к вакуумной линии.Расположение гластины на промежуточнойопоре, подвешенной на консольной плоской 20 пружине, обладающей значительной поперечной устойчивостью, исключает смещение пластин в горизонтальной плоскости при поддуве шарового сегмента.После соединения шарового сегмента и опо ры с вакуумной магистралью в момент устранения рабочего зазора опора с плоской пружиной приобретает жесткость балки.На чертеже показана конструкция устройства для совмещения рисунков фотошаблона 30 и полупроводниковой пластины.344779 Предмет изобретения Составитель В. Гришин Редактор В. Рыбалова Техред Т. Миронова Корректоры: Е. Талалаева и Н, СтельмакЗаказ 01/5 Изд.75 Тираж 404 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, К, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 На плите 1 установлена балка 2 переменного сечения, на конце которой смонтированогнездо 3 с установленным в нем шаровым сегментом 4, Гнездо 8 и сегмент 4 снабжены выводными каналами пневмосистемы.Полупроводниковая пластина 5 закрепленана опоре б с по.;1 ощью вакуумного присоса,опора 6 из;еет установочные штыри для фиксации пластин (при их смене) в одном и томже положении и подвешена на консольнойплоской пружине 7,Над пластиной 5 расположен фотошаблон8, укрепленный с помощью вакуумного присоса на координатном столе 9, Выравниваниепластины 5 относительно фотошаблона 8 осуществляют при подъеме гнезда 3 с помощьюштока 10 с мембранным приводом 11,Гнездо 3 в крайнем верхнем положеши фиксируют фиксатором 12 с мембранным приводом 13.При образовавшемся рабочем зазоре междуфотошаблоцом 8 и пластиной 5 с помощьюкоординатного стола 9 совмещают рисунки,наблюдаемые вмикроскоп, После совмещения:рисунков осуществляют контакт пластины 5и: фотоша Мои 8, и экспонируют светочувствительный слой, нанесенный на пластину лампой-вспышкой 14, установленной над фотошаблоном. Устройство для совмещения рисунков фотошаблона и полупроводниковой пластины, содержащее подзешенное на упругом элементе 10 гнездо, установленный в гнезде шаровой сегмент с выводными каналами, координатный стол, закрепленный с помощью вакуумного присоса па координатном столе, фотошаблон, подъемный шток с мембранным приводом и 15 фиксатором, ваю умную линию, отличоющеесятем, что, с целью повышения точности и повторяемости установки пластин, оно снабжено установленной между фотошаблоном и шаровым сегментом промежуточной опорой, вы полпенцой в виде плоской эластичной подвески, причем плоскость промежуточной опоры, обращенная к фотошаблоцу, служит для установки полупроводниковой пластины, а плоскость, обращенная к шаровому сегменту, кон тактирует с ним прп подключении выводныхканалов ссгмента к вакуумной линии,