Ведерннкон

Номер патента: 406245

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Ведерннкон, Кононович, Фейгинов

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковых, скрайбироваиия

...16. Го 3 имеет направляю е 1 цястся вертпкальп 51 ощпмп призмаи И. скалкам 19 горцзоппсремещяется ползупок ухарем 22, взяпмоде 11 .1 пазом каретки 7 и альпое ее перемептеп 1 м. а 20 осуществляется по- винта 2 и гайки 25,аправляющив каретки 13 льцем 21 и с 1 С ИЯКЛОЦПЬ ощим вертик цецпе ползуц м ручки 23,Г 1 отальпой 20 с пя в 1 ющ 51) вызыва 1 Перемет средство в.еа, 30 УСТАНОВКА ДЛЯ СКРАЙЬИ 1 ОВА 11 ИЯ Г 1 ОЛУПРОВОДНН 1(ОВЬХКаретка 17 в верхней части имеет паз, в котором перемещается и фиксируется оптическое устройство совмещения 1.Установка работает следующим ооразом.Первопачальио настраивают двупольпос устройство совмещспия 1 И)иг. 1) опюситсльпо линии реза, для чего на вакуумном патроне 5 закрепляют пробную пластинку н проводят па...