H01L 21/00 — Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей

Номер патента: 864381

Опубликовано: 15.09.1981

Авторы: Барышев, Лебедев, Мягков, Овечкин, Стекачев

МПК: H01L 21/00

Метки: держатель, пластин, полупроводниковых

...концом упругой пластины.На фиг. 1 .изображен держатель для полупроводниковых пластин, вид сверху; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фнг. 3- варна ты исполнения; на иг. 4 - разрез Е Б на фиг. 1; на фнг.5 - варианты исполнения.На основании 1 закреплены прижимные элементы в виде упругих пластин 2; под ними в основании 1 выполнены отверстия, в которых расположены штыри Э и 4. Упругие пластины 2 жестко закреплены на основании одним концом.Загрузка держателя происходит следующим образом.Основание 1 располагают на плоскости поверхностью, свободной от прижимных элементов (при варианте исполнения Фиг, 3 необходим шаблон с выступами). При этом выступающие из основания 1 штыри 3 и 4 утапливаются и верхним концом поднимают упругие...

Номер патента: 868890

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Погадаева, Потапов, Смирнов

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации, кассета, лазера, лучом, полупроводниковых, преимущественно, приборов

...является кассета для герметизации полупроводниковых приборов, .содержащая корпус с гнездом для полупроводникового прибора, съемную крышку-прижим в виде пластины и фиксатор 2.Однако при герметизации в этом устройстве происходит разогрев по всей поверхности прибора, что влияет на качество его параметров. агаемая каспластину жимну 4, толка тор с полупроводн р бо-кой 7.В исходном положении Фиксатор 6 вернут на 90 о относительно полония, показанного на чертеже,толтель 5 с пружиной 4 при этом отвены пластиной 2 вниз, упор крьхакаижим снята. Крышку-прижим 3 иэго868890 Формула изобретения 2 О Составитель Л. ГришковаТехред А.Ач Корректор Г. Решетни Редактор Н. Безродная Подписнокомитета СССРи открытийкая наб., д. 4 Тираж 787 ВНИИПИ...

Номер патента: 871257

Опубликовано: 07.10.1981

Авторы: Баранов, Караев, Колядко, Масленков

МПК: H01L 21/00

Метки: крепления, узел

...по периметру эластичной пленки-носителя, а также использование адгезионного слоя для крепления полупроводниковой пластины и для фиксации пленки- носителя на базовом кольце позволяет избежать специальных механических зажимов и устранить тем самым причину образования гофр на пленке-носителе. Этим обеспечивается равномерность ее растягивания в различных направлениях, а следовательно, повышение точности расположения кристаллов, что делает возможным применение данного узла в устройствах для автоматизированной сборки полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.На чертеже изображен общий вид предложенного узла для крепления полупроводниковых пластин и кристаллов.Узел содержит базовое кольцо 1, эластичную пленку-носитель 2, по...

Номер патента: 871258

Опубликовано: 07.10.1981

Авторы: Кузнецов, Равин, Рогов

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, полупроводниковых, правки, приборов

...служащий в качестве опоры для их концов при обратном ходе зубьев после окончания формовки. С противоположной стороны выводов установлен дополнительный упор 12, выполненный с возможностью возвратно-поступательного перемещения в направляющих 13 посредством копира 14, профиль 15 которого, воздействующий на перемычку 16 упора, согласован по форме с заходным скосом 9 зубьев 8.Устройство работает следующим образом, о В начале движения вилки 7 вниз совместно с копиром 14 боковые направляющие выступы 10 с обеих сторон все более ограничивают и образовывают в непосредственной близости от корпуса прибора замкнутый контур вокруг боковых выводов 3, перемыкаемый снизу дополнительным упором 12. Далее два центральных зуба своими острыми концами входят...

Номер патента: 873309

Опубликовано: 15.10.1981

Авторы: Артамошкин, Васильев, Жирков, Скороходов

МПК: H01L 21/00

Метки: модулей, сборки

...захватов забирает элементы кассет 21 и перемещается в крайнее правое положение, воздействуя при своем перемещении через рычаги 29 на ползуны 25 и раздвигая их вдоль направляющей 24. В крайнем правом положении ряд 19 вакуумным присосок с элементами оказывается под пазами ползунов 25, между стенками 26 которых и укладываются элементы. При движении каретки 18 справа налево она отпускает рычаги 29 и пружина 28 сдвигает ползуны 25, при этом стенки 26, перемещая элементы по лазам полэунов, формируют линейку элементов с зазораии между элементами не менее толщины стенки 26. Одновременно с разгрузкой кассет 21 рядом 9 вакуумным захватом, в крайнем левом положении каретки 18 ряд 20 вакуумных захватов оказавшийся под сформированной...

Номер патента: 875507

Опубликовано: 23.10.1981

Авторы: Бураго, Ермаков, Темкин, Цыпкин

МПК: H01L 21/00

Метки: жидкостной, кассета, пластин, полупроводниковых

...пластин; на фиг, 2 - разрез А-А нафиг. 1; на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 2,Кассета для жидкостной обработки полупроводниковых пластин содержит корпус 1, выпол.пенный в виде перфорированного полуцилиндра,внутри которого по образующей профрезерованы трапецеидального сечения пазы 2 переменной,высоты, наклоненные под углом 70 - 75" к образующей цилиндрической поверхности корпуса.К торцам корпуса винтами крепятся фланцы 3,в которые запрессованы держатели 4, Сверхуна направляющие фланцев 3 устанавливаетсяперфорированная крышка 5, повторяющая форму корпуса, которая от поворота вокруг осификсируется штифтом, Крышка удерживаетсясьемными фиксаторами 6, навинчивающимисяна держатели 4,После сборки кассета принимает форму перфорированного цилиндра,...

Номер патента: 879678

Опубликовано: 07.11.1981

Авторы: Вигдорович, Коровина, Струков, Урывский, Чуриков

МПК: H01L 21/00

Метки: локальной, пластины, полупроводниковой, электрохимической

...корпуса выполненосъемным,На чертеже показано предлагаемоеустройство.Оно содержит корпус 1, на основании 2 которого установлен жестко катод 3, выполненный в виде токопроводящей пластины с помощью винта 4Образец 5, в качестве которого берутполупроводниковую пластину,с пленкойб прижимается к катоду 3 с помощьюкольца 7 с резьбой через уплотнители 158. Кольцо 7 установлено на выступахкорпуса 1 и образует зону обработкипластины. В корпусе ванны выполненыкольцевые проточки 9 для удобствазагрузки пластин различного диаметра. 2 ОПрижимное усилие, создаваемое кольцом,выполненным из диэлектрика, регулируется так, чтобы электролит 10 непроникал в кольцевую проточку 9 и несоздавал замыкания электрическоготока через электролит, минуя пористуюокисную...

Номер патента: 879679

Опубликовано: 07.11.1981

Автор: Мамаев

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентирования, полупроводниковых, приборов

...с подпружиненнымФиксатором 5, а на другом конце рабочая поверхность имеет скос С, соответствующий линии ориентации.(нафиг. 3 линия ориентации проходит порадиусу ротора 1). Скос С может бытьвыполнен в любом направлении в состветствии с выбранным положениемориентации полупроводникового прибора в пределах сектора, ограниченногопунктирными линиямина фиг. 3.Копир б имеет две рабочие пРофилированные поверхности для взаимодействия с подпружиненным фиксатором 5 ироликом 11,Устройство работает следующимобразом,55При загрузке полупроводниковогоприбора 12 в паз транспортирующегоротора 1 подпружиненный фиксатор 5находится в выемке копира б, а запирающая планка 10 прижимается пружиной7 через рычаг 8 своей поверхностью 60к части...

Номер патента: 879680

Опубликовано: 07.11.1981

Авторы: Лопухин, Фарберов, Чудаковский, Шелест

МПК: H01L 21/00

Метки: гибридных, интегральных, микроузлов, сборки

...19, второй выход которого соединен с входомгенератора 21 колебаний, а третийс первым входом блока 10 задержки исчетчиком 20, выход которого соединен с вторым входом второй ключевойсхемы 14, выход генератора 21 соединен с электрическим входом координатного стола 3, электрический выходкоторого соединен с входом блока 7.Работа предлагаемого устройствазаключается в следующем,На координатный стол 3 устанавливается эталонная подложка, параметры напыленных элементов которой доведены до расчетных значений, иэ механизма 1 механизм 2 присоединяет кэталонной подложке поочередно всенавесные элементы, образовывая каждый раз функциональный микроузел. Синхронизатор 19 запускает генератор 21, который вырабатывает стимулирующий сигнал и подает...

Номер патента: 879681

Опубликовано: 07.11.1981

Авторы: Гаврилкин, Лысенков

МПК: H01L 21/00

Метки: базовому, ориентации, подложек, полупроводниковых, срезу

...двух сторон приводного ролика и установленными своэможностью их перемещения перпендикулярно базовому срезу подложки.На фиг. 1 изображен общий видустройства ориентации; на фиг. 2устройство ориентации в момент базирования,Устройство ориентации содержитоснование 1 (фиг. 1, ), на которомориентируется полупроводниковая подложка 2 с базовым срезом 3, в основании выполнены ориентирующие сопла 4, по которым подается воздухдля создания воздушной подушки между основанием, и подложкой, а такжеустановлены упорный ролик 5 , приводной ролик 6 для вращения подложки, вращаемый приводом 7, базирующий упор 8, дополнительные базирующие упоры 9 и 10, фиксаторы 11и 12 базирующих дополнительных упоров.Устройство ориентации работаетследующим образом.Подложка 2...

Номер патента: 902108

Опубликовано: 30.01.1982

Авторы: Ващук, Друнк, Масленников, Портянников

МПК: H01L 21/00

Метки: пластин, плоских, полупроводниковых, преимущественно

...привод содержит шкив 3 со скосом4, посаженный на валу 2 и взаимодейст Эвующий с кулачком 5, Поджим деталейпривода осуществляется посредством пружины 6, опирающейся на подпятник 7,вращающийся с помощью шариков 8 вопоре 9. С двух сторон пары цилиндри- Заческих щеток перпендикулярно к их продольным осям установлены направляющие10 и 11. Кроме того, устройство содержит толкатель 12, установленный с возможностью возвратно-поступательногоперемещения по направляющей 10 в пазу 13,Для регулирования зазора между паройцилиндрических щеток 1 вал 2 взаимодействует. со стойкой 14, установленнойна оси 15 с возможностью поворота припомощи пружины 16 и винта 17.Все детали закреплены на основании18. Направление ворсе на цилиндрическихщетках 1...

Номер патента: 911653

Опубликовано: 07.03.1982

Автор: Устинов

МПК: H01L 21/00

Метки: микролитографии, разрешающей, способности, структура, тестовая

...проводимости, проводники 3 первого слоя - диффузионные области и"типа проводимости, проводники 4 второго слоя из поликристалического кремния, межслойные контакты 5 .проводников второго слоя к проводникам первого слоя ВК, ЙК, ВК ВкЪ, области,тонкого окисла 6, отверстия 7 для снятия с поверхности тонкого окисла в 25. зоне, общая диффузионная область 8 +и-типа проводимости - область истоков МДП-транзисторов, подзатворные: области 9 " рабочие каналы МДП-транзисторов.На поверхности слоя окисла 1 (фиг.1) кремниевой пластины 2 р-типа проводимосги выполнена тестовая структура, содержащая проводники 3 первого слоя в виде диффузионных областей З 5 д "типа проводимости, проводники 4 второго слоя из поликристаллического кремния, образующие при...

Номер патента: 917241

Опубликовано: 30.03.1982

Авторы: Кущенко, Мысин, Сливканич, Шатохин

МПК: H01L 21/00, H01L 21/98

Метки: бусой, вывода, полупроводникового, прибора, сборки

...диаметра бусы, Загрузчик бус состоит из коробчатого основания 4 и размещенного в нем подпружиненного шибера 5, в кото рых выполнены отверстия для прохода бус 6. В одной из углов основания 4 имеется окно 7 для удаления нижних бус 6 из загрузчика. Кассета состоит из трех плит 8-10, в которых выпол нены отверстия для размещения выводов 2, расположенные в соответствии с расположением отверстий трафарета 3 и загрузчика бус. Плита 8 снабжена колонками 11 и пазом для размещения 15 планки 12, а плита 9 - отверстиями для сопряжения с колонками 11 плиты 8, отверстия для размещения выводов 2 в ней выполнены ступенчатыми с образованием гнезд для размещения бус 6, Дополнительная плита 10 снабжена элементами сопряжения с кассетой, выполненными в виде...

Номер патента: 924776

Опубликовано: 30.04.1982

Авторы: Гордеев, Канищев, Куксо, Лытко, Румак, Туманов, Черных

МПК: H01L 21/00

Метки: кремния, монокристаллического, основе, полупроводниковых, преимущественно, приборов

...мин, отмывают в проточнойдеионизованной воде, обрабатываютгидромеханическим способом с помощьюмягких беличьих флейц и сушат нацентрифуге, Отмытые пластины кремнияпомещают в кассету-лодочку и загружают в зону кварцевой трубы с температурой процесса первого окисления,равной (1000 С 11 ), При данной температуре пластины кремния выдерживаютв потоке пара в течение 10 мин. Предварительно 303-ный раствор солянойкислоты заливают в парогенератор, который нагревают с помощью ИК нагреваи доводят данный раствор до температуры 40 С. Образующийся при этом парзахватывают инертным газом (путемпродувки через парогенератор, инертным газом служит аргон) и поступаетв зону реакции кварцевой трубы с находящимися в ней кремниевыми пластинами. За это время...

Номер патента: 924777

Опубликовано: 30.04.1982

Авторы: Гизунтерман, Доманцевич

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентации, полупроводниковых, приборов

...подпружиненный рычаг 6, при этом опорный ко- .нец подпружиненного рычага 6 расположен в угловом вырезе 4. В подпружиненном рычаге 6 со стороны углового выреза 4 выполнен паз 7, соответствующий профилю продольного паза 2. Подпружиненный рычаг 6, снабжен приводом,состоящим из электромагнита8 и тяги 9, соединяющий электромагнит 8 с подпружиненным рычагом 6.Рычаг 10, соединенный тягой 11 с подпружиненным рычагом 6, установлен вугловом вырезе 4 продольного паза2 вибролотка 1 параллельно опорномуконцу подпружиненного рычага 6,Устройство работает следующим образом.Подпружиненный рычаг 6 находитсяв исходном состоянии в левом положении (фиг, 1), Если полупроводниковый прибор 3 ориентирован правильно, то поворота его на 180 не про 1 Рисходит....

Номер патента: 930434

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Батенев, Нечипоренко, Хабибулин

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, обрезки, полупроводниковых, приборов, рихтовки

...наверхней плоскости пуансона сзади его рабочих поверхностей.На ноже 14 установлена буферная пластина 15, передняя поверхность которой также выполнена по форме расположения выводов прибора и находится над верхней плос.костью пуансона впереди его рабочих поверхностей.Возвратно-поступательное перемещениеползуна 5 и пуансона 11 в направляющихплиты 2 осуществляется от рычажно-кулачкового привода 16.Устройство работает следующим образом,Транспортное устройство (не показано)подает в гнездо 3 полупроводниковый прибор 7, при этом выводы в месте их выхода из корпуса прибора ориентированы определенным образом относительно матрицы 6, ползунов 4 и 5 с матрицей 6 и пуансоном 11 разведены в крайние положения.В дальнейшем ползуны 4 и 5 с пуансоном...

Номер патента: 936096

Опубликовано: 15.06.1982

Авторы: Алимов, Калашников, Караганов, Миронов, Панова

МПК: H01L 21/00

Метки: контейнер, преимущественно, сеток, электронно-микроскопических

...имеется единственное окно, извлечение сетки осуществляется при полном закрытии остальных ячеек с сетками,Контейнер изготавливается из органического стекла, ячейки продавливаются разогретой пресс-формой,Испытания контейнера для хранения электронно-микроскопических сеток показывают, что использованиеданного устройства полностью исключает какую-либо потерю или перепутывание электронно-микроскопическихсеток при работе с контейнером иповышает надежность и эффективность работы лабораторий электронной микроскопии. 5Контейнер, преимущественно дляэлектронно-микроскопических сеток,содержащий основание в виде диска сячейками для размещения электронно 1 О микроскопических сеток и соединеннуюс ним соединительным винтом крышкув виде диска,о т л и ч а...

Номер патента: 938337

Опубликовано: 23.06.1982

Авторы: Пахомов, Семенов, Щербаков

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентации, плоских, преимущественно, слоистых, толщине

...6, 1 О и 1 О закреплены своими осями, 11, поворотные ролики 6 и 7 выполнены ци"линдрической формь 1, а поворотныеролики 10 являются опорными роликами, Ориентирующая планка 1 установле на на подпружиненной тяге 12, подпружиненной посредством пружины 13, ориентирующая планка 2 снабжена штоком14 в виде винта со сферическим концом 15, а на конце подпружиненной тя 2 о ги 12 жестко закреплена планка 16и упор 17 в виде винта, размещенныев пазу 18 ориентирующей планки 1,планка 16 снабжена элементом 19 соединения с системой подачи сжатого 25 воздуха ( не показана), который вы"полнен в виде штуцера на планке 16закреплен своей осью 20 ролик 21элемента предварительной ориентациикинематически соединенный с ориен- зО тирующей планкой 1 посредством...

Номер патента: 943923

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Никитюк, Хоптянов

МПК: H01L 21/00

Метки: контактное

...сильного или резкого движения толкатеобретения является повы"ности функционирования,нная цель достигаетсядиэлектрическом вкладыи расширвнной части кониерстия выполнен вырезобразует клиновиднуюсредственно примыкающуюонического отверстия,3923 15 Формула изобретения Составитель Н.Глеклередактор СТимохина Техред Ж, Кастелевиц Коррект зят 6 Тираж 76 ВНИИПИ Государстве по делам изобре 3035, Москва, Ж, Подписого комитета СССРний и открытий Заказ 513 аушская наб д,Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,3 .94На чертеже схематически изображено контактное устройство, разрез.Контактное устройство содержиткорпус 1 с запрессованными в негонеподвижными контактами 2, диэлектрический вкладыш 3 с соосными отверстиями 4 и 5 разного...

Номер патента: 947932

Опубликовано: 30.07.1982

Авторы: Бобков, Галочкин, Маханьков, Путов

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации

...герметизирующегоматериала 3 и сердечник 4 с каналами 5, жестко закрепленный верхнейчастью в головке 1 и с зазором 6 внижней части. В сердечнике 4 выполнено центральное осевое отверстие 7,сопрягающееся с коническим углублением 8 и соединенное с отверстием 9 вв головке 1 для подачи защитного газа. Сердечник 4 в своей средней частиимеет проточку 10 по наружной поверхности. Держатель 11 для закрепления изделий содержит зажим 12, Надержателе 11 закреплены зубчатое колесо 13, связанное с зубчатой рейкой14 приводного механизма 15 возвратно-поступательного движения (например, пневмоцилиндр), и ходовой винт16. Держатель 11 установлен в гайкекорпуса 17 ходовым винтом 16.Устройство работает следующим образом.60Установленное на основание 18...

Номер патента: 951483

Опубликовано: 15.08.1982

Авторы: Алексеев, Лазуткин, Хаскович, Шнейдерман

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, подачи, преимущественно, радиодеталей, ферромагнитных

...сприводом 11. Бибер 10 снабжен подпружиненными прижимамгт 12 для каждогоряда гнезд 9.25Каждый из подпружиненных прижимов12 установлен напротив ряда гнезд 9.Устройство также снабжено распределительным кулачковым валом 13, кулачкикоторого взаимодействуют с пневморас Определителем 14 и переключателем 15.Кроме того, устройство содержит . источник постоянного и переменного тока,а также блокуправления, не показыные на чертеже.Устройство работает следующим образом.При вращении распределительного кулачкового вала включается переключатель15, который запускает блок управления, не показанный на чертеже. При помаци блока управления электромагнит 4 соединяется с источником постоянного тока, а электромагнит 2 с источником переменного така.45Под...

Номер патента: 963120

Опубликовано: 30.09.1982

Авторы: Зайцев, Зенкович, Иванушко, Токарев

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета-спутник

...на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы.На Фиг. 1 изображена предлагаемая кассета -спутник; на фиг. 2 - втул 45 ка в замкнутом состоянии; на Фиг,3- то же, в разомкнутом состоянии.Кассета-спутник содержит основание 1 с цилиндрическим выступом 2, размещенную на нем эластичную плен ку 3, с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной 4, закрепленную в зажимных кольцах 5 и 6, установленных концентрицно цилиндВтулка 8 установлена на цилиндрическом выступе 2 основания 1 с возможностью перемещения вдоль его оси и на ее внутренней стороне втулки выполнеена Фигурная проточка 10 с плоской поверхностью 11 и конусной поверх" ностью 12, В фигурной протоцке 10 расположено кольцо 13 с гнездами в которьх размещены тела 15...

Номер патента: 966794

Опубликовано: 15.10.1982

Авторы: Завалишин, Куршев, Мороз

МПК: H01L 21/00

Метки: транспортирования

...запрессованными в него по периферии равнорасположенными четырьмя магнита" ми 8, например, из феррита бария, кон" тактирует через воздушный зазор с контактом 16. Электродвигатель 15 (3000 об/мин ) приводит во вращение ведущее колесо 10 конвейера 2, ведомое колесо 9 вместе с расположенным на одной оси с нии диском 7. Колеса, выполненные из винипласта (ф 180 мм) имеют 4 паза, расположенные по окружности на равном расстоянии ( глу" бина 20 мм, ширина 25 "ми ). Диск 7 мо- . жет проворачиваться для регулирования времени между выдачей команды на подачу пластин, при вращении поочеред" но подводит свои магниты 8 к контакту 16, загерметизированному во фторопластовую трубку. В момент прохода магнита мимо контакта последний замыкает свои контакты...

Номер патента: 983834

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Булахов, Тимофеев, Шавель

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковых, приборов, сортировки

...35 уста- зО , новлены трубы 37 из винипласта с отверстиями 38 и коллектором 39 для сжатоговоздуха. Коллектор 39 соединен шалнгом40 с электромагнитным клапаном 33.Напротив трубы 37 под плитой 35 уста 35новлены приемные лотки 41.Устройство работает следующим образом.Тиристоры 2, загруженные наводом вчашу вибробункера 1, под действием виб 40рацни двигаются по дорожке выводами вверх и через окно 10 в обойме 9 поступают в приемное гнездо 4 неподвижного транспортного ротора 3. Транспортный ротор 3 получает прерывистое вращение с остановами от привода 7 с мальтийским крестом, В момент останова транспортного ротора 3 срабатывает один из электромагнитных клапанов 33 по сигналу с электронного блока 36, и подается скатый 5 воздух в пневмокамеры 13,...

Номер патента: 995159

Опубликовано: 07.02.1983

Автор: Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: виде, выводов, загрузки, кассету, стержней

...поверх трафарета в магазине. В этом случае выпадание выводов из магазина исключено, так как диаметр отверстий 5 трафарета с заходными фасками меньше двух диаметров загружаемых вь водо в.После окончания вибрации осуществляется вертикальное опускание шибера 12 вместе с пластиной-отсекателем 14 направление А - А,) и в этом случае, благодаря выступанию верхних концов выводов над трафаретом, обеспечивается практически полное отсекание загруженных выводов во всех отверстиях трафарета, при этом шибер опускается до тех пор, пока верхние торцы загруженных выводов не выйдут полностью из отверстий трафарета,Затем производится передвижка шибера 12 вдоль поверхности пластины-отсекателя по направлению А, - А в пределах длины пазовых отверстий...

Номер патента: 999127

Опубликовано: 23.02.1983

Авторы: Адоньев, Кононов, Петров

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковых, приборов, сортировки

...13 для выводов 14 измеряемых полупроводниковых приборов, Контактные элементы 15 и 16 установлены симметрично относительно корпуса 9 и закреплены в стойке 17 корпуса 9 контактного механизма 3. В стойке 17 также установлена подвижная вилка 18, продольные образующие которой (рычаги) своими концами взаимодействуют с 4 О контактными элементами 15 и 16. Вилка 18 посредством рычагов 19 и планки 20 соединена с ее приводом 21,Контактные элементы 15 и 16 могут быть смонтированы отдельно от контактного 145 механизма 3 и снабжены приводом. 1 О Устройство работает следующим об, разом.ФИз вибробункера 1 по лотку 2 при- бор подается в загрузочный паз 11 контактного механизма (первая позиция). Этот паз совмещен с лотком 2 и с одним из карманов. карусели...

Номер патента: 1001232

Опубликовано: 28.02.1983

Авторы: Афанасьев, Крысов, Трусова

МПК: H01L 21/00

Метки: импульсного, отжига, полупроводниковых, структур

...содержит замкнутую камеру 1, в которой выполнены щели 2 и 3 соответственно для загрузки и выгрузки полупроводниковой структуры 4, расположенной наопоре сетке ) 5, Внутри замкнутой камеры по обе стороны от опоры расположены линейные галогенные лампы б накаливания так, что их продольная ось перпендикулярна направлению движения спотк, перемещаемой с помощью привода 7. Замкнутая камера имеет изогнутую форчу и служит одновременно для фокусировки . излучения на поверхность полупроводниковой структуры.Линейные галогенные лампы накаливания расположены от опоры на расстоянии 10-100 д, где о - толщина подложки полупроводниковой структу ры. Указанное соотношение определяется как размерами используемых подложек (в производстве...

Номер патента: 1001233

Опубликовано: 28.02.1983

Авторы: Арбит, Штейнберг

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентации, плоских

...лоток 5 закреплены на неподвижном основании 9 над вращающимся диском 1. Винтовой лоток 5 расположен между бункером 2 и накопителем 3 и установлен над поверхностью вращакщегося диска с зазором. Зазор выбирают иэ условий разделения деталей При попадании их в электростатическое поле и сохранения ориентации деталей по плоскости. Вакуумная присоска 4 установлена между бункером 2 и винтовым лотком 5. В ма нипуляторе 7 установлен датчик 8 по-, ложения деталей но р-а слою. Бункер.Проектня,4 Филиал ПППг.ужгоиод,2 и накопитель 3 выполнены в видепланок без закрытых каналов.Устройство работает следующимобразом.Детали из бункера 2 вакуумнойприсоской 4 группой подаются в винговой лоток 5, из которого россыпью,разделяясь в электростатическомполе,...

Номер патента: 1010678

Опубликовано: 07.04.1983

Авторы: Ляхович, Малявкин

МПК: H01L 21/00

Метки: маркировки, плоских

...которогоохватывают толкатель с двух концов,причем ленточный конвейер кинематически связан с маркировочным роликом.На Фиг,1 показано предлагаемоеустройство, вид спереди; на фиг.2 -узел маркировки, вид спереди с частичным разрезом, на Фиг.3 - разрезА-А на Фиг.2.Устройство содержит механизм 1маркировки с маркировочным роликом2, загрузочное приспособление 3,наклонную направляющую 4 и толкатель 405,. Последний установлен между ветвями ленточного конвейера б, выполненного с перФорацией (не показана) дляего привода и кинематической связи смаркировочным роликом 2, а также с 45упорами 7 для введения изделий 8.Верхняя ветвь конвейера б располагается на расстоянии от маркировочного 1 ролика 2 большем толщины изделия 8.Толкатель 5 имеет выполненные...

Номер патента: 1014071

Опубликовано: 23.04.1983

Авторы: Иванов, Миттенберг, Стерликов, Янсон

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета, пластин, травления

...ряда точечных фиксаторов в виде стбркней,она снабжена дополнительными основаниями и крышкой в виде диска, при этомосновное и дополнительные основания икрышка установлены друг под другом наодинаковом расстоянии и соединены междусобой стержнями точечных фиксаторов,Эпричем стержни одного из рядов выполиены съемными-и установлены попарноотносительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнездадля пластины,Кроме гого, съемные штыри точечныхфиксаторов соединены межпу собой попарно перемычкой, размещенной над крышкой.На фиг. 1 показана часть кассеты,вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху.Кассета состоит из жестко соединенных между собой дисков 1. выполненныхиз винипласта 6 230 + 30 мм с отвер-стием в центре 6 110 + 30 мм....